衬底搬送机器人及衬底处理系统技术方案
Substrate moving robot and substrate processing system
The control device (12) of the substrate moving robot (1) is to make the robot arm (4) and the substrate holding device (7) implement the entry action, the substrate receiving action and the substrate loading action. The substrate holding device (7) is composed of a switching first operation state and a second running state, the first running state is a pair of palmtable parts (25, 26) configured in the upper and lower directions. The second operation state is a position of a pair of palmplate parts (25, 26) configured in the direction from the upper and lower directions and set the single palm piece to the substrate load. Set up the structure. Regardless of the type of substrate mounting structure, the operation time of substrate transfer can be shortened.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衬底搬送机器人及衬底处理系统
本专利技术涉及一种在机器臂安装有衬底保持装置的衬底搬送机器人及具备该衬底搬送机器人的衬底处理系统。
技术介绍
以往，以机器人搬送半导体制造用晶片等衬底的技术已广泛运用。此处，在制造半导体时，实施晶片的洗净处理、成膜处理、加热处理、蚀刻处理等各种处理步骤。由于各处理步骤是以各不相同的处理装置实施，所以必须在多个处理装置之间搬送晶片。在所述的晶片搬送中使用机器人，而在半导体制造过程中对周围环境要求高洁净度，因此，使用机器人的无人化益处较大。另外，为了提高半导体制造的处理量，而要求缩短晶片搬送时的单件工时。作为用于缩短晶片搬送时的单件工时的技术，有用安装在机器臂的一只手同时搬送多片晶片的机器人。这种机器人例如从收容在FOUP(FrontOpeningUnifiedPod：前开式晶片盒)内的大量晶片中，用一只手保持并同时取出多片晶片，且同时搬送至处理装置侧的晶片载置搁板(专利文献1)。然而，在半导体制造时的各种处理步骤中，有同时处理多片晶片的步骤(分批处理步骤)、与逐片处理晶片的步骤(单片处理步骤)。在与分批处理步骤相关联而搬送晶片的情况下，...
【技术保护点】
一种衬底搬送机器人，用于保持并搬送衬底，且具备机器臂、安装于所述机器臂的衬底保持装置以及用于控制所述机器臂及所述衬底保持装置的控制装置；且所述衬底保持装置具有：一对掌片部件，配置在上下方向，且能够分别保持所述衬底；以及掌片升降器件，用于使所述一对掌片部件的其中一个相对于所述一对掌片部件的另一个在上下方向上相对移动；所述控制器件使所述机器臂及所述衬底保持装置实施如下动作：掌片部件进入动作，将所述一对掌片部件的其中一个设为衬底保持状态，将所述一对掌片部件的另一个设为衬底非保持状态，使所述一对掌片部件进入至具有上段及下段的衬底载置构造；衬底接收动作，将载置于所述上段及所述下段的其...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.31 US 14/840,5931.一种衬底搬送机器人，用于保持并搬送衬底，且具备机器臂、安装于所述机器臂的衬底保持装置以及用于控制所述机器臂及所述衬底保持装置的控制装置；且所述衬底保持装置具有：一对掌片部件，配置在上下方向，且能够分别保持所述衬底；以及掌片升降器件，用于使所述一对掌片部件的其中一个相对于所述一对掌片部件的另一个在上下方向上相对移动；所述控制器件使所述机器臂及所述衬底保持装置实施如下动作：掌片部件进入动作，将所述一对掌片部件的其中一个设为衬底保持状态，将所述一对掌片部件的另一个设为衬底非保持状态，使所述一对掌片部件进入至具有上段及下段的衬底载置构造；衬底接收动作，将载置于所述上段及所述下段的其中一段的所述衬底用处于所述衬底非保持状态的所述掌片部件来接收；以及衬底载置动作，将处于所述衬底保持状态的所述掌片部件的所述衬底载置于所述上段及所述下段的另一段；所述衬底保持装置构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将所述一对掌片部件配置于上下方向，该第2运转状态是将所述一对掌片部件配置于从上下方向偏离的位置且将单个所述掌片部件设为能够进入至所述衬底载置构造。2.根据权利要求1所述的衬底搬送机器人，其中所述控制器件是在所述掌片部件进入动作、所述衬底接收动作以及所述衬底载置动作之前，使所述机器臂及所述衬底保持装置实施最下段衬底接收动作，该最下段衬底接收动作是将所述衬底保持装置设为所述第2运转状态，使所述一对掌片部件的其中一个进入至载置于所述衬底载置构造最下段的衬底的下方并使它上升，以此来接收载置于所述最下段的衬底。3.根据权利要求1或2所述的衬底搬送机器人，其中能够利用所述掌片升降器件将所述一对掌片部件的上下方向的间隔设为12mm以下。4.根据权利要求1至3中任一项所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底搬送机器人还具备Z轴升降器件，该Z轴升降器件具有能够使所述一对掌片部件同时升降的伺服马达；且所述衬底接收动作是使用所述Z轴升降器件来实施。5.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底接收动作是以所述一对掌片...
【专利技术属性】
技术研发人员：后藤博彦，马克·谭，艾力克·张，小野茂树，北野真也，曾明，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，川崎机器人美国公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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