一种蒸镀源喷嘴挡板机构制造技术

本发明专利技术属于蒸镀设备领域，涉及一种蒸镀源喷嘴挡板机构，包括挡板、挡板连接杆、第一支撑杆、第二支撑杆、支撑座、连杆、推拉滑杆、滑座和驱动装置；挡板与挡板连接杆的一端固定于一体，挡板连接杆的另一端与第二支撑杆的一端铰接，第二支撑杆的另一端铰接在支撑座上；第一支撑杆的一端铰接在挡板连接杆的中间位置，第一支撑杆的另一端与连杆的一端进行铰接，第一支撑杆的中间位置铰接在支撑座上；连杆的另一端与推拉滑杆的端部铰接，推拉滑杆穿过滑座连接于驱动装置上。通过控制驱动装置，可实现挡板机构动作，且结构紧凑，占用空间小，有利于在非蒸镀操作时遮挡蒸镀源喷嘴，回收蒸镀材料，提高蒸镀材料的利用率和蒸镀的良率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀源喷嘴挡板机构
本专利技术涉及蒸镀设备
，具体涉及一种蒸镀源喷嘴挡板机构。
技术介绍
目前，OLED屏由于具有视角宽、色域广、亮度高，响应快等优点，逐渐应用于电视、手机、计算机等显示设备中，成为最有可能替代LCD液晶屏的新一代显示技术。在OLED制作过程中，有机材料的蒸镀是一个关键环节，蒸镀的均匀性直接决定了OLED板的性能和质量。现有OLED蒸镀设备上采用的蒸镀源主要有点源和线源两种，而线源相对于点源，其材料利用率更高，蒸镀基板的尺寸更大，膜厚均匀性更好，因此逐渐成为主流的蒸镀源。如图1所示，在OLED蒸镀量产时，为了提高生产效率，蒸镀材料通常是连续蒸镀的，即在基板3传输、对位、等待等非蒸镀操作时，蒸镀源1中的蒸镀材料也在通过喷嘴2不断地蒸发或升华。考虑到蒸镀材料的回收利用，以及在非蒸镀操作时蒸镀材料的蒸气分子蒸镀到基板3上可能会造成报废，需要利用挡板将喷嘴2遮挡。为了提高材料的利用率和蒸镀的良率，通常蒸镀源1(尤其线源)的喷嘴2与基板3之间的距离都比较小，利用旋转机构的挡板在操作上会受到结构的限制，需要设计一种新的挡板执行机构，使其不与蒸镀源1和基板3产生位置干涉。
技术实现思路
本专利技术要解决现有技术中的技术问题，提供一种蒸镀源喷嘴挡板机构。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案具体如下：一种蒸镀源喷嘴挡板机构，包括挡板、挡板连接杆、第一支撑杆、第二支撑杆、支撑座、连杆、推拉滑杆、滑座和驱动装置；所述挡板与所述挡板连接杆的一端固定于一体，所述挡板连接杆的另一端与所述第二支撑杆的一端铰接，所述第二支撑杆的另一端铰接在所述支撑座上；所述第一支撑杆的一端铰接在所述挡板连接杆的中间位置，所述第一支撑杆的另一端与所述连杆的一端进行铰接，所述第一支撑杆的中间位置铰接在所述支撑座上；所述连杆的另一端与所述推拉滑杆的端部进行铰接，所述推拉滑杆穿过所述滑座连接于所述驱动装置上。在上述技术方案中，所述挡板为两端封闭的长条状，其截面形状为U形或半圆形。在上述技术方案中，所述U形或半圆形的开口尺寸大于蒸镀源喷嘴的尺寸。在上述技术方案中，所述挡板焊接在所述挡板连接杆的一端。在上述技术方案中，所述挡板通过螺钉紧固于所述挡板连接杆的一端且该端部焊接有便于紧固螺钉的安装板。在上述技术方案中，所述挡板连接杆、支撑座、第一支撑杆、第二支撑杆组成四连杆机构。在上述技术方案中，所述推拉滑杆在所述驱动装置的作用下沿所述滑座的约束方向作直线运动。在上述技术方案中，所述驱动装置可为气缸、直线电机或电磁阀。在上述技术方案中，所述第一支撑杆与所述连杆之间的夹角α范围为120°～165°。