刻蚀烘烤设备升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种刻蚀烘烤设备升降装置。该装置包括升降机构（1）和支承在升降机构（1）上的尾气收集器（2），该尾气收集器（2）随升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降。该装置还包括气缸组件（3），气缸组件（3）在尾气收集器（2）的上限位置处进一步提升尾气收集器（2），以形成尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。本实用新型专利技术的刻蚀烘烤设备升降装置在将尾气收集器顶靠在反应炉底座上之后，通过挤压反应炉底座上的O圈而将尾气收集器严实地密封在反应炉底座上，从而克服先前所述的反应炉密封性不佳的问题，获得了有益的技术效果。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Device for lifting etching baking equipment

The utility model relates to a lifting device for an etching baking device. The device comprises a lifting mechanism (1) and a tail gas collector (2) which is supported on the lifting mechanism (1), and the tail gas collector (2) is arranged between the upper limit position and the lower limit position. The device also comprises a cylinder assembly (3), (3) cylinder components in the exhaust gas collector (2) the upper limit position to further enhance the exhaust collector (2), to form a gas collector (2) and the sealing between the etching reaction furnace baking equipment. Etching baking equipment lifting device of the utility model in the exhaust collector on the top of the reaction furnace base, by extrusion reactor on the base of O circle and will be tightly sealed in the exhaust collector reactor on the base, so as to overcome the previous reaction furnace of the problem of poor sealing, obtain useful technical effect.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种刻蚀烘烤设备升降装置，更具体地说，涉及一种使用在氯气或氯化物刻蚀烘烤设备中的升降装置。
技术介绍
金属有机化学气相沉积设备(简称M0CVD)以热分解反应方式在衬底上进行化学沉积反应，生长各种II1-V族、I1-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。石墨盘作为衬底的承载平台，在该反应过程中会有多余的化学反应残留物沉积在石墨盘表面上。如果不对这些残留物进行清除的话，会在新的一炉外延片生长过程中影响对应的温度控制和表面颗粒，并最终影响到外延片生长的成品率。目前市场提供和业内使用的石墨盘清洁装置通常利用长时间高温烘烤的方式来清除沉积在石墨盘表面上的残留物。但是，由于石墨盘需要放置在高温环境中以进行清除作业，因此需要利用升降装置对其进行升降，从而将待清除的石墨盘送入高温反应炉和/或从高温反应炉中运出已清除的石墨盘。一种现有的升降装置包括具有升降支架和尾气收集器的升降机构，其中尾气收集器支承在升降支架上。在物料上升过程中，升降机构将支承在升降支架上的尾气收集器提升到上限位置以使该尾气收集器通过反应炉底座上的开口而与反应炉连通。在物料下降过程中，升降机构将支承在升降本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刻蚀烘烤设备升降装置，包括升降机构（1）和支承在所述升降机构（1）上的尾气收集器（2），所述尾气收集器（2）随所述升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降，其特征在于，所述装置还包括气缸组件（3），所述气缸组件（3）在所述尾气收集器（2）的所述上限位置处进一步提升所述尾气收集器（2），以形成所述尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀烘烤设备升降装置，包括升降机构(I)和支承在所述升降机构(I)上的尾气收集器(2)，所述尾气收集器(2)随所述升降机构(I)在上限位置和下限位置之间升降，其特征在于，所述装置还包括气缸组件(3)，所述气缸组件(3)在所述尾气收集器(2)的所述上限位置处进一步提升所述尾气收集器(2)，以形成所述尾气收集器(2)与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。2.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述升降机构(I)包括升降支架(109)和丝杆(112)，所述丝杆(112)通过丝杆螺母(108)与其上方的所述升降支架(109)关联配合。3.如权利要求2所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述丝杠(112)通过皮带(104)与驱动电机(101)相连。4.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述皮带(104)具有张紧装置，所述张紧装置包括:形成在所述升降机构(I)的滑板(102)上的一对第一凸台(11)和一对旋合调节螺杆(103)的孔(12);以及形成在所述升降机构(I)的底座(106)上的一对凹槽(13)和一对第二凸台(14)。5.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，在所述升降装置(I)和所述尾气收集器(2 )上设有使两者连动的连动装置，所述连动装置包括销轴(8 )、形成在所述尾气收集器(2)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁云鑫，徐小明，周永君，毛棋斌，
申请(专利权)人：杭州士兰明芯科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：