【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘，属于干式刻蚀设备
技术介绍
在干法刻蚀过程中为刻蚀底盘，刻蚀腔体内部注入BCL3气体，用来刻蚀蓝宝石晶片，需要底盘和气体喷射孔位置相对应，现有技术的气体喷射盘上的气体喷射孔是以气体喷射盘的中心为圆心均匀的分布在气体喷射盘的周边，将蓝宝石晶片均匀的放置在圆盘上，使放置在气体喷射盘下方的圆片所对应的气体喷射孔的数量不一，影响了产品的刻蚀效果，且现有技术的气体喷射盘无法调节与圆盘之间的高度。为了解决上述困难，需要开发一款能调节气体喷射盘的高度，且能使晶片的周边都能均匀的与气体喷射孔相互对应的干式刻蚀设备的刻蚀底盘。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘。本技术要解决的问题是现有技术的气体喷射盘无法调节与圆盘之间的高度，且放置在气体喷射盘下方的晶片的周边不能均匀的与气体喷射孔相互对应的问题。为实现本技术的目的，本技术采用的技术方案是：一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘，包括移动块、直线电机、控制器、工作台、气缸、第一台板、滑块、滑轨、第二台板、支块、圆盘、气体喷射盘和气体喷射孔，所述工作台上安装第一台板，第一台板内左右两侧各安装气缸，气缸的活塞杆伸出第一台板外，气缸的活塞杆上安装第二台板，第二台板安装在滑块上，滑块安装在滑轨上，滑轨安装在工作台上，第一台板和第二台板上各安装圆盘，圆盘上方设有气体喷射盘，气体喷射盘左右两侧各安装移动块，移动块安装在直线电机上，直线电机安装在支块上，支块安装在圆片侧面，控制器安装在工作台上，控制器通过导线与直线电机相连。所述气缸内置电磁阀，电磁阀通过导线与控制器相连。所述气体...
【技术保护点】
一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘，包括移动块（1）、直线电机（2）、控制器（3）、工作台（4）、气缸（5）、第一台板（6）、滑块（7）、滑轨（8）、第二台板（9）、支块（10）、圆盘（11）、气体喷射盘（12）和气体喷射孔（13），其特征是：所述工作台（4）上安装第一台板（6），第一台板（6）内左右两侧各安装气缸（5），气缸（5）的活塞杆伸出第一台板（6）外，气缸（5）的活塞杆上安装第二台板（9），第二台板（9）安装在滑块（7）上，滑块（7）安装在滑轨（8）上，滑轨（8）安装在工作台（4）上，第一台板（6）和第二台板（9）上各安装圆盘（11），圆盘（11）上方设有气体喷射盘（12），气体喷射盘（12）左右两侧各安装移动块（1），移动块（1）安装在直线电机（2）上，直线电机（2）安装在支块（10）上，支块（10）安装在圆片侧面，控制器（3）安装在工作台（4）上，控制器（3）通过导线与直线电机（2）相连。
【技术特征摘要】
1.一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘，包括移动块（1）、直线电机（2）、控制器（3）、工作台（4）、气缸（5）、第一台板（6）、滑块（7）、滑轨（8）、第二台板（9）、支块（10）、圆盘（11）、气体喷射盘（12）和气体喷射孔（13），其特征是：所述工作台（4）上安装第一台板（6），第一台板（6）内左右两侧各安装气缸（5），气缸（5）的活塞杆伸出第一台板（6）外，气缸（5）的活塞杆上安装第二台板（9），第二台板（9）安装在滑块（7）上，滑块（7）安装在滑轨（8）上，滑轨（8）安装在工作台（4）上，第一台板（6）和第二台板（9...
【专利技术属性】
技术研发人员：竺平军，
申请(专利权)人：浙江优众新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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