一种低噪音的刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀设备，特别是一种低噪音的刻蚀设备。该实用新型专利技术包括风刀组、热风机和高效过滤器，所述高效过滤器上设置有进风口，高效过滤器和热风机外包有机台，所述机台的壁面面向进风口的开口的方向设有回风口,所述回风口为长方形结构。该实用新型专利技术通过取消管道和多层包裹隔绝，使得降噪效果十分明显，保护现场操作人员的身心健康，保证其工作效率，同时提升了出风温度，从而提升了产能，且采用了一定方法增加循环效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种低噪音的刻蚀设备
本技术涉及一种刻蚀设备，特别是一种低噪音的刻蚀设备。
技术介绍
单晶产品在刻蚀设备制程中通过去除硅片边缘的N型硅，使硅片上下两面绝缘，去除扩散形成的PSG，然后进行烘干。根据图3的被作用物我们可以发现，被作用物为长方体形状，对于此形状物的烘干，采用相应的出风口最为合适。在整个过程中，会产生83.4dB的噪音，从而影响现场操作人员的身心健康和工作效率及存在安全隐患。同时，原设备通过吸风管道将室外的空气吸入室内，当室外较冷时，冷空气即便通过热风机加热后使用，仍然会降低效果。
技术实现思路
本技术的目的在于：针对上述问题，本技术提供一种低噪音的高产能的能造成气体循环的刻蚀设备。本技术采用的技术方案如下：一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机和高效过滤器，所述高效过滤器上设置有进风口，高效过滤器和热风机外包有机台，所述机台的壁面面向进风口的开口的方向设有回风口,所述回风口为长方形结构；机台的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组和下风刀组，所述上风刀组和所述下风刀组的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口的长度相等，上风刀组和下风刀组分别与热风机和高效过滤器通过风管顺次连接，上风刀组和下风刀组的中间设置有放物平台，所述放物平台为网状结构，放物平台的一端连接机台，放物平台、回风口与进风口均齐平设置，上风刀组包括水平设置的前风刀a和后风刀a，所述前风刀a的开口面向正下方向，所述后风刀a的开口面向右下方向，前风刀a与机台的距离小于后风刀a与机台的距离，下风刀组包括水平设置的前风刀b和后风刀b，所述前风刀b的开口面向正上方向，所述后风刀b的开口面向右上方向，前风刀b与机台的距离小于后风刀b与机台的距离。优选的，所述热风机外包裹有隔音隔温棉。优选的，所述回风口的上方设置有新风口。一种低噪音的刻蚀系统，包括隔离间和设置在隔离间内的刻蚀设备，所述隔离间侧面设置有门和多个风口，隔离间包括工作区域和维修区域，所述维修区域内设置机台，工作区域设置风刀组。优选的，所述风口设置有粗过滤网，所述门设置有隔音隔温棉。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：本技术中的一种低噪音的刻蚀设备，通过取消管道和多层包裹隔绝，使得降噪效果十分明显，保护现场操作人员的身心健康，保证其工作效率，同时由于采用循环使用室内加热过的空气作为进风，从而提升了出风温度，出风温度的提高使得整个过程效率得到提高，并使得室外的环境变化对该装置的工作效果产生的影响得到降低，提升了产能，且采用了一定方法增加循环效率更高。附图说明图1是本技术结构图；图2是本技术机台的正面图；图3是被作用物的俯视图；图中标记：1-隔离间；2-上风刀组；3-下风刀组；4-热风机；5-进风口；6-机台；7-高效过滤器；8-回风口；9-门；10-风口；11-放物平台；12-新风口；13-工作区域；14-维修区域；15-前风刀a；16-后风刀a；17-后风刀b；18-前风刀b。具体实施方式本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。实施例一本实施例结合图1和图2所示，一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机4和高效过滤器7，所述高效过滤器7上设置有进风口5，高效过滤器7和热风机4外包有机台6，所述机台6的壁面面向进风口5的开口的方向设有回风口8,所述回风口8为长方形结构；机台6的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组2和下风刀组3，所述上风刀组2和所述下风刀组3的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口8的长度相等，上风刀组2和下风刀组3分别与热风机4和高效过滤器7通过风管顺次连接，上风刀组2和下风刀组3的中间设置有放物平台11，所述放物平台11为网状结构，放物平台11的一端连接机台6，放物平台11、回风口8与进风口5均齐平设置，上风刀组2包括水平设置的前风刀a15和后风刀a16，所述前风刀a15的开口面向正下方向，所述后风刀a16的开口面向右下方向，前风刀a15与机台6的距离小于后风刀a16与机台6的距离，下风刀组3包括水平设置的前风刀b18和后风刀b17，所述前风刀b18的开口面向正上方向，所述后风刀b17的开口面向右上方向，前风刀b18与机台6的距离小于后风刀b17与机台6的距离。