下载蒸发源的技术资料

文档序号:33945342

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种蒸发源,包括喷嘴、容器和固定装置,容器固定在固定装置中,容器用于容纳蒸镀材料,蒸镀材料沿第一方向自容器内升华至喷嘴;容器具有第一腔体和第二腔体,第一腔体与第二腔体在第一方向上互相连接且互相连通,第一腔体和第二腔体均沿与第一方向...
该专利属于上海升翕光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海升翕光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。