一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试方法和测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光器测试技术领域，提供了一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试方法和测试装置。测试装置中误码仪的输出端连接射频放大器，射频放大器的输出端在连接可调衰减器后串联到偏置器；偏置器连接射频探针，用于在带真空泵的激光芯片固定台固定好激光器芯片后，与激光器芯片的信号电极接触；光探针与固定在带真空泵的激光芯片固定台上的激光器的出光口耦合，光探针的另一端连接光分路器；光分路器的两路分光输出端口分别连接光功率计和示波器。本发明专利技术采用的外置射频放大器与传统测试里使用的集成到IC中的射频放大器相比，可以重复使用，且增益可调范围更广，可以满足多种不同芯片的测试需求。

A semiconductor laser chip chip level eye testing method and device

The present invention relates to the technical field of laser testing provides a semiconductor laser chip chip level eye testing method and device. Output error detector test device is connected with the RF amplifier, RF amplifier output end connected in series to the adjustable attenuator after bias; bias is connected with RF probe, laser chip used in vacuum pump with fixed fixed laser chip after contact with the signal electrode laser chip; the light outlet of the light coupling the probe and fixed on the laser chip with vacuum pump fixed on the stage of the laser, the other end is connected with the optical splitter optical probe; optical splitter and two light output ports are respectively connected with the optical power meter and oscilloscope. The external RF amplifier adopted by the invention can be reused in comparison with the RF amplifier integrated into IC in the traditional test, and the gain can be adjusted to a wider range, which can meet various test needs of different chips.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试方法和测试装置
本专利技术涉及激光器测试
，特别是涉及一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试方法和测试装置。
技术介绍
光纤通信主要是通过激光器将电信号转换为光信号在光纤中传输，通过探测器将光信号转换为电信号而实现信号的长距离传输。随着现代超大数据信息的扩容，光通信需要越来越高的传输速率以加快数据的处理，因此，光通信需要高速率的激光器。在高速光纤通信系统中，最为常见的传输信号编码是非归零码(Non-ReturntoZero，简写为：NRZ)，脉冲码型发生器产生大量的NRZ码排列成伪随机比特序列(Pseudo-RandomBinarySequence，简写为：PRBS)，被光发送机加载到光上，经过一定距离传输后由光接收机转换回电信号，将该数字信号序列送到数字示波器的Y轴，并以时钟信号作为示波器的外触发，使其与比特周期同步，此时示波器上就会显示出像眼睛一样的图形-眼图，这就是一个典型的大信号眼图测试系统。通常，数字光纤通信系统中的光电子器件都是大信号状态，因此光电子器件的大信号测试的主要目的就是考察器件能否满足通信的需要，大信号测试主要有两本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，包括电源、误码仪、射频放大器、可调衰减器、偏置器、射频探针、激光器芯片、光探针、带真空泵的激光芯片固定台、光分路器、光功率计和示波器，所述电源用于给各设备提供工作电压，具体的：所述误码仪的输出端连接所述射频放大器，所述射频放大器的输出端在连接所述可调衰减器后串联到偏置器；所述偏置器为三端口器件，包括一个直流偏置口，一个射频输入口及一个射频输出口；其中，所述偏置器连接所述射频探针，用于在所述带真空泵的激光芯片固定台固定好激光器芯片后，与所述激光器芯片的信号电极接触；所述光探针与固定在所述带真空泵的激光芯片固定台上的激光器的出光口耦合，所述光探...

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，包括电源、误码仪、射频放大器、可调衰减器、偏置器、射频探针、激光器芯片、光探针、带真空泵的激光芯片固定台、光分路器、光功率计和示波器，所述电源用于给各设备提供工作电压，具体的：所述误码仪的输出端连接所述射频放大器，所述射频放大器的输出端在连接所述可调衰减器后串联到偏置器；所述偏置器为三端口器件，包括一个直流偏置口，一个射频输入口及一个射频输出口；其中，所述偏置器连接所述射频探针，用于在所述带真空泵的激光芯片固定台固定好激光器芯片后，与所述激光器芯片的信号电极接触；所述光探针与固定在所述带真空泵的激光芯片固定台上的激光器的出光口耦合，所述光探针的另一端连接所述光分路器；所述光分路器的两路分光输出端口分别连接所述光功率计和示波器。2.根据权利要求1所述的半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，连接上述各单元器件的为高速射频线缆，带宽为50GHz；其中偏置器的带宽为50GHz；射频放大器带宽32GHz，可调电衰减器带宽32GHz，误码仪和示波器支持32Gb/s速率。3.根据权利要求1或2所述的半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，所述偏置器用于实现射频信号与直流信号混频的功能，并将其通过输出端口输出给激光器芯片；偏置器的直流输入口连接直流源，所述直流源为激光器芯片提供直流偏置；经过射频放大器和可调衰减器的信号通道连接到偏置器的射频输入口；其中，偏置器的信号输出口输出的信号是激光器工作所需要的直流偏置信号以及射频信号的混频信号。4.根据权利要求1或2所述的半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，可调衰减器通过对衰减器外加电压信号的调整，实现不同的衰减幅度，具体为：对来自射频放大器输出的信号进行线性衰减，从而使得从可调衰减器输出信号的消光比满足预设要求。5.根据权利要求1或2所述的半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，在激光器芯片的特征电阻为10Ω，并且射频探针的特征阻抗为50Ω时，则所述装置还包括过渡块，所述过渡块的传输阻抗为40Ω，具体的：所述激光器芯片贴合在过渡块上的指定位置，并且，所述过渡块被真空泵吸附而固定在激光芯片固定台上；所述过渡块的金属表面与激光器芯片的N极电器导通；射频探针分别接触激光器芯片的P型电极与过渡块上的指定位置，实现阻抗匹配以及对激光器芯片信号的输入。6.根据权利要求1或2所述的半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，所述射频放大器具体采用TEKTRONIX的PSPL5882&PSPL5865；所述可调电衰减器具体...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟行，岳爱文，刘应军，胡艳，李晶，曾笔鉴，
申请(专利权)人：武汉电信器件有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42