一种硅片快速风干槽制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片工艺设备技术领域，尤其为一种硅片快速风干槽，包括槽体及鼓风机，槽体内部装有多个加热器和多个风干装置，加热器和风干装置相互间隔布置，每个加热器包含多个串联的加热电阻丝，风干装置包括进风腔及与进风腔相连的吹风口，进风腔的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管，气管与多通接头的出风口连接，多通接头与气源鼓风机连接。风干槽内多个加热器和多个风干装置，鼓风机打开后，气流经过多通接头分流，进入风干装置；多个加热器加热，提高风干槽内的温度，提高蒸发速度；多个风干装置布置在风干槽不同的方向，多个方向对硅片给风，加速硅片的风干。

Quick drying air trough for silicon wafer

The utility model relates to the technical field of silicon wafer processing equipment, in particular to a silicon chip rapid drying tank, including a tank body and a blower, the groove body is provided with a plurality of heater and a drying device, the heater and air drying device are set in interval, each heater comprises a plurality of series of heating resistance wire, air drying device comprises an air chamber and inlet the wind blowing port connected to the cavity, one end into the air cavity seal, the other end is provided with an air inlet, the air inlet sleeve trachea, trachea and multi joint is connected with an outlet of the air blower, through joint and connection. Dry the plurality of heater grooves and multiple air drying device, the blower is opened, the air after multiple pass diversion, into the air drying device; a plurality of heater, air dried to improve the temperature inside the tank, improve the evaporation rate; a drying device is arranged in the air tank in different directions, multiple directions to the wind on the silicon wafer, dried accelerate the wafer.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片快速风干槽
本技术涉及硅片工艺设备
，具体为一种硅片快速风干槽。
技术介绍
太阳能能源已经成为新能源的热点及重点领域，太阳能作为清洁、环保的可再生能源，改变着人类能源结构方式。随着太阳能的广泛应用，太阳能硅片开始批量生产，对硅片生产每道工序的效率与质量的要求越来越高，硅片清洗后的风干效率与风干质量直接影响下一道工序。提高风干的生产效率与生产质量非常有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片快速风干槽，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。所述硅片快速风干槽多个方向同时对硅片给风，加速硅片的风干特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片快速风干槽，包括槽体及鼓风机，所述槽体内部装有多个加热器和多个风干装置，所述加热器和风干装置相互间隔延槽体圆周方向分部，每个所述加热器包含多个串联的加热电阻丝，所述风干装置包括进风腔及与进风腔相连的吹风口，所述进风腔的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管，所述气管与多通接头的出风口连接，所述多通接头与气源鼓风机连接。优选的，所述加热器之间并联连接，通过接头A和接头B与外接电源相连。优选的，所述多通接头包括出风口、第一进风口及接头腔体，所述接头腔体两端密封，一侧设有第一进风口，另一侧设有多个出风口。优选的，所述第一进风口通过气管连接鼓风机。与现有技术相比，本技术的有益效果是：风干槽四周设有多个加热器和多个风干装置，鼓风机打开后，气流经过多通接头分流，进入风干装置；多个加热器加热，提高风干槽内的温度，提高蒸发速度；多个风干装置布置在风干槽不同的方向，多个方向同时对硅片给风，加速硅片的风干。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术A-A部分示意图；图3为本技术多通接头示意图；图4为本技术I处放大示意图；图5为本技术加热器电源连接示意图。图中：1槽体、2加热器、21接头A、22接头B、3风干装置、31吹风口、32进风腔、4气管、5多通接头、51出风口、52第一进风口、53接头腔体、6鼓风机、7传送装置。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种硅片快速风干槽，包括槽体1及鼓风机6，槽体1内部装有四个加热器2和四个风干装置3，加热器2和风干装置3相互间隔延槽体1圆周方向分部，每个加热器2包含多个串联的加热电阻丝，加热器2之间并联连接，通过接头A21和接头B22与外接电源相连，为交流电源，通过开关控制通与断；风干装置3包括进风腔32及与进风腔32相连的吹风口31，进风腔32的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管4，气管4与多通接头5的出风口51连接，多通接头5与气源鼓风机6连接。多通接头5包括出风口51、第一进风口52及接头腔体53，接头腔体53两端密封，一侧设有第一进风口52，另一侧设有四个出风口51，第一进风口52通过气管4连接鼓风机6。太阳能硅片通过传送装置7进入风干槽，加热器2开始加热，提高风干槽内部的温度；打开接电源的鼓风机6，气流经过多通接头5的分流后，经过气管4进入进风腔32，通过吹风口31给风；风干槽内四个方位设有风干装置3，对硅片从四个方向进行吹风，通过加热器2的加热及风干装置3的多角度给风，达到快速风干的目的。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片快速风干槽，包括槽体(1)及鼓风机(6)，其特征在于：所述槽体(1)内部装有多个加热器(2)和多个风干装置(3)，所述加热器(2)和风干装置(3)相互间隔延槽体(1)圆周方向分部，每个所述加热器(2)包含多个串联的加热电阻丝，所述风干装置(3)包括进风腔(32)及与进风腔(32)相连的吹风口(31)，所述进风腔(32)的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管(4)，所述气管(4)与多通接头(5)的出风口(51)连接，所述多通接头(5)与气源鼓风机(6)连接。

【技术特征摘要】
1.一种硅片快速风干槽，包括槽体(1)及鼓风机(6)，其特征在于：所述槽体(1)内部装有多个加热器(2)和多个风干装置(3)，所述加热器(2)和风干装置(3)相互间隔延槽体(1)圆周方向分部，每个所述加热器(2)包含多个串联的加热电阻丝，所述风干装置(3)包括进风腔(32)及与进风腔(32)相连的吹风口(31)，所述进风腔(32)的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管(4)，所述气管(4)与多通接头(5)的出风口(51)连接，所述多通接头(5)与气源鼓风机(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊旻，常青，扈静，闫涛，李家栋，
申请(专利权)人：通威太阳能合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34