沉积设备制造技术

公开了一种沉积设备，该沉积设备包括：腔室；第一级和第二级，用于在腔室内支承衬底；蒸发源组件，在与第一级对应的第一级区和与第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过该多个喷嘴被喷射；以及拍照组件，设置在第一级与第二级之间，并为多个喷嘴拍照。

【技术实现步骤摘要】
沉积设备相关申请的交叉引用本申请要求于2016年7月12日提交的第10-2016-0088199号韩国专利申请的优先权以及由此产生的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体并入本文。
本专利技术的示例性实施方式涉及沉积设备。
技术介绍
通常，为制造有机发光显示面板，执行用于在衬底上形成有机薄膜的沉积过程。当源材料被插入至腔室内的蒸发源中并被加热时，蒸发的源材料的蒸气穿过预定的掩模图案并且沉降在衬底上。在有机薄膜沉积过程中，期望导致有机薄膜的均匀生长。
技术实现思路
在有机薄膜沉积过程中，可产生源材料附着于喷嘴以及喷嘴的孔被阻塞的现象，其中源材料通过喷嘴被释放。当喷嘴被阻塞时，在沉积过程期间，材料可能被不均匀地施加。相应地，沉积在衬底上的有机薄膜的厚度是不均匀的，并且制造的衬底可能具有缺陷。本专利技术的示例性实施方式提供沉积设备，包括：腔室；第一级和第二级，用于在腔室内部支承衬底；蒸发源组件，在与第一级对应的第一级区和与第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过该多个喷嘴被喷射；以及拍照组件，设置在第一级与第二级之间，并且为多个喷嘴拍照。在示例性实施方式中，设备还可包括：控制器，基于从拍照组件提供的图像数据确定多个喷嘴的阻塞状态。在示例性实施方式中，设备还可包括：驱动组件，移动蒸发源组件。在示例性实施方式中，蒸发源组件还可包括：蒸发容器，容纳源材料；热反射板，多个喷嘴布置在热反射板上，并且热反射板覆盖蒸发容器；以及加热单元，加热源材料。在示例性实施方式中，控制器可包括：图像分析单元，分析图像数据；驱动控制器，控制驱动组件以使得蒸发源组件在第一级区与第二级区之间移动；以及加热控制器，控制加热单元的加热程度。在示例性实施方式中，当确定多个喷嘴中的预定数目或者更多数目的喷嘴被阻塞时，控制器可控制加热单元辐射热量。在示例性实施方式中，设备还可包括：显示单元，显示多个喷嘴的阻塞状态。在示例性实施方式中，当多个喷嘴中的任意一个喷嘴的喷嘴开口区的阻塞程度等于或者大于参考值时，控制器可通过显示单元作出警告。在示例性实施方式中，拍照组件可设置在蒸发源组件的移动路径上，并且可为移动的蒸发源组件的多个喷嘴拍照。在示例性实施方式中，多个喷嘴设置成至少一个喷嘴行，拍照组件的拍照次数可与包括在一个喷嘴行中的喷嘴的数目对应。在示例性实施方式中，控制器可控制拍照组件以使得每当蒸发源组件在第一级区与第二级区之间移动时拍照组件以预定定时拍照。在示例性实施方式中，拍照组件还可包括：壳体，在壳体内限定有内部空间；多个相机单元，设置在壳体内；照明单元，与多个相机单元对应；以及观测窗，设置在壳体的面对蒸发源组件的前表面上。在示例性实施方式中，壳体的内侧可维持在大气压状态下。在示例性实施方式中，多个喷嘴设置成至少一个喷嘴行，相机单元的数目可与布置在蒸发源组件中的喷嘴行的数目相同。在示例性实施方式中，设备还可包括：遮板单元，设置在蒸发源组件与拍照组件之间，以及打开和关闭与观测窗对应的区。在示例性实施方式中，设备还可包括：覆盖玻璃单元，在拍照组件与遮板单元之间可拆卸。在示例性实施方式中，设备还可包括：防粘附板，防止源材料接触除与观测窗对应的区以外的区。附图说明参考附图，现将在下文中更充分地描述示例性实施方式；然而，示例性实施方式可以以不同形式实施，并且不应被理解为限于本文中所述的实施方式。确切地说，提供这些实施方式以使得本公开将是全面和完整的，以及将向本领域技术人员充分地传达示例性实施方式的范围。图1是示出根据本专利技术的示例性实施方式的沉积设备的俯视图。图2A是示出图1的沉积设备的剖视图。图2B是用于描述其中拍照组件为喷嘴拍照的示例的图。图2C是示出基于图像数据提供的喷嘴的图像的示例的图。具体实施方式下文中，将参考附图详细地描述本专利技术的示例性实施方式。参考附图，现将在下文中更充分地描述本专利技术，其中，附图中示出多种实施方式。然而，本专利技术可以以许多不同形式实施，并且不应被解释为限于本文中所述的实施方式。确切地说，提供这些实施方式以使得本专利技术将是全面和完整的，并将向本领域技术人员充分地传达本专利技术的范围。全文中相同的附图标记指代相同的元件。将理解，当元件被称为在另一个元件“上”时，其可直接在该另一个元件上或者二者之间可有中间元件。相反地，当元件被称作“直接”在另一个元件“上”时，则不存在中间元件。将理解，当元件被称为在两个元件“之间”时，其可以是两个元件之间的唯一元件，或者也可存在一个或者多个中间元件。全文中相同的附图标记指代相同的元件。将理解，虽然在本文中可使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述多种元件、部件、区域、层和/或区段，但是这些元件、部件、区域、层和/或区段不应被这些术语限制。这些术语仅用来将一个元件、部件、区域、层或者区段与另一个元件、部件、区域、层或者区段区分开。因此，在不背离本文教导的前提下，下面讨论的“第一元件”、“第一部件”、“第一区域”、“第一层”或者“第一区段”可被称为第二元件、第二部件、第二区域、第二层或者第二区段。本文中使用的术语仅为描述具体实施方式的目的而不旨在限制。除非上下文中明确另有表示，否则，如本文使用的，单数形式“一(a)”、“一(an)”和“该(the)”旨在包括复数形式(包括“至少一个”)。“或者”意思是“和/或”。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项中的一个或者多个的任意和全部组合。还将理解，当本说明书中使用术语“包含”和/或“包含有”或者“包括”和/或“包括有”时，说明所陈述的特征、区域、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或者多个其它特征、区域、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组合的存在或者添加。此外，本文中可使用诸如“下方(lower)”或者“底部(bottom)”以及“上方(upper)”或者“顶部(top)”的相对术语来描述如附图所示的一个元件与另一个元件的关系。将理解，除了附图中描述的定向之外，相对术语旨在包含装置的不同的定向。在示例性实施方式中，当附图中的一个中的装置被翻转时，则被描述为在其它元件“下”侧的元件将被定向为在该其它元件的“上”侧。因此，根据附图的具体的定向，示例性术语“下方”可包括“下方”和“上方”两种定向。同样地，当附图中的一个中的装置被翻转时，则被描述为在其它元件“下面”或者“之下”的元件将被定向为在该其它元件的“上面”。因此，示例性术语“下面”或者“之下”可包含上面和下面两种定向。如本文中使用的“约”或者“近似”包括所陈述的数值以及意味着在如本领域普通技术人员所确定的、考虑到测量问题以及与具体量的测量有关的误差(例如，测量系统的限制)的可接受的具体数值的偏差范围之内。例如，“约”可意味着在一个或者多个标准偏差之内，或者在所陈述的数值的±30％、±20％、±10％、±5％之内。说明书中的术语“控制器”和“分析单元”可表示专用处理器，该专用处理器的结构被本领域普通技术人员所公知。除非另有限定，否则本文中使用的全部术语(包括技术术语和科学术语)具有与本专利技术所属
的普通技术人员通常理解相同的含义。还将理解，除非本文中明确地如此限定，否则诸如在常用字典中限定的术语的术语应当被理解为具有其在相关领域和专利技术的上下文中的含义相一本文档来自技高网...