在上述技术方案中，所述连杆与所述推拉滑杆之间的夹角范围为90°～150°。作为一种蒸镀源喷嘴挡板机构的优选方案，所述挡板的截面形状为倒置的U形或半圆形，所述挡板连接杆始终保持水平状态，使得所述挡板的U形或半圆形开口在运动过程中始终向下。作为一种蒸镀源喷嘴挡板机构的优选方案，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆保持平行，使得所述挡板连接杆、所述支撑座、所述第一支撑杆与所述第二支撑杆围城平行四边形区域。作为一种蒸镀源喷嘴挡板机构的优选方案，所述推拉滑杆设置为作水平方向的直线运动，所述驱动装置可为气缸、直线电机或电磁阀。本专利技术的有益效果是：本专利技术提供的蒸镀源喷嘴挡板机构通过控制驱动装置，可实现挡板机构动作，使得挡板的左右运动范围大，上下运动范围小，能够在蒸镀源喷嘴与蒸镀基板之间距离比较小的情况下使用，且结构紧凑，占用空间小，有利于在非蒸镀操作时遮挡蒸镀源喷嘴，回收蒸镀材料，提高蒸镀材料的利用率和蒸镀的良率。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细说明。附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1为现有蒸镀源装置的蒸镀示意图；图2为本专利技术一实施例的挡板初始位置及运动状态示意图；图3为本专利技术一实施例的喷嘴遮挡状态示意图。其中，附图标记为：1-蒸镀源；2-喷嘴；3-基板；4-挡板；5-挡板连接杆；6-第一支撑杆；7-第二支撑杆；8-支撑座；9-连杆；10-推拉滑杆；11-滑座；12-驱动装置。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。如图2和图3所示，图中所示的是一种蒸镀源喷嘴挡板机构，包括挡板4、挡板连接杆5、第一支撑杆6、第二支撑杆7、支撑座8、连杆9、推拉滑杆10、滑座11和驱动装置12。所述挡板4与所述挡板连接杆5的一端固定于一体，所述挡板连接杆5的另一端与所述第二支撑杆7的一端铰接，所述第二支撑杆7的另一端铰接在所述支撑座8上；所述第一支撑杆6的一端铰接在所述挡板连接杆5的中间位置，所述第一支撑杆6的另一端与所述连杆9的一端进行铰接，所述第一支撑杆6的中间位置铰接在所述支撑座8上；所述连杆9的另一端与所述推拉滑杆10的端部进行铰接，所述推拉滑杆10穿过所述滑座11连接于所述驱动装置12上。进一步地，所述挡板4为两端封闭的长条状，其截面形状为U形或半圆形，且所述U形或半圆形的开口尺寸大于蒸镀源1上喷嘴2的尺寸；所述挡板4焊接在所述挡板连接杆5的一端，或者通过螺钉紧固于所述挡板连接杆5的一端且该端部焊接有便于紧固螺钉的安装板；所述挡板连接杆5、支撑座8、第一支撑杆6、第二支撑杆7组成四连杆机构；所述推拉滑杆10在所述驱动装置12的作用下沿所述滑座11的约束方向作直线运动。作为一种蒸镀源喷嘴挡板机构的优选方案，所述挡板4的截面形状为倒置的U形或半圆形，所述挡板连接杆5始终保持水平状态，使得所述挡板4的U形或半圆形开口在运动过程中始终向下。作为一种蒸镀源喷嘴挡板机构的优选方案，所述第一支撑杆6与所述第二支撑杆7保持平行，使得所述挡板连接杆5、所述支撑座8、所述第一支撑杆6与所述第二支撑杆7围成平行四边形区域。作为一种蒸镀源喷嘴挡板机构的优选方案，所述推拉滑杆10设置为作水平方向的直线运动，所述驱动装置12可为气缸、直线电机或电磁阀。