坩埚、蒸发源及蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备。该坩埚包括坩埚本体，其中，所述坩埚本体包括：分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。本实用新型专利技术所述坩埚通过设置能够分别被控制加热的内加热层和外加热层，使得在蒸镀过程中，可以通过控制两个加热层的开启或关闭，改变对蒸镀材料的加热面积，以达到控制坩埚内材料蒸发速率的目的，解决现有技术坩埚内仅设置一体的加热部分，在坩埚内材料减少时，仅能够通过提高加热功率调整蒸发速率，导致材料性能改变的问题。

【技术实现步骤摘要】
坩埚、蒸发源及蒸镀设备
本技术涉及显示面板制造
，尤其是指一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备。
技术介绍
随着各显示器制造公司不断的开发研究，有机发光二极管OLED显示器件的制作工艺越来越趋于成熟。OLED器件的制作方式主要有蒸镀、旋涂和喷墨打印等多种方式，其中，真空蒸镀为一种比较成熟的方法，已经运用于量产。目前，OLED器件采用真空蒸镀方式制作时，多采用点源。在采用点源进行蒸镀的过程中，随着坩埚中蒸镀材料不断的变少，蒸镀材料的加热面积也逐渐减小，为了达到相同的材料蒸发速率，必须使坩埚的加热温度不断提高，然而随着坩埚的加热温度不断提高，会导致坩埚内蒸镀材料的性能发生变化，从而最终影响所制造OLED器件的性能。
技术实现思路
本技术技术方案的目的是提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备，用于解决现有技术为了保证蒸镀过程中达到稳定材料蒸发速度，必须使坩埚的加热温度不断提高，从而导致坩埚内蒸镀材料的性能发生变化的问题。本技术实施例提供一种坩埚，包括坩埚本体，其中，所述坩埚本体包括：分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。优选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚本体的第一端面上设置有用于待蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的开口；其中，所述内加热层从与所述第一端面相对的第二端面朝所述第一端面延伸，且所述内加热层的远离所述第二端面的一端与所述第一端面之间具有预设距离。优选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚本体包括形成内部空间的壳体，其中所述外加热层与所述壳体相连接，所述内加热层设置于所述内部空间的中心位置。优选地，所述的坩埚，其中，所述外加热层内设置相互分离的第一加热元件和第二加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第一加热元件和所述第二加热元件依次排列。优选地，所述的坩埚，其中，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别为以所述内加热层为中心绕设的加热丝。优选地，所述的坩埚，其中，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别连接一加热源。优选地，所述的坩埚，其中，所述内加热层内设置相互分离的第三加热元件和第四加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第三加热元件和所述第四加热元件依次排列。优选地，所述的坩埚，其中，所述第三加热元件和所述第四加热元件分别呈柱体形状。优选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚还包括：导流罩，包括多个叶片；其中所述导流罩包括第一状态和第二状态；在所述第一状态，多个所述叶片收叠在所述内加热层与所述第一端面之间的空间，所述容纳空间与所述开口之间具有气流通路；在所述第二状态，多个所述叶片在所述坩埚本体的内部呈展开状态，遮挡部分所述气流通路；联动结构，与所述导流罩相连接；通过所述联动结构，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换。优选地，所述的坩埚，其中，在所述第二状态，多个所述叶片在所述坩埚本体的内部展开至位于同一平面，且相邻的所述叶片之间具有间隔空间。优选地，所述的坩埚，其中，所述联动结构包括：叶片底座，设置于所述内加热层与所述第一端面之间；轴体，固定于所述叶片底座上，且朝所述第一端面的方向延伸；轴套，套设于所述轴体上，且能够相对于所述轴体朝靠近或远离所述第一端面的方向移动；所述轴套与每一所述叶片相连接，通过所述轴套带动所述叶片朝靠近或远离所述第一端面的方向移动，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换；驱动元件，与所述轴套连接，通过所述驱动元件，所述轴套能够相对于所述轴体朝靠近或远离所述第一端面的方向移动。优选地，所述的坩埚，其中，所述驱动元件包括气压驱动件或者液压驱动件。优选地，所述的坩埚，其中，与所述叶片底座相连接设置有挡把，所述挡把与所述叶片底座之间形成插设空间；其中，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换时，每一所述叶片分别穿设于所述插设空间中。本技术实施例还提供一种蒸发源，其中，包括如上任一项所述的坩埚。