蒸镀坩埚及蒸镀装置制造方法及图纸

本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个容腔的顶部开设有开口；加热装置设置于坩埚本体外部，能够分别加热各个容腔；其中，容腔共用一个开口。与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。

Evaporation crucible and evaporation device

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚及蒸镀装置


[0001]本申请涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。在蒸镀过程中，先采用掩膜板遮挡基材，蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热挥发并从掩膜板开口蒸镀到对应的基材上。
[0003]目前常用的蒸镀工艺有点状蒸镀，而且对于点状蒸镀，其蒸镀设备中一般包括一个小型圆桶状的蒸镀坩埚，金属蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热成气态并从圆桶状蒸镀坩埚的开口向上呈锥状扩散逸出，以对基材进行蒸镀。
[0004]但是，现有技术中蒸镀坩埚在使用时存在着一定的问题，例如，圆桶状的蒸镀坩埚的蒸镀角相对较小，影响蒸镀效率；当需要采用几种不同的蒸镀材料同时蒸镀时，只能同时放入蒸镀坩埚的容腔一同加热，由于不同的蒸镀材料的熔点不同，这样便会导致不同的蒸镀材料被加热蒸镀时消耗的速率不同，也就影响了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
[0005]因此，市面上亟需一种既有较大蒸镀角，又能够以相同的蒸镀消耗速率来同时加热不同蒸镀材料的蒸镀设备。

技术实现思路

[0006]有鉴于此，本申请提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决现有技术中蒸镀装置不能以相同的蒸镀消耗速率来同时加热不同蒸镀材料的问题。
[0007]本申请提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和加热装置；
[0008]所述坩埚本体具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔，且每个所述容腔的顶部开设有开口；
[0009]所述加热装置设置于所述坩埚本体外部，能够分别加热各个所述容腔；
[0010]其中，所述容腔共用一个所述开口。
[0011]当使用该蒸镀坩埚对不同种类的蒸镀材料进行加热时，可以将不同的种类的蒸镀材料分别对应放入不同的坩埚本体的不同容腔中，然后根据不同蒸镀材料的熔点高低适应性调节加热装置的加热功率，这样加热装置便能够以适当的加热功率分别加热各个容腔，从而使不同种类的蒸镀材料都能够以相同受热消耗速率来对基材进行蒸镀。而且由于坩埚本体的多个容腔共用一个开口，这样不同容腔中不同种类的蒸镀材料受热后变为气态可以在开口进行混合，从而使不同种类的蒸镀材料可以较为均匀的同时蒸镀到基材上。
[0012]因此，与现有技术中点蒸镀工艺中的圆桶装蒸镀坩埚相比，本申请实施提供的蒸镀坩埚能够使不同种类的蒸镀材料以相同受热消耗速率来对基材5进行同时蒸镀，提高了不同蒸镀材料同时蒸镀时的蒸镀品质。
[0013]在一种可能的设计中，多个所述容腔关于所述坩埚本体竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。
[0014]这样坩埚本体重心可以分布在竖直方向的中轴线上，当容腔个数设置三个及以上时，该蒸镀坩埚无需固定支架便可以稳定放置到工作台面上，具有结构简单、使该蒸镀坩埚更容易固定摆放的优点。
[0015]在一种可能的设计中，多个所述容腔中，每两个所述容腔对应设置成一组；
[0016]每组中的两个所述容腔关于所述坩埚本体竖直方向的中轴线对称设置。
[0017]这样坩埚本体重心同样可以分布在竖直方向的中轴线上，当容腔组数设置两组及以上时，该蒸镀坩埚无需固定支架便也可以稳定放置到工作台面上，同样具有结构简单、使该蒸镀坩埚更容易固定摆放的优点。
[0018]在一种可能的设计中，各个所述容腔分别与所述坩埚本体竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。
[0019]这样各个容腔中的蒸镀材料被加热到气态时，都能够较为顺畅的流动逸散到开口，避免气化的蒸镀材料在容腔中积聚冷却；除此之外，各个容腔中气化的蒸镀材料可以在靠近开口处可以交汇混合，并能够通过开口倾斜向上喷出，与传统腔口竖直设置的蒸镀坩埚相比，该蒸镀坩埚能够具有更大的蒸镀角，能够更高效率的对基材进行蒸镀。
[0020]在一种可能的设计中，各个所述容腔分别与所述坩埚本体竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。
[0021]这样当多个容腔同时通过开口倾斜向上喷出气化的蒸镀材料时，便可以形成一个较为规整的圆锥状的蒸镀区域，从而使各种不同种类的蒸镀材料都能够在圆锥状蒸镀区域中充分混合，并均匀地蒸镀到基材上。
[0022]在一种可能的设计中，所述夹角θ满足：15
°
≤θ≤75
°
。
[0023]将夹角θ具体限定在15
°
～75
°
之间，这样一方面可以避免夹角θ过小导致该蒸镀坩埚的圆锥状蒸镀区域较狭小的问题，另一方面可以避免夹角θ过大导致该蒸镀坩埚的圆锥状蒸镀区域较宽泛的问题。
[0024]在一种可能的设计中，所述蒸镀坩埚还包括外壳；
[0025]所述外壳间隔套设于所述坩埚本体的外部，并与所述坩埚本体共同围成用于安装所述加热装置的安装空间。
[0026]这样坩埚本体与外壳之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体外周壁的加热装置加热时，外壳能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置的加热效率。
[0027]在一种可能的设计中，所述加热装置对应设置于所述坩埚本体围成所述容腔的外周壁；
[0028]所述加热装置包括第一加热部和第二加热部；
[0029]其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体的靠近所述开口的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体的靠近所述容腔的底部周壁处。
[0030]这样坩埚本体靠近开口外周壁的部位也能够被加热装置进行加热，从而可以避免蒸镀材料在坩埚本体的开口处出现冷却沉积的现象。
[0031]另外，本申请还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其中，所述电源与所述加热装置电连接。
[0032]该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。
[0033]在一种可能的设计中，所述蒸镀装置还包括用于固定基材的固定件；
[0034]所述固定件能够将基材固定设置所述开口的正上方，且能够带动所述基材沿水平方向转动。
[0035]通过设置上的固定件，可以实现将基材稳定连接以及在蒸镀过程中带动基材沿水平方向稳定转动的优点。
[0036]本申请实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例而了解。本申请实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0037]图1为本申请实施例提供的蒸镀坩埚的纵向剖视图；
[0038]图2为本申请实施例提供的蒸镀装置的纵向剖视图。
[0039]附图标记：
[0040]1‑
坩埚本体；
[0041]11
‑
容腔；
[0042]12
‑
开口；
[0043]2‑
加热装置；
[0044]3‑
外壳；
[0045]4‑
固定件；
[0046]5‑
基材。
[0047]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔(11)，且每个所述容腔(11)的顶部开设有开口(12)；加热装置(2)，设置于所述坩埚本体(1)外部，能够分别加热各个所述容腔(11)；其中，所述容腔(11)共用一个所述开口(12)。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)中，每两个所述容腔(11)对应设置成一组；每组中的两个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线对称设置。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述夹角θ满足：1...

【专利技术属性】
技术研发人员：林文晶，轩景泉，赵军，崔建勇，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：