一种蒸发源以及蒸镀设备制造技术

本申请提供一种蒸发源以及蒸镀设备，包括：加热容器，用于容纳蒸发材料并向所述蒸发材料传导热量；附着板与设置于附着板上的发热体，所述附着板设置于所述加热容器的外侧，且所述附着板与所述加热容器之间具有预设间隙。本申请通过将发热体与加热容器分离设置，并增加附着板以支撑发热体，起到防止蒸镀材料掉落到发热体上导致发热体局部短路和熔断的作用。

A kind of steam source and evaporation equipment

This application provides an evaporation source and evaporation equipment, including: heating container for accommodating the evaporation material to the heat conduction and evaporation materials; the heating body and the attachment plate is arranged on the adhesive plate, the attachment plate is arranged on the outside of the heating container with a predetermined gap between the attachment plate with the heating container. The application can separate and separate the heating body from the heating container, and increase the attachment plate to support the heating body, so as to prevent the evaporation material falling to the heating body, causing the local short-circuit and fusing of the heating body.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源以及蒸镀设备
本申请涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种蒸发源以及蒸镀设备。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器具有轻薄、省电等特性，广泛用于手机、计算机及MP3播放器等智能终端的显示器。OLED显示器不是采用背光灯提供光源，而是在玻璃基板上沉积一层非常薄的有机发光材料作为发光层，有机发光材料包括红、绿和蓝三种；当有电流通过发光层时，这些发光层就会发出不同颜色的光，由于不需要背光灯和导光板等光学元件，所以OLED显示屏器可以做得更轻薄、可视角度更大，并且能够显著节省电能。关于有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器阵列基板的制作方法，目前通常采用蒸镀方式在玻璃基板上沉积发光层。蒸发源包括一加热容器以及加热容器外部或底部的加热体。蒸镀材料受热后由加热容器内部蒸发扩散出来，沉积在玻璃基板上。目前的蒸发源以及加热容器仅适用于有机材料的低温蒸镀，无法满足有机材料以外的材料(如金属材料)的蒸镀。
技术实现思路
基于以上问题，本申请提供一种蒸发源以及一种采用以上的蒸发源的蒸镀设备，其中蒸发源包括加热容器、附着板与设置于附着板上的发热体。加热容器用于容纳蒸发材料并向蒸发材料传导热量；附着板设置于加热容器的外侧，且附着板与加热容器之间具有预设间隙。可选的，发热体位于附着板靠近加热容器的一侧。或者，附着板为导热板，发热体位于附着板远离加热容器的一侧。导热板可以为金属板或石墨板。可选的，发热体包括至少一个位于附着板的顶部的第一发热部与至少一个位于附着板的底部的第二发热部，第一发热部、第二发热部相互独立；附着板的顶部与加热容器的顶部对应设置，附着板的底部与加热容器的底部对应设置发热部发热部。可选的，第一发热部发热部包括多个第一子发热部发热部，和/或，第二发热部发热部包括多个第二子发热部发热部，多个第一子发热部发热部沿附着板的长度方向分布，多个第二子发热部发热部沿附着板的长度方向分布。可选的，发热部发热体还包括至少一个位于附着板的中间区域的第三发热部，第三发热部发热部别与第一发热部，第二发热部相互独立；其中，附着板的中间区域与加热容器的中间区域对应设置，发热部发热部发热部。可选的，第三发热部包括多个第三子发热部，多个第三子发热部沿附着板的长度方向排列。可选的，第一子发热部、和/或第二发热部、和/或第三子发热部为折线状。可选的，发热体为金属丝，加热容器为坩埚，蒸发材料包括有机材料与金属材料；金属材料包括金属镱。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为现有技术中的一种蒸镀设备的示意图；图2为现有技术中的一种蒸发源的示意图；图3a为本申请提供的蒸发源的结构示意图；图3b为图3a所示的蒸发源的俯视示意图图4为图3a所示蒸发源的截面示意图；图5a为本申请另一实施方式提供的蒸发源的结构示意图；图5b为图5a所示的蒸发源的俯视示意图；图6a为图5a蒸发源的截面示意图；图6b为具有遮挡部的附着板的示意图；图7a为另一种实施方式的结构示意图；图7b为图7a所示的蒸发源的截面示意图；图8为本申请提供的一种蒸发源中发热体在附着板上的立体分布示意图；图9为本申请提供的一种蒸发源中发热体在附着板上的平面分布示意图；图10为发热体的另一种分布示意图；图11为发热体的又一种分布示意图；图12为本申请提供的一种蒸镀设备的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请，而非对该申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关申请相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。