排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法，涉及晶片加工技术领域，以解决现有绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行的技术问题。本发明专利技术所述的排线自适应装置中，卷径适应轴固定在支座的孔内，卷径适应座安装在卷径适应轴上，导轮座安装在卷径适应座左端，导轮安装在导轮座上，配重座安装在卷径适应座右端，配重滑板安装在配重座上方，固定杆竖直插入到配重滑板的螺纹孔内，配重固定在固定杆上；前后适应架固定在支座左端，前后适应座固定在前后适应架前端，两根前后适应轴分别支撑在前后适应座中，挡片安装在前后适应轴顶端，接触滑轮安装在前后适应轴下端，两个感应传感器固定在前后适应座右端。

Line adaption device and winding method, multi wire cutting equipment and using method

The invention discloses a line adaptive device, a winding method, a multi wire cutting equipment and a use method, which relates to the technical field of wafer processing to solve the technical problem that the cutting line and the winding plane of the storage wheel can not keep parallel in the process of the existing winding process. In the assembly line adaptive device, the adaptation axis of the roll diameter is fixed in the hole of the support seat, the roll diameter adaptation seat is installed on the roll adaptation axis, the guide wheel is installed on the left end of the roll diameter adaptation seat, the guide wheel is installed on the guide wheel seat, the weight seat is installed on the right end of the roll diameter adaptation seat, and the counterweight slide plate is mounted above the counterweight seat and the fixed rod erect. Insert into the screw hole of the counterweight slider, the weight is fixed on the fixed rod; the front and back adaptation frame is fixed at the left end of the support seat, the front and back adaptation seat is fixed to the front and rear front end of the adaptation frame, and the two front and back adaptation axes are supported in the front and back adaptation seats respectively. The gear is installed at the top of the front and back axis, and the contact pulley is installed on the back and back axis of the front and back. The two induction sensors are fixed at the right end of the front and rear seats.

【技术实现步骤摘要】
排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法
本专利技术涉及晶片加工
，特别涉及一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法。
技术介绍
