用于材料蒸发的组件、真空沉积设备和用于材料蒸发的方法技术

描述了一种用于材料蒸发的组件。用于材料蒸发的所述组件包括：坩埚，所述坩埚被配置为容纳用于材料蒸发的材料；一个或多个网状结构，所述一个或多个网状结构设置在所述坩埚内部；和一个或多个线圈，所述一个或多个线圈被配置为提供感应能量，所述感应能量加热所述一个或多个网状结构以用于材料蒸发。个或多个网状结构以用于材料蒸发。个或多个网状结构以用于材料蒸发。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于材料蒸发的组件、真空沉积设备和用于材料蒸发的方法


[0001]本公开内容涉及用于材料蒸发(例如，有机材料的蒸发)的组件和方法。本公开内容的实施方式特别地涉及用于产生蒸气流、并且特别是适合于在真空沉积系统中形成有机发光二极管(OLED)的有机材料蒸气流的组件和方法。特别地，本公开内容的实施方式涉及一种用于材料蒸发的组件、一种真空沉积设备和一种用于材料蒸发的方法。

技术介绍

[0002]在若干
中并且针对许多应用，将材料层沉积到基板上是有益的。特别地，在生产有机发光二极管(OLED)期间，将一种或多种材料的薄膜形成到基板上。特别地，通过蒸发形成有机材料层。为了蒸发材料，可使用坩埚以便产生蒸气流。蒸气被引导通过掩模，以用给定图案在基板上产生膜。也针对OLED的制造考虑两种或更多种材料(例如，主体和掺杂剂)的共沉积。
[0003]OLED是一种发光二极管，其中发射层包括某些有机材料的薄膜。OLED特别地用于电视机屏幕，计算机监视器、(例如，移动电话的)显示器和照明应用。与传统的LCD显示器相比，OLED显示器具有更好的性能。特别地，OLED显示器提供高水平的亮度和对比度、宽视角和改善的颜色范围。使用OLED以便在显示器上显示像素，并且由于OLED直接发光，因此不需要背光。因此，除了改善的性能之外，与传统的LCD显示器相比，OLED显示器的能量消耗也显著地降低。OLED也可被制造到柔性基板上。
[0004]OLED包括在两个电极之间的一个或多个有机材料层。因此，在OLED显示器中，用有机蒸发器将层沉积到基板上以形成具有能够单独地控制的像素的矩阵。在有机蒸发器中，通过加热来蒸发有机材料。然后将蒸气穿过掩模引导到基板上，以便形成具有给定图案的层。
[0005]为了蒸发要沉积的材料，可使用坩埚。待蒸发的材料以固体形式(典型地作为粉末)定位在坩埚内部，并且提供热以便蒸发定位在坩埚内部的材料。
[0006]可能难以在避免蒸发期间可容易地降解的非常敏感的有机材料降解的同时，确保在坩埚内部的材料的准确蒸发速率。
[0007]因此，控制坩埚内部的热或热分布来最小化材料降解是有益的。益处特别地有关于OLED和OLED屏幕与显示器的生产。

