主轴驱动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种主轴驱动装置，其通过将原本相固定的挡片与转轴分离，并将原本分离的驱动机构与挡片相固定，使驱动机构在失效脱落时，挡片随之一起脱落，这样传感器模块便无法再接收到挡片经过所产生的信号，从而触发化学气相沉积设备的警报，进而让工作人员能够及时处理，阻止损失的产生和事态的恶化，并且，该主轴驱动装置结构的改进没有改变传感器模块的结构及程序，故无需改变化学气相沉积设备自身的软件设置。

Spindle driving device

The utility model provides a spindle drive device, the gear shaft and fixed phase separation film originally, and the driving mechanism originally isolated and blocking sheet is fixed, the drive mechanism in the failure off, stop with it off, so that the sensor module can not receive the signal block after re generated the triggering of chemical vapor deposition equipment alarm, and then let the staff to timely treatment, prevent losses and the deterioration of the situation, and the main driving structure and process improvement device structure does not change the sensor module, so no need to change the chemical vapor deposition equipment's software settings.

【技术实现步骤摘要】
主轴驱动装置
本技术涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种主轴驱动装置。
技术介绍
在晶圆的化学气相沉积设备中，其反应室内围绕主轴一共设有6个承载台，通过主轴旋转带动晶圆依次移动到6个承载台上，并在每个承载台上完成1/6厚度的制成。主轴的旋转是通过主轴驱动装置实现的，图1为现有技术中主轴驱动装置的结构示意图，如图1所示，现有的主轴驱动装置一般包括转轴1’、驱动机构(即挡块21’)、挡片3’和传感器模块4’，其中，挡块21’和挡片3’均与转轴1’连接，并随转轴1’一起旋转，挡块21’用于驱动主轴旋转，而挡片3’会经过传感器模块4’以辅助化学气相沉积设备判断晶圆是否已到达正确的承载台。在正常的工作情况下，转轴1’旋转时挡片3’会按一定的顺序经过并遮挡传感器模块4’中的传感器，化学气相沉积设备会通过传感器模块4’来侦测的主轴的旋转位置从而确保晶圆位置的正确。但当挡块21’脱落后，转轴1’旋转时挡块21’便无法带动主轴随之旋转，同时由于挡片3’依然会随着转轴1’旋转而照常转动，因此传感器模块4’侦测到挡片3’的位置是正常的，所以化学气相沉积设备仍会认为主轴已经旋转至下一位置，如此会导致晶圆无法完成后续承载台的沉积工序，同时留在承载台上的晶圆也会一直留在反应室中导致报废。
技术实现思路
本技术提供一种主轴驱动装置，以在主轴的驱动机构失效脱落时，使传感器模块无法检测到信号，触发化学气相沉积设备的警报，从而让工作人员能够及时处理。为了达到上述目的，本技术提供一种主轴驱动装置，其包括转轴、驱动机构、挡片和传感器模块，所述驱动机构与所述转轴连接，并驱动主轴旋转，所述挡片与所述驱动机构连接，所述传感器模块设置于所述挡片的周侧。可选的，所述驱动机构包括挡块，所述挡块通过一连接结构与所述转轴连接，所述挡块驱动所述主轴旋转，所述挡片与所述挡块连接。可选的，所述连接结构包括支撑板，所述支撑板套设于所述转轴上，所述挡块设置于所述支撑板上。可选的，所述挡块为一长条形结构，所述挡块的一端设置于所述支撑板上，所述挡块的另一端与所述挡片连接。可选的，所述转轴的轴线与所述挡片所在的平面之间具有交点。可选的，所述挡片位于所述转轴的一端。可选的，所述挡片具有套孔，所述挡片通过套孔套于所述转轴上，所述套孔的直径大于所述转轴的直径。可选的，所述挡片包括以所述交点为圆心的扇形部分。可选的，所述挡片还包括连接部分，所述连接部分与所述驱动机构连接，所述连接部分远离所述驱动机构与所述挡片的连接点的一侧设有所述扇形部分。可选的，所述转轴的轴线垂直于所述挡片所在的平面。可选的，所述传感器模块包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和第二传感器均设置于所述挡片的扇形部分的周沿所经过的路径上。可选的，所述扇形部分的弧长大于等于沿所述扇形部分的周沿所经过的路径从所述第一传感器到达所述第二传感器的路程。可选的，所述主轴穿设于一转盘中，所述驱动机构通过所述转轴旋转带动所述转盘转动，进而驱动所述主轴旋转。可选的，所述转盘沿所述主轴的周侧等角度设有六个驱动槽，所述驱动机构每旋转一圈均能够嵌入所述驱动槽中，并带动所述转盘转动60°。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：在本技术提供的主轴驱动装置中，挡片与转轴分离，驱动机构与挡片相固定，使驱动机构在失效脱落时，挡片随之一起脱落，这样传感器模块便无法再接收到挡片经过所产生的信号，从而触发化学气相沉积设备的警报，进而让工作人员能够及时处理，阻止损失的产生和事态的恶化，并且，该主轴驱动装置结构的改进没有改变传感器模块的结构及程序，故无需改变化学气相沉积设备自身的软件设置。