温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种刻蚀烘烤设备升降装置。该装置包括升降机构（1）和支承在升降机构（1）上的尾气收集器（2），该尾气收集器（2）随升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降。该装置还包括气缸组件（3），气缸组件（3）在尾气收集器（2）的上限位...
该专利属于杭州士兰明芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰明芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。