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衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下...该专利属于川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)公司所有，仅供学习研究参考，未经过川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)公司授权不得商用。