本发明专利技术涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸发源装置及其使用方法。该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔，第二挡板上开设有第二蒸镀孔，第一蒸镀孔与第二蒸镀孔能够形成流通通道；其中，转动转轴连接第一挡板和第二挡板；两个蒸发源沿竖直方向分别设于两个第二挡板的下方，其中一个蒸发源内设有第一蒸镀材料，另一个蒸发源内设有第二蒸镀材料。本发明专利技术中转动转轴能够驱动第一挡板和第二挡板分别绕转动转轴的轴向旋转，从而调整流通通道的流通面积，且第一蒸镀材料和第二蒸镀材料的掺杂比例能够通过改变流通通道的流通面积的大小以形成连续性梯度变化，进一步地提高了产品的质量和性能。质量和性能。质量和性能。
【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源装置及其使用方法
[0001]本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸发源装置及其使用方法。
技术介绍
[0002]OLED(Organic Electroluminescence Display，有机电致发光器件)是一种电流型的有机发光器件，通过在OLED基板上制作有机薄膜来实现OLED的发光。目前制备OLED有机薄膜的方式是真空热蒸镀，即在真空腔体内加热OLED有机材料，使有机材料在一定的温度下升华或蒸发，然后通过挡板的蒸镀孔后沉积在基板上，以形成有机薄膜。
[0003]蒸镀有机材料时，有些材料进行掺杂之后能够提升相关的性能，例如：发光层是主体材料与掺杂材料同时蒸镀后成膜，并能够提高发光效率；空穴注入材料与空穴传输材料同时蒸镀后更利于电荷的注入以及界面修饰等，而两种材料的掺杂比例设置梯度变化时，会更利于电荷传输的控制。但是，目前生产设备还没有比较合理的蒸发源设计，可以连续性梯度变化地对蒸镀后的两种材料进行掺杂。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种蒸发源装置及其使用方法，以解决现有技术中的生产设备无法连续性梯度变化地对蒸镀后的两种材料进行掺杂的问题。
[0005]为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]一方面，本专利技术提供一种蒸发源装置，该蒸发源装置包括腔体以及设于上述腔体内的：
[0007]第一挡板和第二挡板，上述第二挡板沿竖直方向设于上述第一挡板的下方；上述第一挡板上开设有第一蒸镀孔，上述第二挡板上开设有第二蒸镀孔，上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔沿上述竖直方向相对设置，以使上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔形成流通通道；
[0008]转动转轴，上述转动转轴沿竖直方向延伸设置，且上述转动转轴连接上述第一挡板和上述第二挡板；上述转动转轴能够驱动上述第一挡板和上述第二挡板分别绕上述转动转轴的轴向旋转，以调整上述流通通道的流通面积；
[0009]蒸发源，上述蒸发源设有两个，两个上述蒸发源沿上述竖直方向分别设于两个上述第二挡板的下方；两个上述蒸发源沿水平方向间隔设置，其中一个上述蒸发源内设有第一蒸镀材料，另一个上述蒸发源内设有第二蒸镀材料。
[0010]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔均设置有多个，多个上述第一蒸镀孔与多个上述第二蒸镀孔一一对应设置。
[0011]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，多个上述第一蒸镀孔在上述第一挡板上呈阵列排布；多个上述第二蒸镀孔在上述第二挡板上呈阵列排布。
[0012]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一蒸镀孔的开口面积等于上述第二蒸镀孔的开口面积。
[0013]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一挡板的下侧面的面积大于或等于上述第二挡板的上侧面的面积。
[0014]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔为圆形孔或弧形孔或方形孔。
[0015]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述蒸发源装置还包括第三挡板，上述第三挡板设于上述第二挡板与上述蒸发源之间，用于封闭上述第二挡板的上述第二蒸镀孔；上述第三挡板转动设于上述转动转轴上。
[0016]作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述转动转轴分为第一转动转轴和第二转动转轴，上述第一转动转轴与上述第二转动转轴沿上述水平方向间隔设置；上述第一挡板转动设于上述第一转动转轴上，上述第二挡板转动设于上述第二转动转轴上。
[0017]另一方面，本专利技术提供一种蒸发源装置的使用方法，上述蒸发源装置的使用方法利用如上述的蒸发源装置完成，上述蒸发源装置的使用方法包括如下步骤：
[0018]S1、通过上述转动转轴转动上述第一挡板和上述第二挡板，使上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔沿上述竖直方向相互对准；设定此时上述第一蒸镀材料以及上述第二蒸镀材料在蒸镀后穿过上述流通通道的速率为初始蒸发速率；
