一种探针接触测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种探针接触测试系统，解决了常见探针接触测试系统在使用时，需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动的问题，其技术方案要点是，包括：机架；设于机架上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构；以及，若干设于所述机架上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件的、带动所述探针组件竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座，达到驱使探针组件上下移动，同样可以实现对测试芯粒进行接触测试的目的。

A probe contact testing system

The utility model discloses a probe contact test system, solve the common probe contact test system in use, need mobile drive volume and the weight of large slide table, the technical proposal is arranged on the machine frame comprises a frame; and for testing the core particle fixed and drives the test the core particle moves along the horizontal and vertical slide table mechanism; and some are arranged on the frame, fixed to drive a plurality of test core particle contact test probe assembly, the vertical probe assembly moves up and down to contact the test probe core particle, to drive the probe assembly on the next move, can also achieve contact testing of the core particle to.

【技术实现步骤摘要】
一种探针接触测试系统
本技术涉及半导体检测
，特别涉及一种探针接触测试系统。
技术介绍
现有技术的探针接触测试系统中，探针往往保持不动，电机带动支撑测试芯粒的载片台上下运动，直至电极接触到探针，从而进行测试。但是，这些系统在进行接触测试的过程中，由于需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动，整个设备的体积往往较大，控制较为复杂，而且不利于节省能源。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种探针接触测试系统，解决了常见探针接触测试系统在使用时，需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针接触测试系统，包括：机架；设于机架上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构；以及，若干设于所述机架上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件的、带动所述探针组件竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座。通过采用上述技术方案，在对测试芯粒进行接触测试的过程中，载片台机构可以带动测试芯粒在水平方向上，横向以及纵向运动，探针座可以探针组件的竖向上下移动，从而无需驱动体积及重量较大的载片台上下移动，减小竖直方向上克服载片台机构重量而做的功，从而使得整个探针接触测试设备的体积变小，控制也随着探针组件易于驱动而变得简便，有效提升了测试的精确度，更主要的是，探针组件相对于载片台体积和重量更小，有利于节省能源。进一步的，所述探针座包括：座体；设于所述座体且竖向布置的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括：丝杆，以及螺纹装配于所述丝杆的、被所述丝杆传动以竖向上下移动的滑套；固定于所述座体的、受一控制中心控制并带动所述丝杆动作的驱动机构；以及，供所述探针组件固定的、固定装配于所述滑套的安装机构。通过采用上述技术方案，驱动机构可以带动丝杆转动，从而驱使滑套升降，由于滑套和探针组件之间通过安装机构牢固连接，实现探针组件的竖向上下移动。进一步的，所述驱动机构包括：通过一电机座固定于所述座体的伺服电机；以及，设于所述丝杆和所述伺服电机的转轴之间的、带动所述丝杆沿竖向轴线转动的传动件。通过采用上述技术方案，伺服电机在转动时，通过传动件实现带动丝杆同步转动，使得该驱动机构更加易于控制，而且实现自动化驱使探针组件升降，同时还具有较佳的稳定性。进一步的，所述探针座还包括：固定于所述座体的、设有若干散热孔的、以阻止外界物体撞击所述伺服电机的防护罩。通过采用上述技术方案，防护罩在对伺服电机具有保护作用，以使伺服电机的使用寿命更长；同时由于散热孔的结构，有助于伺服电机快速散热，进一步延长了伺服电机的使用寿命。进一步的，所述安装机构包括：供所述探针组件固定的安装板；以及，固定于所述安装板的相对于所述探针组件的一侧、固定装配于所述滑套的支座。通过采用上述技术方案，探针组件固定于安装板，安装板通过支座固定于被丝杆传动的滑套，从而实现探针组件被驱使上下移动的功能，该结构制作简单，易于实现且稳定性高。进一步的，所述探针座还包括：固定于所述机架的底板；横向滑动式装配于所述底板的第一板，设于所述第一板和所述底板之间的、驱使所述第一板相对于所述底板横向滑移的第一微调组件；以及，纵向滑动式装配于所述第一板的、固定于所述座体的第二板，设于所述第一板和所述第二板之间的、驱使所述第二板相对于所述第一板纵向滑移的第二微调组件。通过采用上述技术方案，在探针组件相对于测试芯粒的位置需要调节时，第一微调组件驱使第一板相对于底板横向滑移，第二微调组件驱使第二板相对于第一板纵向滑移，从而可以实现对探针组件进行纵向及横向微调，这种结构调节更加方便而且精确度更高。进一步的，所述机架包括：供所述载片台机构固定的下台面板；与所述下台面板平行布置的、供所述探针座固定的上台面板，所述上台面板设有供所述测试芯粒漏出以和所述探针组件进行接触测试的预留孔，所述探针座安装于所述预留孔周围；以及，设于所述上台面板和所述下台面板的两侧之间的支撑结构。通过采用上述技术方案，由于测试芯粒需要被载片台机构带动横向以及纵向运动，探针组件需要被探针座带动竖向运动，载片台机构与探针座分层布置有利于节省该探针接触测试系统的空间，从而稳定性更高，间接提升了测试精确度。进一步的，所述载片台机构包括：供所述测试芯粒固定的、带动所述测试芯粒沿竖向轴线作圆周运动的承载组件；供所述承载组件固定的、驱动所述承载组件相对于所述机架横向移动的横向驱动组件；以及，供所述横向驱动组件固定的、驱动所述承载组件及所述横向驱动组件相对于所述机架纵向移动的纵向驱动组件。通过采用上述技术方案，横向驱动组件可以驱使承载有测试芯粒的承载组件相对于机架横向移动，纵向驱动组件可以驱使承载组件及横向驱动组件相对于机架纵向移动，承载组件只可以带动测试芯粒竖向轴线作圆周运动，从而方便在承载组件上更换测试芯粒，以及便于测试芯粒与探针组件快速对准。进一步的，所述探针接触测试系统还包括:设于所述机架上、以观察所述测试芯粒相对于所述探针组件位置的显微镜。通过采用上述技术方案，显微镜用于观察测试芯粒相对探针组件位置，从而可以快速对准测试芯粒与探针组件，加快了测试效率。进一步的，所述显微镜通过铰接件设于所述机架上，所述铰接件上螺纹连接有抵接以固定所述显微镜的锁紧件。通过采用上述技术方案，在更换测试芯粒与探针组件时，可以将显微镜绕铰接件旋转，以增大操作空间，在需要固定显微镜位置时，旋钮锁紧件以使其抵紧铰接件即可。综上所述，本技术实施例具有以下有益效果：其一，通过驱动探针组件上下的方式来替换常见需要驱动载片台上下的方式，更加稳定及节能，同时精确度更高；其二，需要微调探针组件的位置时，可以通过第一微调组件和第二微调组件来实现调节，不仅精确度更高，而且操作方便，稳定性高。附图说明图1是本技术实施例的结构示意图；图2是本技术实施例中探针座及探针组件的结构示意图；图3是本技术实施例中探针座的爆炸示意图。附图标记：1、机架；11、下台面板；12、上台面板；121、预留孔；13、支撑结构；2、载片台机构；21、承载组件；22、横向驱动组件；23、纵向驱动组件；3、探针座；31、座体；32、滚珠丝杠；321、丝杆；322、滑套；323、第一支撑单元；324、第二支撑单元；33、驱动机构；331、伺服电机；332、传动件；3321、带轮；3322、同步带；34、安装机构；341、安装板；342、支座；343、底板；344、第一板；345、第一微调组件；346、第二板；347、第二微调组件；348、导轨；349、滑块；35、防护罩；351、散热孔；4、显微镜；5、铰接件；6、锁紧件；7、探针组件。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例：一种探针接触测试系统，如图1所示，包括：机架1；设于机架1上的、供测试芯粒固定并带动测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构2；以及，四个安装于机架1上的、固定有一组对测试芯粒进行接触测试的探针组件7的、带本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针接触测试系统，其特征在于，包括：机架(1)；设于机架(1)上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构(2)；以及，若干设于所述机架(1)上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件(7)的、带动所述探针组件(7)竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座(3)。

