【技术实现步骤摘要】
涂布产线系统
本技术是关于涂布结构,尤指一种用于晶圆片或LED基板的涂布产线系统。
技术介绍
一般晶圆片或LED基板为了进行后续的蒸镀、显影等制程,故晶圆片或LED基板会先进行溶剂(如光阻)的涂布,使用者需长时间等待,使在该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发,待该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发后,将该晶圆片或LED基板置入一烤箱中烘烤,藉以使溶剂的化学物质能够固化于该晶圆片或LED基板表面。然而,因为该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发速度较慢,导致晶圆片或LED基板需在烤箱中长时间的烘烤,不仅造成整体制造流程缓慢,也导致制程过程中的能源浪费,故现有晶圆片或LED基板的涂布产线系统诚有改良的必要。
技术实现思路
为解决现有的晶圆片或LED基板需在烤箱中长时间的烘烤,导致整体制造流程缓慢,以及能源浪费的缺失与不足,本技术的主要目的在于提供一种涂布产线系统,本技术主要通过真空烘烤装置的设置,让该晶圆片先经过真空抽取的步骤再进行烘烤步骤,有效降低晶圆片或LED基板的烘烤时间,进一步能够减少该烘烤箱的使用数量。本技术解决先前技术问题所提出的涂布产线系统,其包括:一平台,该平台设有一入口端以及一出口端;一涂布装置,该涂布装置设置于该平台的入口端;一机械手臂,该机械手臂设置于该平台的入口端与该出口端之间,该机械手臂与该涂布装置为间隔设置;以及一真空烘烤装置,该真空烘烤装置设置于该平台的出口端,该真空烘烤装置与该机械手臂为间隔设置。本技术的技术手段可获得的有益效果为:本技术于该平台设有一真空烘烤装置,使该晶圆片先经过真空抽取的步骤,让该晶圆片或LED基板表面的溶剂挥发速度较快,本 ...
【技术保护点】
一种涂布产线系统,其特征在于,其包括:一平台,该平台设有一入口端以及一出口端;一涂布装置,该涂布装置设置于该平台的入口端;一机械手臂,该机械手臂设置于该平台的入口端与该出口端之间,该机械手臂与该涂布装置为间隔设置;以及一真空烘烤装置,该真空烘烤装置设置于该平台的出口端,该真空烘烤装置与该机械手臂为间隔设置,其中,该真空烘烤装置能够以抽真空方式抽取一晶圆片中溶剂中的大部分挥发性成分,且该真空烘烤装置将已抽取完成大部分挥发性成分的晶圆片加热。
【技术特征摘要】
1.一种涂布产线系统,其特征在于,其包括:一平台,该平台设有一入口端以及一出口端;一涂布装置,该涂布装置设置于该平台的入口端;一机械手臂,该机械手臂设置于该平台的入口端与该出口端之间,该机械手臂与该涂布装置为间隔设置;以及...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈建勋,许志源,
申请(专利权)人:苏州元珞电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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