温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及基板处理技术领域，尤其涉及一种蒸镀材料供应设备及蒸镀装置。该蒸镀材料供应设备包括：供应机构，包括底座、供给单元和导流管，供给单元活动安装于底座上，供给单元设置有多个容纳腔室；导流管的一端安装于底座上；避让机构，与供应机构连接，避让...
该专利属于上海升翕光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海升翕光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。