附图说明下面结合附图对本技术作进一步说明：图1为现有技术中主轴驱动装置的结构示意图；图2为本技术一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构未脱落时的结构示意图；图3为本技术一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构脱落时的结构示意图；图4为本技术一实施例提供的主轴驱动装置在驱动主轴时的俯视图；图5为本技术另一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构未脱落时的结构示意图；图6为本技术另一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构脱落时的结构示意图；图7为本技术另一实施例提供的主轴驱动装置在驱动主轴时的俯视图。在图1至7中，1’、1：转轴；2：驱动机构；21’、21：挡块；22：支撑板；3’、3：挡片；31：扇形部分；32：连接部分；4’、4：传感器模块；41：第一传感器；42：第二传感器；5：主轴；6：转盘；61：驱动槽。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的主轴驱动装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术的核心思想在于，提供一种主轴驱动装置，其通过将挡片与转轴分离，并将驱动机构与挡片相固定，使驱动机构在失效脱落时，挡片随之一起脱落，这样传感器模块便无法再接收到挡片经过所产生的信号，从而触发化学气相沉积设备的警报，进而让工作人员能够及时处理，阻止损失的产生和事态的恶化，并且，该主轴驱动装置结构的改进没有改变传感器模块的结构及程序，故无需改变化学气相沉积设备自身的软件设置。请参考图2至7，图2为本技术一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构未脱落时的结构示意图；图3为本技术一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构脱落时的结构示意图；图4为本技术一实施例提供的主轴驱动装置在驱动主轴时的俯视图；图5为本技术另一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构未脱落时的结构示意图；图6为本技术另一实施例提供的主轴驱动装置在驱动机构脱落时的结构示意图；图7为本技术另一实施例提供的主轴驱动装置在驱动主轴时的俯视图。如图2至4所示，本技术实施例提供一种主轴驱动装置，在本实施例中，其用于晶圆制造工艺的化学气相沉积设备中反应室主轴的旋转驱动，所述主轴驱动装置包括转轴1、驱动机构2、挡片3和传感器模块4，所述驱动机构2与所述转轴1连接，并驱动主轴5旋转，所述挡片3与所述驱动机构2连接，所述传感器模块4设置于所述挡片3的周侧，所述挡片3在旋转时能够经过所述传感器模块4，并给予所述传感器模块4信号，传感器模块4再将信号传输给化学气相沉积设备，以侦测主轴的旋转位置，进而确保与主轴共同旋转的晶圆位于正确的位置上。在本技术实施例提供的主轴驱动装置中，挡片3与转轴1分离，驱动机构2与挡片3相固定，使驱动机构2在失效脱落时，挡片3随之一起脱落，这样传感器模块4便无法再接收到挡片3经过所产生的信号，从而触发化学气相沉积设备的警报，进而让工作人员能够及时处理，阻止损失的产生和事态的恶化，并且，所述传感器模块4为化学气相沉积设备中的原有设备，该主轴驱动装置结构的改进没有改变传感器模块4的结构及程序，故无需改变化学气相沉积设备自身的软件设置。可以想到的是，所述主轴驱动装置还可应用于其他领域中各主轴的旋转驱动，其亦能够解决在主轴的驱动机构失效脱落时，传感器模块依然能够检测到挡片3经过传感器模块4所产生的信号，导致无法触发相关设备的警报的问题，故本技术也意图包含这些不同应用领域的技术方案在内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主轴驱动装置，其特征在于，包括转轴、驱动机构、挡片和传感器模块，所述驱动机构与所述转轴连接，并驱动主轴旋转，所述挡片与所述驱动机构连接，所述传感器模块设置于所述挡片的周侧。

【技术特征摘要】
1.一种主轴驱动装置，其特征在于，包括转轴、驱动机构、挡片和传感器模块，所述驱动机构与所述转轴连接，并驱动主轴旋转，所述挡片与所述驱动机构连接，所述传感器模块设置于所述挡片的周侧。2.根据权利要求1所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述驱动机构包括挡块，所述挡块通过一连接结构与所述转轴连接，所述挡块驱动所述主轴旋转，所述挡片与所述挡块连接。3.根据权利要求2所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述连接结构包括支撑板，所述支撑板套设于所述转轴上，所述挡块设置于所述支撑板上。4.根据权利要求3所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述挡块为一长条形结构，所述挡块的一端设置于所述支撑板上，所述挡块的另一端与所述挡片连接。5.根据权利要求1所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述转轴的轴线与所述挡片所在的平面之间具有交点。6.根据权利要求5所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述挡片位于所述转轴的一端。7.根据权利要求5所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述挡片具有套孔，所述挡片通过套孔套于所述转轴上，所述套孔的直径大于所述转轴的直径。8.根据权利要求5所述的主轴驱动装置，其特征在于，所述挡片包括以所述交点为圆心的扇...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗力铭，封伟博，王昕昕，马立峰，吉成伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12