目前，多线切割技术是世界上比较先进的晶片切割技术，其工作效率高，一次进刀可切割多片。在切割过程中，储线轮高速旋转实现收放线，与储线轮相连的导轮由排线机构带动在储线轮前后挡边之间往复移动，以实现均匀排线。最初，多线切割技术使用裸线加砂浆进行切割，储线轮和与其相连的导轮绕线平面平行，导轮数量较多；如今，多线切割设备多用镀结金刚线进行切割，切割速度快，污染小。具体地，在用金刚线进行切割时，切割导轮数量较少，储线轮和与其相连导轮的绕线平面近似垂直布置。然而，本申请专利技术人发现，由于在绕线过程中，储线轮的直径会发生周期变化，与储线轮相连的导轮角度要做相应的调整以减小导轮的磨损；同时，绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面应该平行，但现实中由于各种原因，会发生前后偏差，影响切割过程。因此，如何提供一种排线自适应装置及绕线方法、多线切割设备及使用方法，能够根据储线轮直径的变化，使切割线始终与导轮槽相切，并能够实时调整排线机构的运动速度，以保证绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面始终平行，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种排线自适应装置，以解决现有技术在绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行，容易会发生前后偏差而影响切割过程的技术问题。本专利技术提供一种排线自适应装置，包括：支座，卷径适应机构和前后适应机构；所述卷径适应机构包括：卷径适应轴，卷径适应座，导轮座，导轮，配重座，配重滑板，固定杆和配重；所述前后适应机构包括：前后适应架，前后适应座，前后适应轴，前后适应压板，轴承螺帽，挡片，接触滑轮和感应传感器；所述支座的右端固定在排线滑板上，所述卷径适应机构固定在所述支座的前端，所述前后适应机构固定在所述支座的左端；所述卷径适应轴固定在所述支座的孔内，所述卷径适应座通过两个轴承支撑安装在所述卷径适应轴上，所述导轮座安装在所述卷径适应座的左端，所述导轮安装在所述导轮座上，所述配重座安装在所述卷径适应座的右端，所述配重滑板安装在所述配重座的上方，所述固定杆竖直插入到所述配重滑板的螺纹孔内，所述配重通过螺母固定在所述固定杆上；所述前后适应架固定在所述支座的左端，所述前后适应座固定在所述前后适应架的前端，两根所述前后适应轴分别通过一对轴承支撑在所述前后适应座中，所述前后适应压板同时压紧两个轴承外圈并固定在所述前后适应座上，所述轴承螺帽通过所述前后适应轴上的螺纹压紧轴承内圈，所述挡片通过螺母安装在所述前后适应轴的顶端，所述接触滑轮安装在所述前后适应轴的下端，两个所述感应传感器固定在所述前后适应座的右端。实际应用时，所述排线自适应装置中所述卷径适应机构还包括：卷径限位座和限位柱；所述卷径限位座固定在所述支座的上端，两个所述限位柱固定在所述卷径限位座的螺纹孔内，所述限位柱的前端位于所述卷径适应座的上端缺口内。其中，所述配重滑板的上端设有左右方向的长槽孔，所述配重滑板可左右滑动，以调整与所述配重座的固定位置，使所述导轮和所述配重在限位范围内任意位置相互平衡。具体地，所述挡片为不完全圆片。进一步地，所述挡片的中间有两个缺口，且上下位置处于所述感应传感器缺口的中间位置。更进一步地，所述导轮的出线口在两个所述接触滑轮的中间。相对于现有技术，本专利技术所述的排线自适应装置具有以下优势：本专利技术提供的排线自适应装置，能够根据储线轮直径的变化，利用杠杆机构调整与储线轮相连的导轮的相对角度，使切割线始终与导轮槽相切；并且，利用传感器检测切割线的前后偏差，实时调整排线机构的运动速度，保证绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面始终平行；此外，其结构合理、布局紧凑，运行可靠，能够有效提高设备的切割能力及工作稳定性。本专利技术的又一目的在于提供一种排线自适应装置的绕线方法，以解决现有技术在绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行，容易会发生前后偏差而影响切割过程的技术问题。本专利技术提供一种排线自适应装置的绕线方法，包括如下步骤：根据储线轮直径的变化，利用杠杆机构调整与储线轮相连的导轮的相对角度，使切割线始终与导轮槽相切；利用传感器检测切割线的前后偏差，实时调整排线机构的运动速度，保证绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面始终平行。所述排线自适应装置的绕线方法与上述排线自适应装置相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。本专利技术的另一目的在于提供一种多线切割设备，以解决现有技术在绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行，容易会发生前后偏差而影响切割过程的技术问题。本专利技术还提供一种多线切割设备，包括：如上述任一项所述的排线自适应装置。所述多线切割设备与上述排线自适应装置相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。本专利技术的再一目的在于提供一种多线切割设备的使用方法，以解决现有技术在绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面无法保持平行，容易会发生前后偏差而影响切割过程的技术问题。本专利技术还提供一种多线切割设备的使用方法，包括如下步骤：切割线在导轮和储线轮之间传动，同时与导轮槽和储线轮圆柱面相切；当储线轮的直径发生变化时，切割线与导轮槽不再相切，切割线对导轮产生的作用力沿导轮槽切向产生分力，带动卷径适应座旋转，导轮沿卷径适应轴旋转，直至切割线与导轮槽相切；绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面保持平行；当切割线发生倾斜时，切割线与接触滑轮接触，接触滑轮发生旋转，带动挡片相应旋转，感应传感器产生感应信号传送至设备控制器，设备控制器相应的调整排线速度，使切割线与储线轮的绕线平面平行。其中，卷径适应座在旋转过程中，两个限位柱充当左右硬限位，以防止卷径适应座过度旋转。