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本实用新型公开了一种探针接触测试系统，解决了常见探针接触测试系统在使用时，需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动的问题，其技术方案要点是，包括：机架；设于机架上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构；以及，若干设于...
该专利属于深圳市矽电半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矽电半导体设备有限公司授权不得商用。

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