一种蒸镀坩埚及蒸镀装置制造方法及图纸

本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。所述蒸镀坩埚包括围设形成容腔的坩埚本体，在所述坩埚本体的外侧面上设有多个第一防呆槽与多个第二防呆槽，多个所述第一防呆槽仅能与预设蒸发源上的多个第一防呆件连接；多个所述第二防呆槽仅能与所述蒸发源上预设位置的多个第二防呆件连接。所述蒸镀坩埚具有防呆作用，可以防止蒸镀坩埚被错误安装，确保蒸镀坩埚中容纳的材料能按既定的工艺顺序进行蒸镀。艺顺序进行蒸镀。艺顺序进行蒸镀。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚及蒸镀装置


[0001]本申请涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

技术介绍

[0002]OLED显示面板具有宽视角、响应快、颜色饱和度高等特点，已经成为显示领域的核心技术。其中，OLED显示面板的生产过程中需要用到蒸镀工艺，蒸镀工艺需要将多种功能及特性的各种有机材料按照特定配比及顺序进行蒸镀的工艺。
[0003]目前蒸镀工艺中所使用的线性蒸发源是通过一个蒸镀机搭载一套线性蒸发源，而一套蒸发源大部分可以同时放入多个(如3个)坩埚进行配套使用，量产线上往往需要多套蒸发源对于数十个坩埚同时使用。
[0004]但不同坩埚内填充材料的种类与功能不同，安装于不同位置上坩埚的蒸镀顺序也不同，但蒸镀工艺中需要对不同材料按照预设的工艺流程进行蒸镀，因此要求坩埚必须安装至正确蒸发源的特定工位上。
[0005]确定生产过程中将要使用的多个坩埚，并且在多个坩埚中装料后，需要将多个坩埚安装到多个蒸发源的不同位置上。目前的坩埚安装过程是工作人员通过核对打标信息后，将坩埚放置于某一蒸发源的某一工位上。由于打标信息是按照蒸镀机序号顺序排列生成，可能存在打标信息相似的情况。工作人员仅靠识别打标信息对坩埚与蒸发源进行搭载，很容易导致坩埚被错误安装。而坩埚放错将导致容纳于坩埚中的相关有机材料的蒸镀顺序错误，进而导致OLED面板制作不良。
[0006]综上所述，现有的坩埚可能因人为因素导致坩埚未按照指定位置进行安装，导致材料蒸镀顺序错误，因此需要提供一种具有防呆结构的坩埚。