相对于现有技术，本专利技术所述的多线切割设备的使用方法具有以下优势：本专利技术提供的多线切割设备的使用方法，能够根据储线轮直径的变化，利用杠杆机构调整与储线轮相连的导轮的相对角度，使切割线始终与导轮槽相切；并且，利用传感器检测切割线的前后偏差，实时调整排线机构的运动速度，保证绕线过程中切割线和储线轮的绕线平面始终平行。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术实施例提供的排线自适应装置的主视结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的排线自适应装置的仰视结构示意图；图3为图1通过前后适应座中心的剖视结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的排线自适应装置中卷径限位座和限位柱的局部放大结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的多线切割设备中排线自适应装置与线轮的位置关系示意图；图6为本专利技术实施例提供的排线自适应装置的绕线方法的流程示意图；图7为本专利技术实施例提供的多线切割设备的使用方法的流程示意图。图中：1－支座；2－卷径适应轴；3－卷径适应座；4－导轮座；5－导轮；6－配重座；7－配重滑板；8－固定杆；9－配重；10－前后适应架；11－前后适应座；12－前后适应轴；13－前后适应压板；14－轴承螺帽；15－挡片；16－接触滑轮；18－卷径限位座；19－限位柱。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种排线自适应装置，其特征在于，包括：支座(1)，卷径适应机构和前后适应机构；所述卷径适应机构包括：卷径适应轴(2)，卷径适应座(3)，导轮座(4)，导轮(5)，配重座(6)，配重滑板(7)，固定杆(8)和配重(9)；所述前后适应机构包括：前后适应架(10)，前后适应座(11)，前后适应轴(12)，前后适应压板(13)，轴承螺帽(14)，挡片(15)，接触滑轮(16)和感应传感器；所述支座(1)的右端固定在排线滑板上，所述卷径适应机构固定在所述支座(1)的前端，所述前后适应机构固定在所述支座(1)的左端；所述卷径适应轴(2)固定在所述支座(1)的孔内，所述卷径适应座(3)通过两个轴承支撑安装在所述卷径适应轴(2)上，所述导轮座(4)安装在所述卷径适应座(3)的左端，所述导轮(5)安装在所述导轮座(4)上，所述配重座(6)安装在所述卷径适应座(3)的右端，所述配重滑板(7)安装在所述配重座(6)的上方，所述固定杆(8)竖直插入到所述配重滑板(7)的螺纹孔内，所述配重(9)通过螺母固定在所述固定杆(8)上；所述前后适应架(10)固定在所述支座(1)的左端，所述前后适应座(11)固定在所述前后适应架(10)的前端，两根所述前后适应轴(12)分别通过一对轴承支撑在所述前后适应座(11)中，所述前后适应压板(13)同时压紧两个轴承外圈并固定在所述前后适应座(11)上，所述轴承螺帽(14)通过所述前后适应轴(12)上的螺纹压紧轴承内圈，所述挡片(15)通过螺母安装在所述前后适应轴(12)的顶端，所述接触滑轮(16)安装在所述前后适应轴(12)的下端，两个所述感应传感器固定在所述前后适应座(11)的右端。...

【技术特征摘要】
2017.12.26 CN 20171143546791.一种排线自适应装置，其特征在于，包括：支座(1)，卷径适应机构和前后适应机构；所述卷径适应机构包括：卷径适应轴(2)，卷径适应座(3)，导轮座(4)，导轮(5)，配重座(6)，配重滑板(7)，固定杆(8)和配重(9)；所述前后适应机构包括：前后适应架(10)，前后适应座(11)，前后适应轴(12)，前后适应压板(13)，轴承螺帽(14)，挡片(15)，接触滑轮(16)和感应传感器；所述支座(1)的右端固定在排线滑板上，所述卷径适应机构固定在所述支座(1)的前端，所述前后适应机构固定在所述支座(1)的左端；所述卷径适应轴(2)固定在所述支座(1)的孔内，所述卷径适应座(3)通过两个轴承支撑安装在所述卷径适应轴(2)上，所述导轮座(4)安装在所述卷径适应座(3)的左端，所述导轮(5)安装在所述导轮座(4)上，所述配重座(6)安装在所述卷径适应座(3)的右端，所述配重滑板(7)安装在所述配重座(6)的上方，所述固定杆(8)竖直插入到所述配重滑板(7)的螺纹孔内，所述配重(9)通过螺母固定在所述固定杆(8)上；所述前后适应架(10)固定在所述支座(1)的左端，所述前后适应座(11)固定在所述前后适应架(10)的前端，两根所述前后适应轴(12)分别通过一对轴承支撑在所述前后适应座(11)中，所述前后适应压板(13)同时压紧两个轴承外圈并固定在所述前后适应座(11)上，所述轴承螺帽(14)通过所述前后适应轴(12)上的螺纹压紧轴承内圈，所述挡片(15)通过螺母安装在所述前后适应轴(12)的顶端，所述接触滑轮(16)安装在所述前后适应轴(12)的下端，两个所述感应传感器固定在所述前后适应座(11)的右端。2.根据权利要求1所述的排线自适应装置，其特征在于，所述卷径适应机构还包括：卷径限位座(18)和限位柱(19)；所述卷径限位座(18)固定在所述支座(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁立伟，丁彭刚，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11