本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体的顶部设置有开口；加热装置设置于坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部与第二加热部依次交错串联设置多个；第一加热部与坩埚本体的整体外周壁对应设置；第二加热部与坩埚本体的靠近开口的局部外周壁对应设置。后者包括前者。第一加热部对坩埚本体的整体外周壁进行加热，第二加热部对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，以确保坩埚本体的开口周壁处的温度高于坩埚本体其他部位的温度，而且一个供电系统即可对多个第一加热部及多个第二加热部同时供电加热，具有能够简化加热系统的优点。点。点。
【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚及蒸镀装置
[0001]本申请涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。
技术介绍
[0002]在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。在蒸镀过程中，先采用掩膜板遮挡基材，蒸镀材料在蒸镀坩埚加热挥发并从掩膜板开口蒸镀到对应的基材位置上。
[0003]目前常用的蒸镀工艺有点状蒸镀，而且对于点状蒸镀，其蒸镀设备中一般包括一个小型圆桶状的蒸镀坩埚，金属蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热成气态并从圆桶状蒸镀坩埚的开口向上逸出，从而对基材进行蒸镀。
[0004]现有技术中蒸镀坩埚在使用时，为了防止避免蒸镀材料在坩埚口沉积进而形成堵孔的现象，一般都会在蒸镀坩埚的开口周壁处额外设置一个加热装置，而且该加热装置的工作加热温度一般还要比用于加热蒸镀坩埚中蒸镀材料的加热装置的工作加热温度还要高，这样也就使得蒸镀坩埚的两个不同功率的加热装置需要在各自的电路中需要分别设置不同的保险保护件，而且两个不同功率的加热装置工作状态也需要独立控制，致使蒸镀装置中的加热系统会变得较为复杂。
[0005]因此，市面上亟需一种能够既能够实现不同功率对蒸镀坩埚的开口进行加热，又能够简化蒸镀装置中加热系统的蒸镀坩埚。
技术实现思路
[0006]有鉴于此，本申请提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决现有技术中蒸镀装置实现不同功率加热蒸镀坩埚不同部位致使加热系统较为复杂的问题。
[0007]本申请提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和加热装置；
[0008]所述坩埚本体的顶部设置有开口；<br/>[0009]所述加热装置设置于所述坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；
[0010]其中，所述第一加热部与所述第二加热部依次交错串联设置多个；
[0011]所述第一加热部与所述坩埚本体的整体外周壁对应设置；
[0012]所述第二加热部与所述坩埚本体的靠近所述开口的局部外周壁对应设置。
[0013]当加热装置通电产生热量时，由于第一加热部和第二加热部是依次交错串联设置，因此通过多个第一加热部及多个第二加热部的电流大小是相等的，而且通过第一加热部可以对坩埚本体的整体外周壁进行加热，通过第二加热部可以对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，因此可以确保坩埚本体的开口周壁处的温度会高于坩埚本体其他部位的温度，这样即可避免蒸镀材料在坩埚本体的开口处沉积出现堵孔的现象。
[0014]该蒸镀坩埚通过一个供电系统即可实现对多个第一加热部及多个第二加热部同时供电加热，而且供电系统中只需相应的设置一个保险保护件即可，因此，该蒸镀坩埚能够解决现有技术中蒸镀装置实现不同功率加热蒸镀坩埚不同部位致使加热系统较为复杂的
问题。
[0015]在一种可能的设计中，所述第一加热部包括第一加热单元；
[0016]所述第一加热单元具有发热件，且所述发热件在所述第一加热单元中设置成U形或S形。
[0017]当第一加热单元中的发热件设置成U形时，发热件的间距可以均匀布置，从发热件产生的热量可以更均匀地传递到蒸镀坩埚的内部；当第一加热单元中的发热件设置成S形，发热件在第一加热单元中的有效长度可以设置的更大，从而可以使发热件的发热功率更大。
[0018]在一种可能的设计中，所述第一加热部中设置有多个所述第一加热单元，且多个所述第一加热单元依次串接。
[0019]通过改变第一加热单元的设置数量可以起到分配加热装置的功率的作用，当加热装置的功率恒定时，第一加热单元设置的越多，第一加热部的功率占比就会比第二加热部更大，也即第二加热部对坩埚本体靠近开口处的局部外周壁的额外加热作用便会相对减弱。
[0020]在一种可能的设计中，所述第二加热部包括第二加热单元；
[0021]所述第二加热单元具有发热件，且所述发热件在所述第二加热单元中设置成U形或S形。
