【技术实现步骤摘要】
一种高效固晶装置
本技术涉及半导体加工设备
,尤其涉及一种高效固晶装置。
技术介绍
随着半导体技术的进步,使得半导体组件的应用越来越广泛,连带使得晶粒的适使用增加,对于晶粒的取放一般使用业界称为黏晶机的固晶装置,半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后,由机械手将晶圆拾起后精确地将晶圆放置在键合的位置,进行后序键合操作,其中包括就需要使用点胶机构,现有的固晶装置上都为单个点胶机构,使得工作效率低下。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的工作效率低下缺点,而提出的一种高效固晶装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种高效固晶装置,包括底座,所述底座上设有两根竖杆,两根所述竖杆之间设有控制板,所述控制板的左右两端侧壁分别与两根竖杆的侧壁连接,所述控制板内设有腔室,所述腔室的前端侧壁上设有内外连通的通孔,且通孔内贯穿设有转动杆,所述转动杆位于腔室内的一端上套接有齿轮,所述转动杆位于腔室外的一端上套接有棘轮,所述控制板的前端侧壁上转动连接有压片,所述压片位于棘轮的正上方,且压片的下端与棘轮相抵接触,所述腔室底部滑动连接有两块控制块,两块所述控制块分别设置在转动杆左右两侧的腔室内,两块所述控制块的相对侧壁上均连接有移动板,两块所述移动板分别设置在转动杆上下两侧的腔室内,两块所述移动板的相对侧壁上均设有齿条,且齿条与齿轮啮合,两块所述控制块上均设有左右连通的通道,且其中一块控制块上的通道与另一块控制块上的移动板处于同一水平面,两块所述控制块的上端均竖直设有支撑杆,所述支撑杆的上端穿过腔室的顶面并延伸至控制板的 ...
【技术保护点】
一种高效固晶装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上设有两根竖杆(2),两根所述竖杆(2)之间设有控制板(3),所述控制板(3)的左右两端侧壁分别与两根竖杆(2)的侧壁连接,所述控制板(3)内设有腔室(4),所述腔室(4)的前端侧壁上设有内外连通的通孔,且通孔内贯穿设有转动杆(5),所述转动杆(5)位于腔室(4)内的一端上套接有齿轮(6),所述转动杆(5)位于腔室(4)外的一端上套接有棘轮(16),所述控制板(3)的前端侧壁上转动连接有压片(7),所述压片(7)位于棘轮(16)的正上方,且压片(7)的下端与棘轮(16)相抵接触,所述腔室(4)底部滑动连接有两块控制块(8),两块所述控制块(8)分别设置在转动杆(5)左右两侧的腔室(4)内,两块所述控制块(8)的相对侧壁上均连接有移动板(9),两块所述移动板(9)分别设置在转动杆(5)上下两侧的腔室(4)内,两块所述移动板(9)的相对侧壁上均设有齿条(10),且齿条(10)与齿轮(6)啮合,两块所述控制块(8)上均设有左右连通的通道(11),且其中一块控制块(8)上的通道(11)与另一块控制块(8)上的移动板(9)处于同一水平面 ...
【技术特征摘要】
1.一种高效固晶装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上设有两根竖杆(2),两根所述竖杆(2)之间设有控制板(3),所述控制板(3)的左右两端侧壁分别与两根竖杆(2)的侧壁连接,所述控制板(3)内设有腔室(4),所述腔室(4)的前端侧壁上设有内外连通的通孔,且通孔内贯穿设有转动杆(5),所述转动杆(5)位于腔室(4)内的一端上套接有齿轮(6),所述转动杆(5)位于腔室(4)外的一端上套接有棘轮(16),所述控制板(3)的前端侧壁上转动连接有压片(7),所述压片(7)位于棘轮(16)的正上方,且压片(7)的下端与棘轮(16)相抵接触,所述腔室(4)底部滑动连接有两块控制块(8),两块所述控制块(8)分别设置在转动杆(5)左右两侧的腔室(4)内,两块所述控制块(8)的相对侧壁上均连接有移动板(9),两块所述移动板(9)分别设置在转动杆(5)上下两侧的腔室(4)内,两块所述移动板(9)的相对侧壁上均设有齿条(10),且齿条(10)与齿轮(6)啮合,两块所述控制块(8)上均设有左右连通的通道(11),且其中一块控制块(8)上的通道(11)与另一块控...
【专利技术属性】
技术研发人员:孔凡伟,段花山,代勇敏,
申请(专利权)人:山东晶导微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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