现有技术中，通常采用蒸镀方式在玻璃基板上沉积发光层。图1为现有技术中蒸镀设备的结构示意图。图2为现有技术中蒸镀源的示意图。如图1、图2所示，100为蒸镀腔，蒸镀源102包括用于容纳承有机发光材料的加热容器103，以及设置于或固定在加热容器外部的发热体104。当发热体104对加热容器103进行加热，使其容纳的有机发光材料使其汽化，气态有机发光材料到达放置在加热容器103上方的玻璃基板101。发热体104一般发热体为电阻丝或线圈，如图2所示，电阻丝或线圈绕着加热容器设置，与加热容器接近或者直接接触。目前制作OLED发光层以蒸镀有机材料为主，在蒸镀的过程中即使有材料从加热容器上方掉落到电阻丝或线圈上，也不会对电阻丝或线圈造成损坏(大部分有机材料不具备导电性)。在一些特殊性能的OLED发光层制造过程中，需要在有机层中掺杂金属材料。在具体制作时，通常采用金属材料与有机材料同时进行蒸镀，由于金属材料本身的物化性质，在真空蒸镀时会产生大量的丝状或者片状的剥离和脱落，采用当前缠绕型的电阻丝或线圈的蒸发源蒸镀金属材料时，加热容器出口处产生的金属材料的剥离和脱落，金属掉落在电阻丝或线圈上，导致电阻丝或线圈局部短路进而熔断，使得整个蒸镀设备发生故障停止工作。图3a为本申请提供的蒸发源的结构示意图。蒸镀源包括用于容纳承有机发光材料的加热容器303，位于加热容器外侧的的附着板305，以及设置于或固定在附着板305的发热体304。蒸镀方向为Z方向。发热体304可以为金属丝。在本实施例中，以金属丝为例对技术方案进行描述。附着板305可以分布在加热容器的四周以保证充分均匀的加热，具体可根据加热容器的实际形状来适应性设计。附着板与加热容器之间具有预设间隙，此间隙的预留以保证剥离掉落的金属材料不会掉落到发热体304上。本实施例中附着板305与加热容器303的外形设置为相同，长度方向和宽度方向的间隙均相等，有助于对容器的均匀加热。此外，可以将附着板的外形设计为与加热容器不同，如在角落附件设置为曲面，其俯视图如图3b所示。角落附件设置为曲面,使得加热容器外表面各处与附着板之间的间隙均相同，加热效果更佳均匀。图4为图3a所示蒸发源的蒸镀方向Z的截面示意图。加热体304位于附着板305的内侧，即靠近加热容器的一侧，且上下均匀分布，以保证对加热容器的均匀加热。可以理解的是，加热体304在垂直方向(即蒸镀方向)的排布不限于均匀排布，可根据实际情况在不同的位置设置不同的排布密度，如底部排布密度较顶部排布密度大，以将底部的蒸镀材料充分加热使其蒸发至基板。图5a为本申请另一实施方式提供的蒸发源的结构示意图。蒸镀源包括用于容纳承有机发光材料的加热容器503，位于加热容器外侧的的附着板505，以及设置于或固定在附着板505的发热体504。蒸镀方向为Z方向。发热体504可以为金属丝。在本实施例中，以金属丝为例对技术方案进行描述。附着板305可以分布在加热容器的四周以保证充分均匀的加热，具体可根据加热容器的实际形状来适应性设计。图3a所示的实施方式不同，发热体504位于附着板505的外侧，即远离加热容器的一侧。此时附着板为一导热板。相比于图3所示的实施方式，发热体504对加热容器的加热更加均匀。附着板505与加热容器503之间具有预设间隙。发热体504位于附着板505的外侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源，其特征在于，包括：加热容器，用于容纳蒸发材料并向所述蒸发材料传导热量；附着板与设置于附着板上的发热体，所述附着板设置于所述加热容器的外侧，且所述附着板与所述加热容器之间具有预设间隙。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：加热容器，用于容纳蒸发材料并向所述蒸发材料传导热量；附着板与设置于附着板上的发热体，所述附着板设置于所述加热容器的外侧，且所述附着板与所述加热容器之间具有预设间隙。2.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述发热体位于所述附着板靠近所述加热容器的一侧。3.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述附着板为导热板，所述发热体位于所述附着板远离所述加热容器的一侧。4.如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述导热板为金属板或石墨板。5.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述发热体包括：至少一个位于所述附着板的顶部的第一发热部与至少一个位于所述附着板的底部的第二发热部，所述第一发热部、所述第二发热部相互独立；所述附着板的顶部与所述加热容器的顶部对应设置，所述附着板的底部与所述加热容器的底部对应设置发热部发热部。6.如权利要求5所述的蒸发源，其特征在于，所述第一发热部包括多个第一子发热部，多个所述第一子发热部沿所述附着板的长度方向分布；和/或所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕磊，滨田，阎洪刚，雷志宏，
申请(专利权)人：上海天马有机发光显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31