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形成包括背衬元件和靶元件的溅射靶组件的方法，包括：　　　　放置具有带有多个凸出部的结合面的元件、和具有带有多个适合接受所述凸出部的凹槽的结合面的元件，由此使所述凸出部和所述凹槽基本配准，且其中由所述结合面来限定界面；　　　　至少一个凸出部的...
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