技术实现思路
<br/>[0007]为克服现有技术中的不足，本申请提供一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。
[0008]本申请提供的一种蒸镀坩埚，包括围设形成容腔的坩埚本体，在所述坩埚本体的外侧面上设有多个第一防呆槽与多个第二防呆槽，多个所述第一防呆槽仅能与预设蒸发源上的多个第一防呆件连接；多个所述第二防呆槽仅能与所述蒸发源上预设位置的多个第二防呆件连接。
[0009]在一种可能的实施方式中，所述坩埚本体呈长方形结构，所述坩埚本体包括底板以及环绕所述底板周向布设的多块侧壁，至少一个所述第一防呆槽设置在沿所述坩埚本体上第一方向延伸的第一侧壁上，至少一个所述第二防呆槽设置在沿所述坩埚本体上第二方向延伸的第二侧壁上。
[0010]在一种可能的实施方式中，所述第一侧壁上设有多个所述第一防呆槽，多个所述第一防呆槽在所述第一方向上与同一侧的所述第二侧壁的距离互不相同。
[0011]在一种可能的实施方式中，所述第二侧壁上设有多个所述第二防呆槽，多个所述第二防呆槽在所述第二方向上与同一侧的所述第一侧壁的距离互不相同。
[0012]在一种可能的实施方式中，所述第一侧壁上设有多个所述第一防呆槽，多个所述第一防呆槽的形状互不相同。
[0013]在一种可能的实施方式中，所述第二侧壁上设有多个所述第二防呆槽，多个所述第二防呆槽的形状互不相同。
[0014]在一种可能的实施方式中，所述坩埚本体设有连通所述容腔的开口，所述坩埚本体上环绕所述开口向远离所述容腔的方向凸设有提取部。
[0015]本申请还提供一种蒸镀装置，包括多个上述的蒸镀坩埚，还包括多个蒸发源、多个所述第一防呆件以及多个所述第二防呆件，多个所述蒸镀坩埚通过所述第一防呆件安装在预设所述蒸发源上，通过所述第二防呆件安装在预设所述蒸发源的不同位置上。
[0016]在一种可能的实施方式中，所述第一防呆件和/或所述第二防呆件包括相连接的第一连接部与第二连接部，所述第一连接部连接所述蒸镀坩埚，所述第二连接部可拆卸地连接于所述蒸发源上。
[0017]在一种可能的实施方式中，所述第一防呆件和/或所述第二防呆件间隔所述蒸镀坩埚与所述蒸发源。
[0018]相比现有技术，本申请的有益效果：本申请提供一种蒸镀坩埚，包括围设形成容腔的坩埚本体，在所述坩埚本体的外侧面上设有多个第一防呆槽与多个第二防呆槽，多个所述第一防呆槽仅能与预设蒸发源上的多个第一防呆件连接，使所述坩埚本体仅能安装在预设的蒸发源上；多个所述第二防呆槽仅能与所述蒸发源上预设位置的多个第二防呆件连接，使所述坩埚本体仅能安装在蒸发源的预设位置上。
[0019]如果蒸镀坩埚被错误地安装至非预设蒸发源上，则会因为第一防呆槽与非预设蒸发源上的第一防呆件不匹配而无法安装，因此能够避免蒸镀坩埚被错误地安装至其它蒸发源上。如果蒸镀坩埚被错误地安装至蒸发源的非预设位置上，则会因为第二防呆槽与蒸发源上非预设位置的第二防呆件不匹配而无法安装，因此能够避免蒸镀坩埚被错误地安装至蒸发源的其它位置上。
[0020]综上所述，蒸镀坩埚具有防呆作用，可以防止蒸镀坩埚被错误安装，确保蒸镀坩埚中容纳的材料能按既定的工艺顺序进行蒸镀。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0022]图1示出了蒸镀坩埚与防呆件的装配图；
[0023]图2示出了蒸镀坩埚的结构示意图；
[0024]图3示出了两个第一防呆槽与第二侧壁的距离互不相同时，蒸镀坩埚的结构示意图；
[0025]图4示出了第一防呆件和/或第二防呆件的结构示意图。
[0026]主要元件符号说明：
[0027]100
‑
坩埚本体；110
‑
第一侧壁；120
‑
第二侧壁；130
‑
提取部；200
‑
容腔；300
‑
第一防
呆槽；400
‑
第二防呆槽；500
‑
第一防呆件；600
‑
第二防呆件；700
‑
第一连接部；800
‑
第二连接部。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。
[0029]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0030]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括围设形成容腔的坩埚本体，在所述坩埚本体的外侧面上设有多个第一防呆槽与多个第二防呆槽，多个所述第一防呆槽仅能与预设蒸发源上的多个第一防呆件连接；多个所述第二防呆槽仅能与所述蒸发源上预设位置的多个第二防呆件连接。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚本体呈长方形结构，所述坩埚本体包括底板以及环绕所述底板周向布设的多块侧壁，至少一个所述第一防呆槽设置在沿所述坩埚本体上第一方向延伸的第一侧壁上，至少一个所述第二防呆槽设置在沿所述坩埚本体上第二方向延伸的第二侧壁上。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一侧壁上设有多个所述第一防呆槽，多个所述第一防呆槽在所述第一方向上与同一侧的所述第二侧壁的距离互不相同。4.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二侧壁上设有多个所述第二防呆槽，多个所述第二防呆槽在所述第二方向上与同一侧的所述第一侧壁的距离互不相同。5.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一侧壁上设有多个所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔晶植，冯利凯，文炯敦，尹恩心，轩景泉，裴泳镇，彭勃，池元圭，吕海超，陈浩，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：