管状喷射靶制造技术

本发明专利技术涉及一种管状喷射靶，具有靶体和一个安装在管子的至少一个末端的附加装置，附加装置和／或管子末端的盖子通过正向锁定或材料接合和靶体连接起来。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种管状喷射靶，其具有靶体和安装在管子的至少一个末端的附加装置。
技术介绍
这种类型的许多喷射靶是公知的，例如，在国际专利申请WO97/15697、德国专利DE 100 43 748和DE 100 63 383中所公开的，这种类型的管状喷射靶可以由喷射材料作为一种自我支撑靶成形，或者被喷射材料涂布从而作为一个支撑管成形。在实践中，钼或钼合金的薄涂层用于光学功能涂布变得日益重要，尤其是大型玻璃表面的涂布和平面荧光屏的涂布。通常这种涂布由喷射产生，同时管状靶也被越来越广泛的使用，因为它们提供了比较高的喷射产量以及产生更加均衡的效果。确切地，这里使用的是钼或钼合金(特别是以钼为主的合金)。它们作为喷射靶材料用于支持管子，焊接在管子上从而达到管状喷射靶的足够的稳定。这种通常使用高级钢作为管子支持材料的设计，在热吸收和分散的能力上是有限的，因为这种焊接头经常不能承受热应力。然而，如果焊料熔化并从外围间隙中溢出，喷射靶将再也不能使用。
技术实现思路
根据本专利技术，这个问题将被独立权利要求的目标解决。从属权利要求中是本专利技术的优选。作为结果，附加装置和/或管子末端的盖子通过正向锁定或材料接合和支持体连接起来，首先，喷射材料和支持管之间通过其他必要的焊接过程产生的问题被避免了，其次，管子末端的稳定性产生了必要的机械力，通过正向锁定或材料接合产生了必要的真空紧密性，尤其是当靶体几乎完全延伸超过管子的横截面。特别地，靶体由金属制成是有利的，优选钛、钼、铌、铬、钨、铝、铜、锆、钽、镍、银，或至少一种这些金属的合金。此外，附加装置(优选设计成法兰盘)和/或管子末端盖子由钛、钼、钨、铬、铝、银、镍、锌、铜、锆、钒、铌、钽或至少一种这些金属的合金制成是有利的。原因有两方面，第一，这些金属可以很好的与靶材料融合，第二，它们保证了必要的稳定性和热分散。钛和一种或多种选自铝、锡、铜、锆、钒和钼的金属组成的合金尤为合适。优选合金为钛-铝-锡合金，钛-铜合金，钛-铝-锆合金，钛-铝-钒合金和钛-铝-钼合金。靶体的材料优选含量为0.5wt.％到5wt.％的铬或钨。此外，靶体和附加装置和/或管子的末端盖子由同一种材料制成是有利的。附加装置和/或管子的末端盖子焊接或焊缝到靶体上是有利的，尤其是通过电子束焊接。靶体可以通过压力成形来制造，尤其是通过对靶坯的挤压或旋压。这种喷射靶可以积极承受的负荷量大大超过上述现有技术描述的支持管/喷射层的设计，因为它们具有较好的热传导性。比起现有技术的管子，它们可以积极承受大约1.5倍多的负荷量。本专利技术的喷射靶的涂层具有良好的传输、反射和涂层阻力数值。附图说明本专利技术通过下述附图说明来解释。图1是一个一端有支持的管状靶。图2是一个两端有支持的管状靶。具体实施例方式喷射装置中的管状靶可以是一端支持或两端均有支持。管子的内部被抽成真空，与外界封闭。靶体1由钼制成，或者由钼与约0.5wt.％到5wt.％的铬或钨合金制成。在管状靶只有一端有支持的情况下(图1)，附件法兰盘2通过电子束焊接方法在真空密闭下仅被焊接到管子的一端，同时另一端通过电子束焊接方法在真空密闭下与管子末端盖子3连接。在管状靶的两端均有支持的情况下(图2)，附件法兰盘2被焊接到靶体1的两端。这里，连接再一次是真空密闭的，优选电子束焊接方法。上述特指的钛合金对于管子末端盖子3或者附加法兰盘2是特别合适的材料。可以使用钼，例如，作为光电池(大面积涂布)的后触点的喷射材料，或者作为显示涂布中铝和硅的分散屏障。可以使用钛，例如，形成高折射二氧化钛涂层或作为分散屏障。可以使用铬，例如，在玻璃涂布或者黑底显示中作为反射体或CrN吸收体。可以使用铌，例如，在玻璃涂布中形成高折射的Nb2O5涂层。钨可以作为喷射材料使用，例如，在电镀铬的应用中作为氧化钨。权利要求1.管状喷射靶，具有靶体和一个安装在管子的至少一个末端的附加装置，其特征在于，附加装置和/或管子末端的盖子通过正向锁定或材料接合和靶体连接起来。2.根据权利要求1所述的管状喷射靶，其特征在于，靶体几乎完全延伸超过管子的横截面。3.根据权利要求1或2所述的管状喷射靶，其特征在于，靶体由金属组成，优选钛、钼、铌、铬、钨、铝、铜、锆、钽、镍、银，或至少一种这些金属的合金。4.根据权利要求1至3任一所述的管状喷射靶，其特征在于，附加装置和/或管子末端盖子由钛、钼、钨、铬、铝、银、镍、锌、铜、锆、钒、铌、钽或至少一种这些金属的合金制成。5.根据权利要求4所述的管状喷射靶，其特征在于，钛合金由钛和一种或多种选自铝、锡、铜、锆、钒和钼的金属所组成。6.根据权利要求1至5任一所述的管状喷射靶，其特征在于，靶体和附加装置和/或管子的末端盖子由同一种材料制成。7.根据权利要求1至6任一所述的管状喷射靶，其特征在于，附加装置和/或管子的末端盖子是焊接或焊缝到靶体上的，尤其是通过电子束焊接。8.根据权利要求1至7任一所述的管状喷射靶，其特征在于，附加装置被特别地设计成法兰盘。9.根据权利要求1至8任一所述的管状喷射靶，其特征在于，靶体含约0.5wt.％到5wt.％的铬和/或钨。全文摘要本专利技术涉及一种管状喷射靶，具有靶体和一个安装在管子的至少一个末端的附加装置，附加装置和/或管子末端的盖子通过正向锁定或材料接合和靶体连接起来。文档编号C23C14/34GK1782122SQ200510128829公开日2006年6月7日 申请日期2005年12月1日 优先权日2004年12月2日专利技术者M·维格特, M·舒尔特海斯, M·施洛特, Ch·西蒙斯 申请人:W.C.贺利氏有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
管状喷射靶，具有靶体和一个安装在管子的至少一个末端的附加装置，其特征在于，附加装置和／或管子末端的盖子通过正向锁定或材料接合和靶体连接起来。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：M维格特，M舒尔特海斯，M施洛特，Ch西蒙斯，
申请(专利权)人：WC贺利氏有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]