请参见图2，图2所示为本专利技术一实施例的挡板4初始位置及运动状态示意图，所述挡板4位于初始位置，即图示A位置，此时，所述推拉滑杆10处于推出后的最大状态，所述挡板连接杆5在所述第一支撑杆6和所述第二支撑杆7的带动下，处于蒸镀源1的右侧位置，从而使得所述挡板4收缩放置于最右方及最下方位置，在图2中可以看到，所述挡板4的初始位置A处于喷嘴2的右侧一段距离，且低于所述喷嘴2。这样，当所述喷嘴2正常工作喷出蒸镀气体时，蒸镀气体会向上方冷却在基板3上，而不会“飞”到所述挡板4上，使得所述挡板4处于一个“安全”的区域，且此时整个挡板机构处于“蜷缩”状态，占用空间小。当所述基板3处于传输、对位、等待等非蒸镀状态时，此时由于蒸镀源1内的蒸镀材料还在连续蒸发或升华，并从所述喷嘴2中连续喷出，就需要暂时将所述喷嘴2遮挡住。在这种情况下，通过控制所述驱动装置12，使所述推拉滑杆10向右收缩，从而带动所述连杆9作逆时针转动，继而带动所述第一支撑杆6和所述第二支撑杆7也作逆时针转动，由于所述第一支撑杆6和所述第二支撑杆7处于平行状态，因此，所述挡板连接杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀源喷嘴挡板机构，其特征在于，包括挡板(4)、挡板连接杆(5)、第一支撑杆(6)、第二支撑杆(7)、支撑座(8)、连杆(9)、推拉滑杆(10)、滑座(11)和驱动装置(12)；所述挡板(4)与所述挡板连接杆(5)的一端固定于一体，所述挡板连接杆(5)的另一端与所述第二支撑杆(7)的一端铰接，所述第二支撑杆(7)的另一端铰接在所述支撑座(8)上；所述第一支撑杆(6)的一端铰接在所述挡板连接杆(5)的中间位置，所述第一支撑杆(6)的另一端与所述连杆(9)的一端进行铰接，所述第一支撑杆(6)的中间位置铰接在所述支撑座(8)上；所述连杆(9)的另一端与所述推拉滑杆(10)的端部进行铰接，所述推拉滑杆(10)穿过所述滑座(11)连接于所述驱动装置(12)上。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源喷嘴挡板机构，其特征在于，包括挡板(4)、挡板连接杆(5)、第一支撑杆(6)、第二支撑杆(7)、支撑座(8)、连杆(9)、推拉滑杆(10)、滑座(11)和驱动装置(12)；所述挡板(4)与所述挡板连接杆(5)的一端固定于一体，所述挡板连接杆(5)的另一端与所述第二支撑杆(7)的一端铰接，所述第二支撑杆(7)的另一端铰接在所述支撑座(8)上；所述第一支撑杆(6)的一端铰接在所述挡板连接杆(5)的中间位置，所述第一支撑杆(6)的另一端与所述连杆(9)的一端进行铰接，所述第一支撑杆(6)的中间位置铰接在所述支撑座(8)上；所述连杆(9)的另一端与所述推拉滑杆(10)的端部进行铰接，所述推拉滑杆(10)穿过所述滑座(11)连接于所述驱动装置(12)上。2.根据权利要求1所述的蒸镀源喷嘴挡板机构，其特征在于，所述挡板(4)为两端封闭的长条状，其截面形状为U形或半圆形。3.根据权利要求2所述的蒸镀源喷嘴挡板机构，其特征在于，所述U形或半圆形的开口尺寸大于蒸镀源喷嘴的尺寸。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑子明，赵军，吕海超，彭勃，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31