技术实现思路

[0008]鉴于以上内容，提供一种用于材料蒸发的组件、一种真空沉积设备和一种用于材料蒸发的方法。另外的细节、方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图而清楚。
[0009]根据一个实施方式，提供一种用于材料蒸发的组件。用于材料蒸发的所述组件包括：坩埚，所述坩埚被配置为容纳用于材料蒸发的材料；一个或多个网状结构，所述一个或多个网状结构设置在所述坩埚内部；和一个或多个线圈，所述一个或多个线圈被配置为提供感应能量，所述感应能量加热所述一个或多个网状结构以用于材料蒸发。
[0010]根据一个实施方式，提供一种真空沉积设备。所述真空沉积设备包括根据本公开内容的实施方式中任一者的用于材料蒸发的组件。
[0011]根据一个实施方式，提供一种用于材料蒸发的方法。用于材料蒸发的所述方法包括：在坩埚内部提供材料，使得一个或多个网状结构中的至少一个网状结构与所述材料接触；将电流施加到所述组件的一个或多个线圈；和通过感应加热来蒸发所述材料。
附图说明
[0012]为了可详细地理解本公开内容的上述特征，可参考实现方式来得到以上简要概述的本公开内容的更特别的描述，附图中图示所述实施方式中的一些。然而，需注意，附图仅图示示例性实现方式，因此不应当被视为对范围的限制，并且可承认其他等效实现方式。
[0013]图1示出根据本公开内容的实施方式的用于材料蒸发的组件的示意性截面图；
[0014]图2示出具有分配管的根据本公开内容的实施方式的用于材料蒸发的组件的示意性截面图；
[0015]图3示出具有靠近坩埚的底壁的开口的根据本公开内容的实施方式的用于材料蒸发的组件的示意性截面图；
[0016]图4示出根据本公开内容的实施方式的蒸发设备的示意图；并且
[0017]图5示出图示根据本公开内容的实施方式的用于材料蒸发的实施方式的流程图。
具体实施方式
[0018]现将详细地参考各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例图示于每个图中。每个示例以解释的方式提供，并且不意在作为限制。例如，被图示或描述为一个实施方式的部分的特征可在任何其他实施方式上或结合任何其他实施方式使用，以产生又一个实施方式。本公开内容旨在包括这样的修改和变化。附图中示出的细节、尺寸、角度和其他特征中的许多者仅说明特定实现方式。相应地，在不脱离本公开内容的精神或范围的情况下，其他实现方式可具有其他细节、部件和特征。另外，可在没有以下描述的细节中的若干者的情况下实践本公开内容的另外的实现方式。
[0019]在以下对附图的描述内，相同的参考数字表示相同或类似的部件。一般来讲，仅描述相对于单独的实施方式的差异。除非另有指明，否则一个实施方式中的部分或方面的描述可应用于另一个实施方式中的对应的部分或方面。
[0020]本文描述的组件和方法特别地被配置为用于材料蒸发，例如在有机蒸发器中的材料蒸发，有机蒸发器例如用于生产OLED和OLED显示器、屏幕和监视器。
[0021]在本公开内容的实施方式中，通过在坩埚、特别是陶瓷坩埚中的感应现象(induction)来产生蒸气。坩埚包括一个或多个网状结构。例如，一个或多个电导体可设置在坩埚内部，例如，以用于将感应热传递到一个或多个网状结构。在一些实施方式中，电导体可以是邻近坩埚的内壁设置的环、特别是金属环。
[0022]根据可与本文描述的其他实施方式组合的一些实施方式，提供用于材料蒸发的组件。该组件包括被配置为容纳用于材料蒸发的材料的坩埚和设置在该坩埚内部的一个或多个网状结构。一个或多个线圈被配置为提供感应能量，该感应能量加热一个或多个网状结构以用于材料蒸发。例如，一个或多个线圈可通过加热一个或多个电导体来间接地加热一
个或多个网状结构。附加地或替代地，一个或多个线圈可例如通过在网状结构内产生感应电流来直接地加热一个或多个网状结构。
[0023]图1示出根据本公开内容的实施方式的用于材料蒸发的组件的示意性截面图。用于材料蒸发的组件100包括坩埚110、一个或多个、设置在坩埚内部的一个或多个网状结构130和一个或多个线圈140。在一个或多个线圈140的线圈中流动的电流加热一个或多个网状物中的至少一个网状物。一个或多个线圈140中的线圈被配置为提供感应加热，该感应加热被传递到在坩埚110内部的一个或多个网状物130中的至少一个网状物。在一些实施方式中，可提供三个或更多个线圈，其中每个线圈被配置为对一个或多个网状结构中的对应的网状结构提供加热。例如，可提供六个或更多个线圈。
[0024]根据一些实施方式，可沿坩埚的填充高度提供三个网状结构。取决于在坩埚中所提供的材料的量，可开启或关掉多个网状结构中的网状结构。特别地，坩埚中所提供的材料越多，被加热的网状结构的量可减少本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于材料蒸发的组件(100)，包括：坩埚(110)，所述坩埚被配置为容纳用于材料蒸发的材料；一个或多个网状结构(130)，所述一个或多个网状结构设置在所述坩埚内部；和一个或多个线圈(140)，所述一个或多个线圈被配置为提供感应能量，所述感应能量加热所述一个或多个网状结构以用于材料蒸发。2.如权利要求1所述的组件，进一步包括：一个或多个电导体(120)，所述一个或多个电导体在所述坩埚内部。3.如权利要求2所述的组件，其中所述一个或多个电导体是环、特别是邻近所述坩埚的内壁设置的环。4.如权利要求2至3中任一项所述的组件，其中所述一个或多个电导体耦合到所述一个或多个网状结构，以便将热传递到所述网状结构。5.如权利要求1至4中任一项所述的组件，其中所述坩埚是陶瓷坩埚。6.如权利要求1至5中任一项所述的组件，其中所述一个或多个网状结构包括陶瓷材料。7.如权利要求6所述的组件，其中所述一个或多个网状结构包括碳化硅。8.如权利要求1至7中任一项所述的组件，其中通过所述一个或多个线圈的电流流动是能够针对每个线圈单独地控制的。9.如权利要求1至8中任一项所述的组件，其中所述一个或多个线圈是水冷的。10.如权利要求1至9...

【专利技术属性】
技术研发人员：佩曼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：