涂布器、涂布装置和涂布方法。提供一种涂布器，能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。本发明专利技术的涂布器具有：第1供给口(31)，其供给涂布液；第1歧管(11)，其与第1供给口(31)连接；喷出缝(22)，其喷出涂布液；第2歧管(12)，其与喷出缝(22)连接；以及连结节流流路(21)，其连结第1歧管(11)和第2歧管(12)，第1歧管(11)连接有将积存在第1歧管(11)内的气泡排出到外部的第1排出口(41)，第2歧管(12)连接有供给涂布液的第2供给口(32)和将积存在第2歧管(12)内的气泡排出到外部的第2排出口(42)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于从喷出缝喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的涂布器、利用该涂布器在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置、以及利用该涂布器在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法。
技术介绍
作为在玻璃基板或胶片等被涂布部件上涂布涂布液而形成涂布膜的装置公知具有涂布器的涂布装置，其中该涂布器具有用于喷出涂布液的喷出缝。涂布器具有:供给涂布液的供给口 ；与供给口连接且在宽度方向上扩宽涂布液的歧管；以及喷出涂布液的喷出缝。从供给口流入歧管的涂布液在歧管的宽度方向上扩宽，成为在歧管内暂时积存的状态，然后通过喷出缝喷出到被涂布部件。由此，由于涂布液遍及喷出缝的整个宽度均匀地喷出，因此能够形成均匀的膜厚的涂布膜。通常，由于供给口设置在歧管的中央部，因此从供给口流入歧管的涂布液在歧管的宽度方向上未被完全地扩宽，喷出缝的中央部的喷出量相比端部会增加，其结果为，存在如下问题:会形成宽度方向的中央部的膜厚变厚的涂布膜。为了解决该问题，提出了如下的涂布器:在涂布器中设置上下2段歧管，并通过连结缝将这些歧管之间连接(专利文献1等)。根据该涂布器，在上段歧管中沿宽度方向扩宽的涂布液进一步在下段歧管中沿宽度方向扩宽，由此从喷出缝喷出的涂布液遍及喷出缝的整个宽度更均匀化。由此，能够形成宽度方向的膜厚均匀的涂布膜。但是，在对涂布器填充涂布液时，有时在涂布器内的歧管中残留有气泡(空气)。并且，在涂布过程中，有时溶解在涂布液中的气泡在涂布器内发泡，或者当对用于向涂布器供给涂布液的阀进行开闭时会混入气泡，或者从喷出缝的末端吸入气泡。这样，当在涂布器内存在气泡时，在涂布开始时，涂布压力的传播产生延迟，从而涂布开始部分的膜厚变薄，或者将气泡喷出到被涂布部件，由此产生如下问题:在涂布膜中产生针孔状的涂布缺陷，或者混入到喷出缝的气泡截断涂布液的流动，而在涂布膜上产生纵向条痕等涂布缺陷。为了解决这种问题，在歧管中设置用于排出气泡的排出口，定期地将积存在涂布器内的歧管中的气泡排出到外部(专利文献2等)。专利文献1:日本特开2013-176736号公报专利文献2:日本特开2006-212592号公报
技术实现思路
认为能够通过如下这样的机构将积存在涂布器内的歧管中的气泡从排出口排出到外部。当从设置于歧管的中央部的供给口对歧管内供给涂布液时，涂布液沿着宽度方向在歧管内流动。此时，积存在歧管中的气泡因涂布液的流动而被挤出到设置于歧管的宽度方向两端部的排出口。由此，将积存在歧管中的气泡从排出口排出到外部。在为了形成宽度方向的膜厚均匀的涂布膜而使歧管采用上下2段的结构的涂布器中，涂布液的供给口设置于上段歧管。因此，从设置于上段歧管的供给口进行涂布液向涂布器的供给。供给到上段歧管的涂布液沿着宽度方向在歧管内流动，从而积存在歧管中的气泡被挤出到设置于宽度方向两端部的排出口，并通过排出口排出到外部。涂布液通过连结缝从上段歧管流入下段歧管，积存在下段歧管中的气泡被该流入的涂布液挤出而排出到外部。然而，由于流入下段歧管的涂布液是从连结缝的整个宽度供给的，因此沿着歧管的宽度方向的流动变弱。因此，将积存在下段歧管中的气泡排出会花费时间，其结果为，存在涂布器整体的气泡的排出时间变长这样的问题。本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供一种涂布器，虽然是具有多个歧管的涂布器，也能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。