蒸镀坩埚及蒸镀装置制造方法及图纸

本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部；其中，开口所在的平面与水平方向倾斜设置。该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口逸散出去，而且由于开口朝向基材的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材的边角部、能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。降低蒸镀成本。降低蒸镀成本。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚及蒸镀装置


[0001]本申请涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。在蒸镀过程中，先采用掩膜板遮挡基材，蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热挥发并从掩膜板开口蒸镀到对应的基材上。
[0003]目前常用的蒸镀工艺有点状蒸镀，而且对于点状蒸镀，其蒸镀设备中一般包括一个小型圆桶状的蒸镀坩埚，金属蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热成气态并从圆桶状蒸镀坩埚的开口向上扩散逸出，从而对基材进行蒸镀。
[0004]如图1所示，现有技术中蒸镀坩埚在使用时，在对基材4的边角部位进行蒸镀时，为了确保基材4的边角部位能够被均匀的蒸镀，蒸镀坩埚的开口中心一般都是沿竖直方向与基材4的边沿间隔对应设置，以使蒸镀坩埚的开口扩散逸出的蒸镀材料能够较为均匀地蒸镀到基材4的边角部位，但是这样也会造成部分的蒸镀材料浪费，提高了蒸镀成本。
[0005]因此，市面上亟需一种能够既能够实现基材4的边角部位被均匀蒸镀，又能够避免蒸镀材料浪费的蒸镀坩埚。

技术实现思路

[0006]有鉴于此，本申请提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决现有技术中蒸镀装置对基材边角蒸镀时会造成蒸镀材料浪费的问题。
[0007]本申请提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和加热装置；
[0008]所述坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且所述容腔的顶部开设有开口；
[0009]所述加热装置设置于所述坩埚本体外部；
[0010]其中，所述开口所在的平面与水平方向倾斜设置。
[0011]当使用该蒸镀坩埚对基材的边角部位进行蒸镀时，先将坩埚本体对应设置于基材的边角部位的下方附近，并调整坩埚本体的开口朝向，使开口朝向基材的中部，该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口逸散出去，而且由于开口朝向基材的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材的边角部。
[0012]与现有技术中点蒸镀工艺中的蒸镀装置相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使蒸镀材料更充分地蒸镀到基材的边角部，能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。
[0013]在一种可能的设计中，所述开口为平面口，且所述开口所在的平面与水平方向形成夹角θ。
[0014]这样在加工制作开口时，可以直接将坩埚本体的沿口周壁切削成型，具有结构简单、方便加工制作的优点。
[0015]在一种可能的设计中，所述开口为朝向所述容腔内部凹陷的凹形口；
[0016]所述凹形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。
[0017]这样开口对蒸镀材料的蒸镀角起到一定的聚拢作用，使蒸镀材料能够较为集中的从开口倾斜逸出并蒸镀到基材的边角部，具有结构简单、能够对气态蒸镀材料进行收拢的优点。
[0018]在一种可能的设计中，所述开口为背离所述容腔内部凸起的凸形口；
[0019]所述凸形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。
[0020]这样从开口对蒸镀材料的蒸镀角起到一定的发散作用，使蒸镀材料能够较为广泛的从开口倾斜逸出并蒸镀到基材的边角部，具有结构简单、能够对气态蒸镀材料进行发散的优点。
[0021]在一种可能的设计中，所述夹角θ满足：30
°
≤θ≤60
°
。
[0022]将夹角θ具体限定在30
°
～60
°
之间，一方面可以避免夹角θ过小导致蒸镀材料的蒸镀角不会产生实质倾斜的问题，另一方面可以避免夹角θ过大导致蒸镀材料的蒸镀角产生过大倾斜的问题。
[0023]在一种可能的设计中，所述蒸镀坩埚还包括外壳；
[0024]所述外壳间隔套设于所述坩埚本体的外部，并与所述坩埚本体共同围成用于安装所述加热装置的安装空间。
[0025]将外壳间隔套设于坩埚本体的外部，这样坩埚本体与外壳之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体外周壁的加热装置加热时，外壳能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置的加热效率。
[0026]在一种可能的设计中，所述加热装置设置于所述坩埚本体外周壁，且包括第一加热部和第二加热部；
[0027]其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体的靠近所述开口的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体的底部外周壁处。
[0028]这样可以通过第一加热部、第二加热部分别对坩埚本体靠近开口的外周壁、坩埚本体的底部外周壁进行加热，避免蒸镀材料在坩埚本体的开口处出现冷却沉积的现象。
[0029]另外，本申请还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其中，所述电源与所述加热装置电连接。
[0030]该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。
[0031]在一种可能的设计中，所述蒸镀装置包括至少两个所述蒸镀坩埚；两个所述蒸镀坩埚对应设置成一组并分别对应设置于基材的两个对边，且两个所述蒸镀坩埚的所述开口分别相互面对设置。
[0032]这样当该蒸镀装置对基材进行点状蒸镀时，两个蒸镀坩埚的开口逸出的气态蒸镀材料便可以相互面对且倾斜朝向基材的两个对边逸散蒸镀，避免蒸镀材料浪费的同时，还能够提高对基材的点蒸镀效率。
[0033]在一种可能的设计中，所述坩埚本体1具有沿竖直方向的中轴线，且所述中轴线位于基材的侧边内。
[0034]这样一方面能够进一步地减少蒸镀材料无效蒸镀浪费，另一方面也可以使该蒸镀装置的整体结构更紧凑，节省占地空间。
[0035]本申请实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明
书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例而了解。本申请实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0036]图1为现有技术中蒸镀装置对基材侧边蒸镀的示意图；
[0037]图2为本申请实施例提供的蒸镀坩埚的第一种结构示意图；
[0038]图3为本申请实施例提供的蒸镀坩埚的第二种结构示意图；
[0039]图4为本申请实施例提供的蒸镀坩埚的第三种结构示意图；
[0040]图5为本申请实施例提供的蒸镀装置对基材侧边蒸镀的示意图。
[0041]附图标记：
[0042]1‑
坩埚本体；
[0043]11
‑
开口；
[0044]2‑
加热装置；
[0045]3‑
外壳；
[0046]4‑
基材。
[0047]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
具体实施方式
[0048]为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0049]应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且所述容腔的顶部开设有开口(11)；加热装置(2)，设置于所述坩埚本体(1)外部；其中，所述开口(11)所在的平面与水平方向倾斜设置。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述开口(11)为平面口，且所述开口(11)所在的平面与水平方向形成夹角θ。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述开口(11)为朝向所述容腔内部凹陷的凹形口；所述凹形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述开口(11)为背离所述容腔内部凸起的凸形口；所述凸形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。5.根据权利要求2～4中任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述夹角θ满足：30
°
≤θ≤60
°
。6.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩...

【专利技术属性】
技术研发人员：林文晶，轩景泉，赵军，崔建勇，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：