[0022]当第二加热单元中的发热件设置成U形时，发热件的间距可以均匀布置，从发热件产生的热量可以更均匀地传递到蒸镀坩埚靠近开口的外周壁；当第二加热单元中的发热件设置成S形，发热件在第二热单元中的有效长度可以设置的更大，从而可以使发热件的发热功率更大。
[0023]在一种可能的设计中，所述第二加热部中设置有多个所述第二加热单元，且多个所述第二加热单元依次串连。
[0024]通过改变第二加热单元的设置数量可以起到分配加热装置的功率的作用，当加热装置的功率恒定时，第二加热单元设置的越多，第二加热部的功率占比就会比第一加热部更大，也即第二加热部对坩埚本体靠近开口处的局部外周壁的额外加热作用便会相对增强。
[0025]在一种可能的设计中，所述第一加热部、所述第二加热部分别沿竖直方向延伸设置。
[0026]这样当加热装置通电产热时，第一加热部、第二加热部均可以沿坩埚本体轴向对坩埚本体均匀加热，使坩埚本体靠近开口处的局部外周壁整体维持在一个较高的恒定温度、坩埚本体其他部位的外周壁能够维持在一个略低的恒定温度，确保了坩埚本体中各处的蒸镀材料都能够被均匀地加热。
[0027]在一种可能的设计中，所述第一加热部、所述第二加热部分别沿所述坩埚本体的周向均匀间隔。
[0028]这样当加热装置通电产热时，第一加热部、第二加热部产生的热量还能够均匀的从坩埚本体的周向传导至坩埚本体中的蒸镀材料，进一步使坩埚本体中的蒸镀材料可以被更均匀地加热。
[0029]另外，本申请还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其
中，所述电源与所述加热装置电连接。
[0030]该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。
[0031]在一种可能的设计中，所述蒸镀装置还包括控制系统；
[0032]所述控制系统与所述加热装置电连接，用于调控所述加热装置与所述电源的通断状态。
[0033]这样可以通过控制系统自动控制加热装置与电源的通断状态，提高该蒸镀装置的自动化程度。
[0034]在一种可能的设计中，所述蒸镀装置还包括外壳；
[0035]所述外壳具有用于容装所述蒸镀坩埚的安装空间，且所述蒸镀坩埚安装于所述外壳时，所述蒸镀坩埚与所述外壳的内周壁间隔设置。
[0036]这样当位于坩埚本体外部的加热装置加热时，外壳能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置的加热效率。
[0037]本申请实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例而了解。本申请实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0038]图1为本申请实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图；
[0039]图2为本申请实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的结构示意图；
[0040]图3为本申请实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的第一种品展示意图；
[0041]图4为本申请实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的第二种品展示意图；<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)的顶部设置有开口；加热装置(2)，设置于所述坩埚本体(1)的外周壁，具有第一加热部(21)和第二加热部(22)；其中，所述第一加热部(21)与所述第二加热部(22)依次交错串联设置多个；所述第一加热部(21)与所述坩埚本体(1)的整体外周壁对应设置；所述第二加热部(22)与所述坩埚本体(1)的靠近所述开口的局部外周壁对应设置。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一加热部(21)包括第一加热单元(211)；所述第一加热单元(211)具有发热件，且所述发热件在所述第一加热单元(211)中设置成U形或S形。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一加热部(21)中设置有多个所述第一加热单元(211)，且多个所述第一加热单元(211)依次串接。4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二加热部(22)包括第二加热单元(221)；所述第二加热单元(221)具有发热件，且所述发热件在所述第二加热单元(221)中设...
【专利技术属性】
技术研发人员：林文晶，轩景泉，钱海涛，刘萍，吕海超，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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