本技术实施例还提供一种蒸镀设备，其中，包括如上所述的蒸发源。本技术的一个或多个实施例至少具有以下有益效果：通过设置能够分别被控制加热的内加热层和外加热层，使得在蒸镀过程中，可以通过控制两个加热层的开启或关闭，改变对蒸镀材料的加热面积，以达到控制坩埚内材料蒸发速率的目的，解决现有技术坩埚内仅设置一体的加热部分，在坩埚内材料减少时，仅能够通过提高加热功率调整蒸发速率，导致材料性能改变的问题。附图说明图1为本技术第一实施例所述坩埚的剖面结构示意图；图2为本技术第二实施例所述坩埚的其中一种使用状态的剖面结构示意图；图3为本技术第二实施例所述坩埚的另一种使用状态的剖面结构示意图；图4为本技术第二实施例中，坩埚所设置导流罩和联动结构其中一种状态的立体透视图；图5为本技术第二实施例中，坩埚所设置导流罩和联动结构另一种状态的立体透视图；图6为图4所示状态的俯视结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参阅图1，本技术第一实施例所述坩埚的剖面结构示意图。本技术具体实施例中，所述坩埚包括坩埚本体10，其中，所述坩埚本体10包括：分别设置有加热元件的内加热层11和外加热层12，其中外加热层12在内加热层11的外围，围绕内加热层11设置，外加热层12与内加热层11之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间100。本技术具体实施例所述坩埚，通过设置两个加热层(内加热层和外加热层)，使得两个加热层可以分别被控制，这样在蒸镀过程中，可以通过控制两个加热层的开启或关闭，改变对蒸镀材料的加热面积，从而达到控制坩埚内材料蒸发速率的目的，解决现有技术仅设置一体的加热部分，在坩埚内材料减少时，仅能够通过提高加热功率调整蒸发速率，导致材料性能改变的问题。结合图1所示，本技术具体实施例中，坩埚本体10包括形成内部空间的壳体130，内加热层11设置于内部空间的中心位置，外加热层12与壳体130相连接，形成围绕内加热层11设置的结构。其中壳体130的内部空间中，外加热层12与内加热层11之间的空间则形成为用于容置待蒸镀材料的容纳空间100。具体地，坩埚本体10的壳体130包括相对的第一端面110和第二端面120，第一端面110上设置有用于待蒸镀材料蒸发时离开坩埚本体10的开口13，该开口13与容纳空间100相连通。在壳体130的内部，内加热层11从与第一端面110相对的第二端面120朝第一端面110延伸，且远离第二端面120的一端与第一端面110之间具有预设距离。基于此，内加热层11形成为在壳体130的内部空间的中心位置，从第二端面120到第一端面110延伸的结构，且较佳地，内加热层11垂直于第二端面120设置。本技术具体实施例中，较佳地，为保证待蒸镀材料被有效加热，坩埚本体10内待蒸镀材料的液面低于内加热层11的顶面平面111，也即在顶面平面111的下方位置，内加热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，所述坩埚本体包括：分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，所述坩埚本体包括：分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体的第一端面上设置有用于待蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的开口；其中，所述内加热层从与所述第一端面相对的第二端面朝所述第一端面延伸，且所述内加热层的远离所述第二端面的一端与所述第一端面之间具有预设距离。3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体包括形成内部空间的壳体，其中所述外加热层与所述壳体相连接，所述内加热层设置于所述内部空间的中心位置。4.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述外加热层内设置相互分离的第一加热元件和第二加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第一加热元件和所述第二加热元件依次排列。5.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别为以所述内加热层为中心绕设的加热丝。6.根据权利要求4或5所述的坩埚，其特征在于，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别连接一加热源。7.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述内加热层内设置相互分离的第三加热元件和第四加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第三加热元件和所述第四加热元件依次排列。8.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，所述第三加热元件和所述第四加热元件分别呈柱体形状。9.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚还包括：导流罩，包括多个叶片；其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵德江，袁广才，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11