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本实用新型公开了一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座、左夹具和右夹具,所述底座顶端面分别设置有第一弓形梁和第二弓形梁,所述第一弓形梁和第二弓形梁对称分布,所述第一弓形梁和第二弓形梁上均套接有第一弹簧和第二弹簧,所述左夹具与右夹具正对设置,所述左...该专利属于华天恒芯半导体(厦门)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华天恒芯半导体(厦门)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座、左夹具和右夹具,所述底座顶端面分别设置有第一弓形梁和第二弓形梁,所述第一弓形梁和第二弓形梁对称分布,所述第一弓形梁和第二弓形梁上均套接有第一弹簧和第二弹簧,所述左夹具与右夹具正对设置,所述左...