【技术特征摘要】
1.一种探针接触测试系统，其特征在于，包括：机架(1)；设于机架(1)上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构(2)；以及，若干设于所述机架(1)上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件(7)的、带动所述探针组件(7)竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座(3)。2.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针座(3)包括：座体(31)；设于所述座体(31)且竖向布置的滚珠丝杠(32)，所述滚珠丝杠(32)包括：丝杆(321)，以及螺纹装配于所述丝杆(321)的、被所述丝杆(321)传动以竖向上下移动的滑套(322)；固定于所述座体(31)的、受一控制中心控制并带动所述丝杆(321)动作的驱动机构(33)；以及，供所述探针组件(7)固定的、固定装配于所述滑套(322)的安装机构(34)。3.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述驱动机构(33)包括：通过一电机座固定于所述座体(31)的伺服电机(331)；以及，设于所述丝杆(321)和所述伺服电机(331)的转轴之间的、带动所述丝杆(321)沿竖向轴线转动的传动件(332)。4.根据权利要求3所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针座(3)还包括：固定于所述座体(31)的、设有若干散热孔(351)的、以阻止外界物体撞击所述伺服电机(331)的防护罩(35)。5.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述安装机构(34)包括：供所述探针组件(7)固定的安装板(341)；以及，固定于所述安装板(341)的相对于所述探针组件(7)的一侧、固定装配于所述滑套(322)的支座(342)。6.根据权利要求5所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针座(3)还包括：固定于所述机架(1)的底板(343)；横向滑动式装配于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，刘振辉，韦日文，李景均，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44