在使用过程中，热风机3提供气体动力将空气通过机台6上的进风口5吸入高效过滤器4，后进入热风机3，而后将加热后的空气从风刀组送出，由于需要持续的吸入空气，传统的做法是接一根气管到室外，从而吸收室外空气，而室外空气在气管中流动，会产生严重的噪音，影响现场操作人员的身心健康和工作效率及存在安全隐患，本做法将连接室外的气管取消，将进风口5改为口状，取消了气管，从源头上将气管震动解决，从而大幅减少了噪音的产生；本方法采用风刀作为风刀组，相对于传统的风刀组，风刀具有控温，调风量调风向，更快更准更均匀地达到热风干燥、热收缩、热处理效果的优点，除此之外，风刀口一般为长条形，完全符合被作用物所需的形状，因此，特选择风刀作为风刀组。在取消了吸气管的同时，采取气体的循环供给，风分别从上风刀组2和下风刀组3出来后吹向被作用物，由于前风刀自带一定角度，使得碰撞后的风能够向后流动，并带动后风刀吹出的风一起向后流动，从而通过回风口8进入进风口5，而将回风口8的长度设置为与风刀组的长度相等，使得风能够更多地通过回风口8，而不是被挡在外面，从而使得循环效率更高，相比完全靠热风机吸，本方法增加了气体流动造成的循环，循环效率更高。上风刀组2和下风刀组3均设置2个风刀，且各自朝向不同的方向，风刀本身具集风效果好的特点，如果仅设置一个方向的风刀，集中的风不会完全吹过被作用物的所有表面，此时将几股集中的风朝向被作用物的不同部位吹动，使得烘干效果更好，烘干更全面，尤其对小面积的被作用物具有非常良好的风干系统，使其表面保持一种良好的清洁度。在此之上，由于不再直接从室外吸气，而采取循环空气的方式，能使得出风温度提升2.4℃，对提升产能帮助十分明显；通过用机台6将热风机4和高效过滤器7包裹起来，使得热风机4工作与高效过滤器7吸风发出的噪音得到隔绝。实施例二本实施例基于实施例1做进一步改进，如图1所示，所述热风机4外包裹有隔音隔温棉。在使用过程中，将隔音隔温棉包裹住热风机4，使得其得到进一步降噪，同时使得热散失降低，提高工作效率。实施例三本实施例基于实施例1-2中的任一项做进一步改进，如图2所示，所述回风口8的上方设置有新风口12。在使用过程中，在回风口8的上方设置有新风口12，部分风被打到回风口8上面，沿着机台6壁面向上流动，造成机台6内的空气不足，此时机台6内的气压小于机台6外气压，新风口12可以使得室内空气对机台6内的空气进行补充，同时新风从新风口12进入，刚好可以带动沿着机台6壁面向上流动的气体一起进入机台6内。实施例四本实施例如图1所示，一种低噪音的刻蚀系统，包括隔离间1和设置在隔离间1内的刻蚀设备，所述隔离间1侧面设置有门9和多个风口10，隔离间1包括工作区域13和维修区域14，所述维修区域14内设置机台6，工作区域13设置风刀组。在使用过程中，工作人员通过门9进入隔离间1后，关紧门9并通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机(4)和高效过滤器(7)，其特征在于：所述高效过滤器(7)上设置有进风口(5)，高效过滤器(7)和热风机(4)外包有机台(6)，所述机台(6)的壁面面向进风口(5)的开口的方向设有回风口(8),所述回风口(8)为长方形结构；机台(6)的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组(2)和下风刀组(3)，所述上风刀组(2)和所述下风刀组(3)的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口(8)的长度相等，上风刀组(2)和下风刀组(3)分别与热风机(4)和高效过滤器(7)通过风管顺次连接，上风刀组(2)和下风刀组(3)的中间设置有放物平台(11)，所述放物平台(11)为网状结构，放物平台(11)的一端连接机台(6)，放物平台(11)、回风口(8)与进风口(5)均齐平设置，上风刀组(2)包括水平设置的前风刀a(15)和后风刀a(16)，所述前风刀a(15)的开口面向正下方向，所述后风刀a(16)的开口面向右下方向，前风刀a(15)与机台(6)的距离小于后风刀a(16)与机台(6)的距离，下风刀组(3)包括水平设置的前风刀b(18)和后风刀b(17)，所述前风刀b(18)的开口面向正上方向，所述后风刀b(17)的开口面向右上方向，前风刀b(18)与机台(6)的距离小于后风刀b(17)与机台(6)的距离。...

【技术特征摘要】
1.一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机(4)和高效过滤器(7)，其特征在于：所述高效过滤器(7)上设置有进风口(5)，高效过滤器(7)和热风机(4)外包有机台(6)，所述机台(6)的壁面面向进风口(5)的开口的方向设有回风口(8),所述回风口(8)为长方形结构；机台(6)的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组(2)和下风刀组(3)，所述上风刀组(2)和所述下风刀组(3)的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口(8)的长度相等，上风刀组(2)和下风刀组(3)分别与热风机(4)和高效过滤器(7)通过风管顺次连接，上风刀组(2)和下风刀组(3)的中间设置有放物平台(11)，所述放物平台(11)为网状结构，放物平台(11)的一端连接机台(6)，放物平台(11)、回风口(8)与进风口(5)均齐平设置，上风刀组(2)包括水平设置的前风刀a(15)和后风刀a(16)，所述前风刀a(15)的开口面向正下方向，所述后风刀a(16)的开口面向右下...

【专利技术属性】
技术研发人员：白云平，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51