The utility model discloses a fixture for chip etching, which comprises a base, left and right clamping fixture, the top surface of the base are respectively provided with a first bow beam and second bow beam, the first bow beam and second bow beam symmetrically, the first bow beam and second bow beam are connected with the first the spring and the second spring, the left and right on the fixture fixture set, on the right side of the left clamp bottom end is provided with a first fixing ring, wherein the first sliding chute is connected with a first sliding ring, the first fixing ring and a first sliding ring and on the base of the first bow beam and second bow beam sliding sleeve then, the bottom surface of the right clamp are arranged at the left side of the second fixed rings, the second sliding chute cavity is connected with a second slip ring, the second rings and second slip ring are fixed on a base and first The bow beam and the second bow beam are slipping. The utility model is convenient to clamp the chips which have not been etched quickly, and the operation is simple and convenient.
【技术实现步骤摘要】
一种便于芯片刻蚀的夹具
本技术涉及芯片刻蚀应用
,具体为一种便于芯片刻蚀的夹具。
技术介绍
刻蚀是将光胶层上的平面二维图形转移到薄膜上,然后再基片上加工,且造成一定深度的微结构,并进而在基片上加工成一定深度微结构的工艺,因为对光胶、基片材料和薄膜腐蚀速度不同,所以要选用适当的刻蚀剂,这样就可以在薄膜或基片上产生所需的微结构,但是在加工的过程中,不能徒手拿取芯片进行加工,必须借助辅助夹具进行夹装,所以这里设计生产一种便于芯片刻蚀的夹具,用来便于多次使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于芯片刻蚀的夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座、左夹具和右夹具,所述底座顶端面分别设置有第一弓形梁和第二弓形梁,所述第一弓形梁和第二弓形梁对称分布,所述第一弓形梁和第二弓形梁上均套接有第一弹簧和第二弹簧,所述左夹具与右夹具正对设置,所述左夹具底端面右侧设置有第一固定环,所述第一固定环设置有两组,且对称分布,所述左夹具底端面左侧设置有第一滑槽,所述第一滑槽设置有两组,所述第一滑槽内腔滑动卡接有第一滑动环,所述第一滑动环设置有两组,所述第一固定环和第一滑动环均与底座上的第一弓形梁和第二弓形梁滑动套接,所述右夹具底端面左侧设置有第二固定环,所述第二固定环设置有两组,且对称分布,所述右夹具底端面右侧设置有第二滑槽,所述第二滑槽设置有两组,所述第二滑槽内腔滑动卡接有第二滑动环,所述第二滑动环设置有两组,所述第二固定环和第二滑动环均与底座上的第一弓形梁和第二弓形梁滑动套接,所述左夹具的顶端面右侧开有第一卡槽 ...
【技术保护点】
一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座(10)、左夹具(1)和右夹具(8),其特征在于:所述底座(10)顶端面分别设置有第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9),所述第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)对称分布,所述第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)上均套接有第一弹簧(4)和第二弹簧(13),所述左夹具(1)与右夹具(8)正对设置,所述左夹具(1)底端面右侧设置有第一固定环(5),所述第一固定环(5)设置有两组,且对称分布,所述左夹具(1)底端面左侧设置有第一滑槽(16),所述第一滑槽(16)设置有两组,所述第一滑槽(16)内腔滑动卡接有第一滑动环(15),所述第一滑动环(15)设置有两组,所述第一固定环(5)和第一滑动环(15)均与底座(10)上的第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)滑动套接,所述右夹具(8)底端面左侧设置有第二固定环(14),所述第二固定环(14)设置有两组,且对称分布,所述右夹具(8)底端面右侧设置有第二滑槽(17),所述第二滑槽(17)设置有两组,所述第二滑槽(17)内腔滑动卡接有第二滑动环(12),所述第二滑动环(12)设置有两组,所述第二固定环(14)和第二滑动环( ...
【技术特征摘要】
1.一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座(10)、左夹具(1)和右夹具(8),其特征在于:所述底座(10)顶端面分别设置有第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9),所述第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)对称分布,所述第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)上均套接有第一弹簧(4)和第二弹簧(13),所述左夹具(1)与右夹具(8)正对设置,所述左夹具(1)底端面右侧设置有第一固定环(5),所述第一固定环(5)设置有两组,且对称分布,所述左夹具(1)底端面左侧设置有第一滑槽(16),所述第一滑槽(16)设置有两组,所述第一滑槽(16)内腔滑动卡接有第一滑动环(15),所述第一滑动环(15)设置有两组,所述第一固定环(5)和第一滑动环(15)均与底座(10)上的第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)滑动套接,所述右夹具(8)底端面左侧设置有第二固定环(14),所述第二固定环(14)设置有两组,且对称分布,所述右夹具(8)底端面右侧设置有第二滑槽(17),所述第二滑槽(17)设置有两组,所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员:卓廷厚,
申请(专利权)人:华天恒芯半导体厦门有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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