蒸发源制造技术

本申请提供一种蒸发源，包括喷嘴、容器和固定装置，容器固定在固定装置中，容器用于容纳蒸镀材料，蒸镀材料沿第一方向自容器内升华至喷嘴；容器具有第一腔体和第二腔体，第一腔体与第二腔体在第一方向上互相连接且互相连通，第一腔体和第二腔体均沿与第一方向垂直的第二方向延伸；沿与第一方向和第二方向均垂直的第三方向，第一腔体的最大内径小于第二腔体的最大内径。本申请的蒸发源能够提高了蒸镀材料的蒸发面积，同时有效的避免了蒸镀过程中孤岛效应的出现，便于拆卸和维修，避免对部件进行整体更换，降低生产过程中的维修成本。降低生产过程中的维修成本。降低生产过程中的维修成本。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源


[0001]本申请涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸发源。

技术介绍

[0002]为了满足有机电致发光显示器(OLED，Organic Electroluminescence Display)的高分辨率显示及大尺寸设计等需求，需要更高质量的蒸发源对基材进行蒸镀；但是现有的蒸发源的蒸发源的蒸镀质量差，从而导致制备的OLED良率低、产品质量差等问题；此外，现有的蒸发源设备维修成本高，增加了面板厂商的生产成本。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请实施例提供了一种蒸发源，用以解决现有技术中存在的现有蒸镀技术蒸镀出的基材质量无法满足OLED高分辨率显示及大尺寸设计等需求的技术问题。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种蒸发源，包括喷嘴、容器和固定装置，所述容器固定在所述固定装置中，所述容器用于容纳蒸镀材料，所述蒸镀材料沿第一方向自所述容器内升华至所述喷嘴；所述容器具有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体在所述第一方向上互相连接且互相连通，所述第一腔体和所述第二腔体均沿与所述第一方向垂直的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括喷嘴、容器和固定装置，所述容器固定在所述固定装置中，所述容器用于容纳蒸镀材料，所述蒸镀材料沿第一方向自所述容器内升华至所述喷嘴；所述容器具有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体在所述第一方向上互相连接且互相连通，所述第一腔体和所述第二腔体均沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸；沿与所述第一方向和所述第二方向均垂直的第三方向，所述第一腔体的最大内径小于所述第二腔体的最大内径。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述第一腔体的最大内径为所述第一腔体与所述第二腔体的连通处的内径；自所述第一腔体与所述第二腔体的连通处沿与所述第一方向相反的方向，所述第二腔体的内径逐渐增大至所述第二腔体的最大内径；自所述第二腔体远离所述第一腔体的底部沿所述第一方向，所述第二腔体的内径逐渐增大至所述第二腔体的最大内径。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第一腔体为以垂直于所述第二方向的长方形截面沿所述第二方向延伸而成的长方体，所述第二腔体为以垂直于所述第二方向的圆形截面沿所述第二方向延伸而成的圆柱体。4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第一腔体上布置有多个安装孔，所述多个安装孔沿所述第二方向排布，所述喷嘴安装在所述安装孔中。5.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述固定装置包括底板、顶板、外壳和两个挡板，所述底板、所述顶板和所述外壳均沿所述第二方向延伸，所述顶板可拆卸地连接在所述外壳沿所述第一方向的顶部，所述底板可拆卸地连接在所述外壳沿所述第一方向的底...

【专利技术属性】
技术研发人员：林文晶，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：