形成溅射靶组件的方法及由此制成的组件技术

形成包括背衬元件和靶元件的溅射靶组件的方法，包括：　　　　放置具有带有多个凸出部的结合面的元件、和具有带有多个适合接受所述凸出部的凹槽的结合面的元件，由此使所述凸出部和所述凹槽基本配准，且其中由所述结合面来限定界面；　　　　至少一个凸出部的一部分和至少一个凹槽的一部分滑动接触；及　　　　使所述至少一个凸出部部分变形以至少部分填充所述至少一个凹槽，因此在靶元件和背衬元件之间形成至少机械结合，其中具有所述凹槽的所述元件为其熔点高于构成凸出部的金属熔点的金属。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
本专利技术涉及溅射靶和溅射靶组件以及制造它们的方法。本专利技术还涉及用于制造溅射靶组件的结合方法，优选在低温下。在溅射应用领域中，典型的溅射靶组件具有溅射靶和背衬板。例如，将金属靶或金属靶底(例如，钽、钛、铝、铜、钴、钨等)结合到背衬板上，例如背衬板法兰组件如铜、铝、或其合金。为了得到在靶和背衬板之间的良好的热和电接触，这些元件通常通过软焊(soldering)、硬焊(brazing)、扩散粘结、箝位(clamping)、和通过环氧粘合剂等彼此附着。但是，通过在高温下的方法结合的溅射靶组件在使用中可翘曲组件，其影响溅射靶组件的性能，特别是当在靶和背衬板热膨胀系数之间存在很大差异时。而且，当通过软焊、硬焊、或扩散结合在高温下完成结合时，发生的在靶材料和背衬板材料之间的不同热膨胀，在金属体中产生非常高水平的机械应力。机械应力经常引起靶组件的挠曲且可导致结合失效，从而使靶从背衬板上分离。该结合方法还增加重量且在使用时造成靶组件剥离的危险。由于工业的持续进步使用越来越大的靶，剥离危险更可能了。另外，与一些常规的结合方法相关的高温可导致在靶金属中不希望的晶粒生长。专利
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：小查尔斯·E·威克沙姆，戴维·P·沃克曼，
申请(专利权)人：卡伯特公司，
类型：发明
国别省市：