The utility model discloses a probe assembly of a probe contact test system, to solve the problem of inconvenient replacement of common probe, the technical proposal is, comprises: a plurality of probe, the probe comprises a needle rod, which is arranged on the end of the needle bar, and the detection of contact for detection, detection well, one end is arranged on the bending of the needle bar relative to the detecting section, and the needle bar is bent; the bending part is inserted into the socket, and the outer side of the needle bar connected, connected with the power supply test guide pole; and, with the inner surface the guide rod sliding assembly, and the needle rod connected for the sliding piece and the conducting rod clamping and fixing the needle bar, the probe reaches the probe assembly is convenient to replace.
【技术实现步骤摘要】
一种探针接触测试系统的探针组件
本技术涉及半导体检测
,特别涉及一种探针接触测试系统的探针组件。
技术介绍
在检测芯片是否合格时,通常需要用带电的探针来检测芯片的正负极是否可以导通。现有的探针接触测试系统,在使用一段时间后,探针由于和芯片频繁接触,需要及时更换新的探针,才能确保该探针接触测试系统的检测正确率。目前市面上大部分的探针是通过焊接的方式固定的,这种固定方式更换非常不方便;还有一部分探针是通过螺钉抵接或者螺栓和螺母的夹持的方式固定,由于芯片和探针的体积较小,从而螺钉或者螺栓螺母的体积也相应较小,同样具有探针更换不方便的缺点。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种探针接触测试系统的探针组件,解决了常见探针更换不方便的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种探针接触测试系统的探针组件,包括:若干探针,所述探针包括:针杆,设于所述针杆一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部,以及,设于所述针杆的相对于所述探测部的一端的、与所述针杆之间弯曲设置的弯曲部;设有供所述弯曲部插入的插孔的、外侧面与所述针杆相抵接的、连接有测试电源的导电杆;以及,与所述导电杆滑动式装配的、内侧面可与所述针杆相抵接的、用于与所述导电杆夹持固定所述针杆的滑移件。通过采用上述技术方案,在更换探针时,先将滑移件沿着导电杆滑移至插孔相对于探针的一侧,从插孔中拔出需要更换的探针,再将新的探针的弯曲部插进插孔中,插孔对新的探针具有限制作用,再将滑移件沿着导电杆朝向探针滑移,直至滑移件和导电杆一起将新的探针的针杆夹持固定,即可实现方便对探针进行更换。与常见的探针更换方式相比 ...
【技术保护点】
一种探针接触测试系统的探针组件,其特征在于,包括:若干探针(1),所述探针(1)包括:针杆(11),设于所述针杆(11)一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部(12),以及,设于所述针杆(11)的相对于所述探测部(12)的一端的、与所述针杆(11)之间弯曲设置的弯曲部(13);设有供所述弯曲部(13)插入的插孔(21)的、外侧面与所述针杆(11)相抵接的、连接有测试电源的导电杆(2);以及,与所述导电杆(2)滑动式装配的、内侧面可与所述针杆(11)相抵接的、用于与所述导电杆(2)夹持固定所述针杆(11)的滑移件(3)。
【技术特征摘要】
1.一种探针接触测试系统的探针组件,其特征在于,包括:若干探针(1),所述探针(1)包括:针杆(11),设于所述针杆(11)一端的、与待探测件接触以进行检测的探测部(12),以及,设于所述针杆(11)的相对于所述探测部(12)的一端的、与所述针杆(11)之间弯曲设置的弯曲部(13);设有供所述弯曲部(13)插入的插孔(21)的、外侧面与所述针杆(11)相抵接的、连接有测试电源的导电杆(2);以及,与所述导电杆(2)滑动式装配的、内侧面可与所述针杆(11)相抵接的、用于与所述导电杆(2)夹持固定所述针杆(11)的滑移件(3)。2.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统的探针组件,其特征在于,所述滑移件(3)包括:供部分所述导电杆(2)伸出的滑套(31),以及,固定于所述滑套(31)的、用于提供弹性回复力以将所述针杆(11)压紧在所述导电杆(2)的弹性件(32)。3.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统的探针组件,其特征在于,所述弹性件(32)包括:与所述滑套(31)的内侧面之间形成弹性缓冲间隙的、可抵接于所述针杆(11)的抵接部(321),以及,分设于所述抵接部(321)两端、与所述抵接部(321)形成以供所述滑套(31)卡嵌的卡槽结构的弯折边...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨波,刘振辉,韦日文,李景均,
申请(专利权)人:深圳市矽电半导体设备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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