下载一种蒸发源装置及其使用方法的技术资料

文档序号:33964340

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本发明涉及蒸镀技术领域,具体公开了一种蒸发源装置及其使用方法。该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔,第二挡板上开设有第二蒸镀孔,第一蒸镀孔与第二蒸镀孔能够形成流通通道;其中,转动转轴连接第一...
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