本专利技术的涂布器具有:第1供给口，其供给涂布液；第1歧管，其与第1供给口连接；喷出缝，其喷出涂布液；第2歧管，其与喷出缝连接；以及连结节流流路，其连结第1歧管和第2歧管，涂布器的特征在于，第1歧管连接有将积存在该第1歧管内的气泡排出到外部的第1排出口，第2歧管连接有供给涂布液的第2供给口和将积存在第2歧管内的气泡排出到外部的第2排出口。本专利技术的涂布装置的特征在于，具有:保持单元，其保持被涂布部件；上述涂布器，其向被涂布部件喷出涂布液；积液部，其积存涂布液；送液单元，其将该积液部的涂布液输送给涂布器；以及驱动单元，其使保持单元上的被涂布部件与涂布器中的至少一方相对于另一方相对移动。本专利技术的涂布方法是从上述涂布器喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法，其特征在于，涂布方法包含如下的工序:第1工序，将积存在设置于涂布器内的所有的歧管内的气泡排出到外部；以及第2工序，在第1工序之后，从涂布器的喷出缝喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜，在第1工序中，积存在第1歧管内的气泡借助从第1供给口朝向第1排出口流动的涂布液而从第1排出口排出到外部，积存在第2歧管内的气泡借助从第2供给口朝向第2排出口流动的涂布液而从第2排出口排出到外部，在第2工序中，停止从设置于第2歧管的第2供给口进行的涂布液的供给。根据本专利技术，能够提供一种涂布器，虽然是具有多个歧管的涂布器，也能够将积存在涂布器内的各个歧管中的气泡可靠且迅速地排出到外部，由此形成均匀且不存在涂布缺陷的涂布膜。【附图说明】图1的(a)、(b)是示意性示出本专利技术的一实施方式的涂布器的结构的图。图2的(a)?(d)是示出最初填充涂布液时的、排出气泡的机构的纵剖视图。图3是示出当在被涂布部件上形成涂布膜时，继续从第2供给口供给涂布液的情况的状态的图。图4的(a)、(b)是示出本专利技术的另一实施方式的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法的纵剖视图。图5的(a)、(b)是示出本专利技术的另一实施方式的在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置的结构的图。图6是示出本专利技术的另一实施方式的涂布器的结构的图。图7的(a)、(b)是示出连结节流流路的变形例的图。标号说明1:涂布装置；2:载台；3:驱动装置；4:配管；5:栗；6:容器；10:涂布器；11:上段歧管(第1歧管)；12:下段歧管(第2歧管)；21:连结节流流路；22:喷出缝；31:第1供给口 ；32:第2供给口 ；33:第1供给阀；34:第2供给阀；35:配管；36、37:贯通孔；38:涂布液供给控制单元；41:第1排出口 ；42:第2排出口 ；43:第1排出阀；44:第2排出阀；45、46:贯通孔；47、48:配管；49:气泡排出控制单元；50:气泡；60:倾斜面。【具体实施方式】以下，根据附图对本专利技术的实施方式详细地进行说明。另外，本专利技术不限于以下的实施方式。并且，在不脱离实现本专利技术的效果范围的范围中，可以适当变更。图1的(a)、(b)是示意性示出本专利技术的一实施方式的涂布器的结构的图，图1的(a)是横剖视图，图1的(b)是纵剖视图。如图1的(a)、(b)所示，本实施方式中的涂布器10具有供给涂布液的第1供给口31当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种涂布器，其具有：第1供给口，其供给涂布液；第1歧管，其与所述第1供给口连接；喷出缝，其喷出所述涂布液；第2歧管，其与所述喷出缝连接；以及连结节流流路，其连结所述第1歧管和所述第2歧管，其特征在于，所述第1歧管连接有将积存在该第1歧管内的气泡排出到外部的第1排出口，所述第2歧管连接有供给所述涂布液的第2供给口和将积存在所述第2歧管内的气泡排出到外部的第2排出口。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：堀内展雄，伊藤祯彦，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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