【技术保护点】
沉积设备，包括：腔室；第一级和第二级，在所述腔室内分别支承衬底；蒸发源组件，在与所述第一级对应的第一级区和与所述第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过所述多个喷嘴喷射；以及拍照组件，设置在所述第一级与所述第二级之间，并且为所述多个喷嘴拍照。

【技术特征摘要】
2016.07.12 KR 10-2016-00881991.沉积设备，包括：腔室；第一级和第二级，在所述腔室内分别支承衬底；蒸发源组件，在与所述第一级对应的第一级区和与所述第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过所述多个喷嘴喷射；以及拍照组件，设置在所述第一级与所述第二级之间，并且为所述多个喷嘴拍照。2.根据权利要求1所述的设备，还包括：控制器，基于从所述拍照组件提供的图像数据确定所述多个喷嘴的阻塞状态。3.根据权利要求2所述的设备，还包括：驱动组件，移动所述蒸发源组件。4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述蒸发源组件还包括：蒸发容器，容纳所述源材料；热反射板，所述多个喷嘴布置在所述热反射板上，以及所述热反射板覆盖所述蒸发容器；以及加热单元，加热所述源材料。5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述控制器包括：图像分析单元，分析所述图像数据；驱动控制器，控制所述驱动组件以使得所述蒸发源组件在所述第一级区与所述第二级区之间移动；以及加热控制器，控制所述加热单元的加热程度。6.根据权利要求5所述的设备，其中，当确定所述多个喷嘴中的预定数目或者更多数目的喷嘴被阻塞时，所述控制器控制所述加热单元辐射热量。7.根据权利要求5所述的设备，还包括：显示单元，显示所述多个喷嘴的所述阻塞状态。8.根据权利要求7所述的设备，其中，当所述多个喷嘴中的任意一个喷嘴的喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴宰完，文柱日，姜成起，黄仁炫，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR