一种密闭式坩埚和使用该坩埚的蒸镀方法技术

本发明专利技术涉及一种密闭式坩埚，包括：具有放置材料的腔室的坩埚主体，对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；密闭式坩埚还包括与盖板连接的气压驱动装置，气压驱动装置驱动盖板相对于腔室移动，从而开启和关闭腔室；气体驱动装置包括气缸，气缸内设置有间隔件，间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将气缸分隔成第一气室和第二气室，第一气室设置第一阀门，第二气室设置第二阀门，间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接盖板的驱动杆，驱动杆配置为驱动盖板移动进而密闭或开启腔室。本发明专利技术还涉及一种使用该坩埚的蒸镀方法。本发明专利技术能够防止材料因为暴露大气而吸附水分或者被氧化而变质，并能保证操作人员的安全。

【技术实现步骤摘要】
一种密闭式坩埚和使用该坩埚的蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种用于蒸镀领域的可自动密封和开启的密闭式坩埚。
技术介绍
当前，在使用蒸镀技术制造显示面板的工艺中，将蒸镀材料放置在开放的坩埚中，然后再将坩埚放置到蒸镀设备中的工艺室进行蒸镀操作。随着蒸镀过程的进行，坩埚中的蒸镀材料会逐渐减少，直至坩埚内的材料使用完成为止。这时，需要将工艺室打开，进行人为地蒸镀材料填充工作。在打开工艺室进行蒸镀材料的填充过程中，消耗了很多的人力和时间。并且在填料和将坩埚置于蒸镀设备中并将蒸镀设备抽真空的过程中，蒸镀材料会一直暴露于大气环境之下，这对于吸水性材料和活泼金属材料例如镁、银而言，空气中含有的水份和氧气成分会使开放式坩埚内所放置的蒸镀材料发生变质，进而会影响蒸镀效果。另外，在蒸镀过程进行期间，如果发生意外状况需要将蒸镀设备的工艺室打开的情况，那么开放式坩埚内的材料不可避免地会受到污染，此时，就必须更换材料，造成了蒸镀材料的浪费。在另外一方面，对于部分毒性较大的材料，开放式坩埚不能保证操作人员例如坩埚材料的填充人员的安全，可能会对操作人员的健康造成威胁。
技术实现思路
为了克服部分或全部的上述缺陷，本专利技术提出了一种密闭式坩埚，该密闭式坩埚与手套箱配合使用，能够自动地实现密闭功能并且能在手套箱内开启以实现填料。本专利技术还涉及了一种使用所述密闭式坩埚进行蒸镀的方法。根据一个方面，本专利技术涉及一种密闭式坩埚，其包括：一种密闭式坩埚，其包括：–具有放置材料的腔室的坩埚主体，–对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板，其中，所述密闭式坩埚还包括与所述盖板连接的气压驱动装置，所述气压驱动装置驱动盖板相对于坩埚主体上的腔室移动，从而开启和关闭坩埚主体上的腔室，所述气压驱动装置如下构造：所述气体驱动装置包括气缸，所述气缸内设置有间隔件，所述间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将所述气缸分隔成第一气室和第二气室，所述第一气室设置有与外界联通的第一阀门，所述第二气室设置有与外界联通的第二阀门，所述间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体上的腔室。根据本专利技术的密闭式坩埚，可以具有如下有利方面：有利地，使用开口来替代所述第一阀门，使得所述第一气室始终与外界联通；有利地，驱动杆在第一气室侧的端部固定连接所述盖板，所述驱动杆被配置为带动所述盖板一起竖向地移动；有利地，驱动杆在远离间隔件的端部设置有螺旋形纹路，所述驱动杆通过该螺旋形纹路与盖板连接，所述驱动杆被配置为将所述驱动杆的竖向移动通过所述螺旋形纹路转换成所述盖板的水平移动；有利地，所述间隔件为密封螺纹管，在密封螺纹管的管内形成第一气室，在密封螺纹管和气缸间形成第二气室，所述密封螺纹管能在第一气室和第二气室内的气压作用下伸长或缩短，位于第一气室的一侧的密封螺纹管上设置有所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体的腔室；有利地，所述间隔件为与气缸的壁贴合的密封片，在密封片的一侧形成第一气室，在密封片的另一侧形成第二气室，所述密封片能在第一气室和第二气室内的气压作用下在气缸内移动，所述密封片上位于第一气室的一侧连接所述驱动杆；有利地，所述坩埚主体为圆柱体结构或立方体结构或长方体结构。有利地，所述第一阀门和/或第二阀门设置在相应的气室的垂直于间隔件移动方向的端部。根据另一个方面，本专利技术还涉及一种对所述的密闭式坩埚进行填料的方法，其包括如下步骤：步骤一：在手套箱内填充惰性气体至大气压力；步骤二：将密闭式坩埚和所要填充的材料一起放入手套箱内，打开第一阀门与第二阀门，使得第一气室内的气压P1与第二气室内的气压P2相等且都等于大气压力，打开密闭式坩埚将所述材料填入密闭式坩埚的腔室内；步骤三:将密闭式坩埚置于手套箱的过渡室中，对过渡室进行抽气至气压小于一个大气压而非真空的状态，关闭第二阀门，使得第一气室内的气压P1和第二气室内的气压P2相等都小于大气压力；步骤四：对过渡室填充惰性气体至大气压力，此时第一气室内的气压P1大于第二气室内的气压P2并且第一气室内的气压P1等于大气压力；密闭式坩埚内的间隔件带动盖板密封所述密闭式坩埚中的腔室。步骤五：将密闭式坩埚从手套箱中取出。根据再一个方面，本专利技术还涉及一种打开所述的密闭式坩埚的方法，其包括打开第一阀门和第二阀门的步骤，该步骤使得第一气室内的气压P1与第二气室内的气压P2相等。根据又一个方面，本专利技术还涉及一种蒸镀方法，其包括将填料后的密闭式坩埚放入蒸镀设备的工艺室内的步骤，所述填料使用上述的方法进行。根据本专利技术的蒸镀方法可以具有如下有利方面：有利地，包括将密闭式坩埚放入工艺室内的步骤，其还包括对工艺室抽真空的步骤，第二气室内的气压P2大于第一气室内的气压P1从而使得密闭式坩埚打开。有利地，包括蒸镀中断处理步骤，其中，在需要中断蒸镀、打开工艺室时，先在工艺室内填入保护气体，当工艺室内的气压超过第二气室内的气压P2时，第一气室内的气压P1大于第二气室内的气压P2，盖板相对坩埚主体移动从而密闭坩埚主体上的腔室。根据本专利技术的密闭式坩埚和蒸镀方法可以保证在填料过程中，填料工作人员完全不用接触材料，保证了填料作业人员的安全，并且可以保证材料一直处于惰性气体保护中，防止材料因为暴露大气而吸附水分或者被氧化而变质，根据本专利技术的密闭式坩埚和蒸镀方法还可以减少填料作业时间并且减少人力时间消耗。附图说明图1是根据本专利技术的密闭式坩埚的示意性立体图；图2是根据本专利技术的一个实施例的密闭式坩埚的气压驱动装置的示意性结构图，其中间隔件7为封闭螺纹管。图3是根据本专利技术的另一实施例的密闭式坩埚的气压驱动装置的示意性结构图，其中间隔件7为密封片。图4是根据本专利技术的对密闭式坩埚进行填料的方法的流程图。具体实施方式下面参照附图描述根据本专利技术的实施例的掩膜板卡夹以及掩膜板的结构以及其它各个方面。在下面的描述中，阐述了许多具体细节以便使所属
的技术人员能更全面地了解本专利技术。但是，对于所属
内的技术人员显而易见的是，本专利技术的实现可不具有这些具体细节中的一些。此外，应当理解的是，本专利技术并不限于所介绍的特定实施例。相反，可以考虑用下面的特征和要素的任意组合来实施本专利技术，而无论它们是否涉及不同的实施例。因此，下面的方面、特征、实施例和优点仅作说明之用而不应被看作是权利要求的要素或限定，除非在权利要求中明确提出。可以理解的是，在本文中术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等方向术语基于图示的方位或位置关系，其仅仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置所元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造或者操作，因此不应理解为对本专利技术的限制。在图1中示出了根据本专利技术的一个优选实施例的密闭式坩埚100，所述密闭式坩埚具有圆柱形的坩埚主体1，在坩埚主体1设置有具有容纳蒸镀材料的圆柱形的腔室11，在腔室11的开口处设置有圆形的盖板2，盖板2能够相对于腔室11的开口移动从而密闭腔室11和使腔室11打开。尽管在示出的实施例中坩埚主体1和腔室11均为圆柱形形状，而可以想到的是坩埚主体1和腔室11也可以为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种密闭式坩埚，其包括：–具有放置材料的腔室的坩埚主体，–对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；其特征在于，所述密闭式坩埚还包括与所述盖板连接的气压驱动装置，所述气压驱动装置驱动盖板相对于坩埚主体上的腔室移动，从而开启和关闭坩埚主体上的腔室，所述气压驱动装置如下构造：所述气体驱动装置包括气缸，所述气缸内设置有间隔件，所述间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将所述气缸分隔成第一气室和第二气室，所述第一气室设置有与外界联通的第一阀门，所述第二气室设置有与外界联通的第二阀门，所述间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体上的腔室。

【技术特征摘要】
1.一种密闭式坩埚，其包括：–具有放置材料的腔室的坩埚主体，–对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；其特征在于，所述密闭式坩埚还包括与所述盖板连接的气压驱动装置，所述气压驱动装置驱动盖板相对于坩埚主体上的腔室移动，从而开启和关闭坩埚主体上的腔室，所述气压驱动装置如下构造：所述气体驱动装置包括气缸，所述气缸内设置有间隔件，所述间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将所述气缸分隔成第一气室和第二气室，所述第一气室设置有与外界联通的第一阀门，所述第二气室设置有与外界联通的第二阀门，所述间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体上的腔室。2.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，使用开口来替代所述第一阀门，使得所述第一气室始终与外界联通。3.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，驱动杆在第一气室侧的端部固定连接所述盖板，所述驱动杆被配置为带动所述盖板一起竖向地移动。4.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，驱动杆在第一气室侧的端部设置有螺旋形纹路，所述驱动杆通过该螺旋形纹路与盖板连接，所述驱动杆被配置为通过所述螺旋形纹路将所述驱动杆的竖向移动转换成所述盖板的水平移动。5.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，所述间隔件为密封螺纹管，在密封螺纹管的管内形成第一气室，在密封螺纹管和气缸间形成第二气室，所述密封螺纹管能在第一气室和第二气室内的气压作用下伸长或缩短，位于第一气室的一侧的密封螺纹管上设置有所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体的腔室。6.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，所述间隔件为与气缸的壁贴合的密封片，在密封片的一侧形成第一气室，在密封片的另一侧形成第二气室，所述密封片能在第一气室和第二气室内的气压作用下在气缸内移动，所述密封片上位于第一气室的一侧连接所述驱动杆。7.根据权利要求1至6中任一项所述的密闭式坩埚，...

【专利技术属性】
技术研发人员：申永奇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11