【技术实现步骤摘要】
本申请涉及基板处理，尤其涉及一种蒸镀材料供应设备及蒸镀装置。
技术介绍
1、oled器件(organic light emitting diode)是指通过在提供电源的阳极和阴极之间蒸镀有机材料的工艺，将有机材料蒸镀而成的二极管形态的器件。为了便于oled器件的发光，oled器件包括阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极等多层薄膜结构在上述的多层薄膜结构中，除了阳极以外的其他薄膜层通过线源、点源和热舟利用真空热蒸镀法来形成的。
2、目前，在使用点源进行蒸镀的过程中，点源布置在蒸镀腔体内，蒸镀腔体中还设置有用于向点源供应蒸镀材料的供应设备，为了确保足够的供应量，供应设备的存储容器具有较大的直径和较大的高度，利用供应设备供应的蒸镀材料使得点源可以长时间工作。
3、然而，点源喷射的蒸镀材料会与供应设备之间发生干扰，降低基板上薄膜的均匀性。
技术实现思路
1、基于此，本申请提供了一种蒸镀材料供应设备及蒸镀装置，以解决相关技术中点源喷射的蒸镀材料会...
【技术保护点】
1.一种蒸镀材料供应设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述避让机构为升降机构，所述升降机构与所述底座相连，以带动所述供应机构上升或下降。
3.根据权利要求2所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述供应机构还包括第一传动轴，所述第一传动轴贯穿蒸镀装置的蒸镀腔体，所述第一传动轴的第一端与所述底座连接，所述升降机构与所述第一传动轴的第二端连接。
4.根据权利要求3所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述升降机构包括第一驱动件和支撑件，所述支撑件分别连接所述第一驱动件的输出端和所述第一传动轴的第
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【技术特征摘要】
1.一种蒸镀材料供应设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述避让机构为升降机构，所述升降机构与所述底座相连，以带动所述供应机构上升或下降。
3.根据权利要求2所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述供应机构还包括第一传动轴，所述第一传动轴贯穿蒸镀装置的蒸镀腔体，所述第一传动轴的第一端与所述底座连接，所述升降机构与所述第一传动轴的第二端连接。
4.根据权利要求3所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述升降机构包括第一驱动件和支撑件，所述支撑件分别连接所述第一驱动件的输出端和所述第一传动轴的第二端。
5.根据权利要求4所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述升降机构还包括波纹管，所述波纹管套设在所述第一传动轴上，所述波纹管的一端与所述蒸镀腔体密封连接，所述波纹管的另一端与所述支撑件密封连接。
6.根据权利要求3所述的蒸镀材料供应设备，其特征在于，所述蒸镀材料供应设备还包括第一旋转机构，所述第一旋转机构与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲁俊瑞，文炯敦，裴泳镇，姜漢默，轩景泉，尹恩心，彭勃，池元圭，崔晶植，冯利凯，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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