[0019]S2、通过上述转动转轴转动上述第一挡板和上述第二挡板，使上述第一挡板和上述第二挡板分别向相反的方向缓慢移动；分别记录上述第一挡板和上述第二挡板分别向相反的方向缓慢移动时，上述第一蒸镀材料与上述第二蒸镀材料在蒸镀后穿过上述流通通道的瞬时蒸发速率；
[0020]S3、根据上述初始蒸发速度和上述瞬时蒸发速率，计算上述第一蒸镀材料和上述第二蒸镀材料在穿过上述流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化。
[0021]作为上述蒸发源装置的使用方法的一种可选方案，上述瞬时蒸发速率小于或等于上述初始蒸发速率。
[0022]本专利技术的有益效果为：
[0023]该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔，第二挡板上开设有第二蒸镀孔，第一蒸镀孔与第二蒸镀孔沿竖直方向相对设置，以使第一蒸镀孔与第二蒸镀孔形成流通通道，且两个蒸发源沿竖直方向分别设于两个第二挡板的下方，进而第一蒸镀材料和第二蒸镀材料分别在两个蒸发源内蒸镀后，能够穿过流通通道并相互掺杂，并形成复合材料。其中，转动转轴能够驱动第一挡板和第二挡板分别绕转动转轴的轴向旋转，以调整流通通道的流通面积，从而调整第一蒸镀材料和第二蒸镀材料相互掺杂后的掺杂比例。同时，第一蒸镀材料和第二蒸镀材料的掺杂比例能够通过改变流通通道的流通面积的大小以形成连续性梯度变化，进一步地提高了产品的质量和性能。
[0024]本专利技术的蒸发源装置的使用方法利用上述的蒸发源装置完成，该蒸发源装置的使用方法在使用操作上简单方便，能够通过转动转轴驱动第一挡板和第二挡板分别向相反的方向缓慢移动，以改变流通通道的流通面积，进而改变第一蒸镀材料和第二蒸镀材料在蒸镀后穿过流通通道的瞬时蒸发速率，同时根据初始蒸发速率和瞬时蒸发速率能够计算第一蒸镀材料和第二蒸镀材料在穿过流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化，进一步地实现对产品质量和性能的提高。
附图说明
[0025]图1为本专利技术实施例所提供的蒸发源装置的结构示意图；
[0026]图2为本专利技术实施例所提供的另一种蒸发源装置的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术实施例所提供的蒸发源装置的使用方法流程示意图。
[0028]图中：
[0029]1、腔体；2、第一挡板；21、第一蒸镀孔；3、第二挡板；31、第二蒸镀孔；4、转动转轴；41、第一转动转轴；42、第二转动转轴；5、蒸发源；51、第一蒸镀材料；52、第二蒸镀材料；6、第三挡板；7、基板。
具体实施方式
[0030]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0031]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括腔体(1)以及设于所述腔体(1)内的：第一挡板(2)和第二挡板(3)，所述第二挡板(3)沿竖直方向设于所述第一挡板(2)的下方；所述第一挡板(2)上开设有第一蒸镀孔(21)，所述第二挡板(3)上开设有第二蒸镀孔(31)，所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)沿所述竖直方向相对设置，以使所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)形成流通通道；转动转轴(4)，所述转动转轴(4)沿竖直方向延伸设置，且所述转动转轴(4)连接所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)；所述转动转轴(4)能够驱动所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)分别绕所述转动转轴(4)的轴向旋转，以调整所述流通通道的流通面积；蒸发源(5)，所述蒸发源(5)设有两个，两个所述蒸发源(5)沿所述竖直方向分别设于两个所述第二挡板(3)的下方；两个所述蒸发源(5)沿水平方向间隔设置，其中一个所述蒸发源(5)内设有第一蒸镀材料(51)，另一个所述蒸发源(5)内设有第二蒸镀材料(52)。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)均设置有多个，多个所述第一蒸镀孔(21)与多个所述第二蒸镀孔(31)一一对应设置。3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，多个所述第一蒸镀孔(21)在所述第一挡板(2)上呈阵列排布；多个所述第二蒸镀孔(31)在所述第二挡板(3)上呈阵列排布。4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一蒸镀孔(21)的开口面积等于所述第二蒸镀孔(31)的开口面积。5.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一挡板(2)的下侧面的面积大于或等于所述第二挡板(3)的上侧面的面积。6.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀...
【专利技术属性】
技术研发人员：王卫卫，周文斌，冯峰，程保龙，李高敏，孙剑，高裕弟，
申请(专利权)人：昆山梦显电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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