一种平面式蒸发源以及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示技术领域，公开一种平面式蒸发源以及蒸镀装置，平面式蒸发源包括基座、加热模块以及均热平坦层，加热模块固定设置在基座上；均热平坦层设置在加热模块上，且均热平坦层背离加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，均热平坦层用于在加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽，热量在传导至均热平坦层后进行均热，使得整个平面的温度具有较好的均一性，保证平面式蒸发源能均匀的将上方的有机薄膜垂直蒸发出去，而由于有机材料薄膜承载面与待蒸镀的玻璃基板相平行，保证了在玻璃基板上形成的蒸镀薄膜厚度均一，可以减小蒸镀的阴影距离，有利于提高分辨率。

A flat type evaporation source and evaporation device

The present invention relates to a display technology field, discloses a plane evaporation source and deposition apparatus, plane evaporation source comprises a base, heating module and heat flat layer heating module is fixedly arranged on the base; both flat layer is arranged on the heating module, and flat layer heating module is formed on the other side for departure organic material film bearing organic material film bearing surface, thermal flat layer is used to make organic materials in thin film heating module when heated to form a uniform heating evaporation direction perpendicular to the organic material film bearing surface of the organic material vapor, heat in the heat conduction to the flat layer after heat, the surface temperature good uniformity the plane evaporation source can ensure uniform vertical evaporation of organic thin film is out, and because the organic material film bearing surface of the evaporation The glass substrate is parallel, ensuring the uniform thickness of evaporated film formed on the glass substrate, reducing the shadow distance of the evaporation, and improving the resolution.

【技术实现步骤摘要】
一种平面式蒸发源以及蒸镀装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种平面式蒸发源以及蒸镀装置。
技术介绍
随着显示技术的进步，电子显示产品的屏幕越来越向着高分辨率发展，尤其是VR(虚拟现实)设备、AR(增强现实)设备，对高PPI(每英寸的像素数目)显示屏幕的需求尤为强烈，而OLED(有机发光二极管)显示技术以其自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点，被认为是下一代的显示技术，故具有高PPI的OLED显示装置具有较好的市场前景。目前，对于OLED显示装置，有机发光材料通过真空蒸镀的方法在玻璃基板上成膜，对于全彩色的OLED显示器件(RGBOLED)，发光层材料的蒸镀需要使用到FMM(FineMetalMask高精度金属掩模板)，如图1所示，现有蒸镀工艺中，蒸发源03通过加热等手段使有机材料蒸发，形成有机材料蒸汽04，经过设有特定镂空图案的掩膜板02的遮蔽，在玻璃基板01上形成有机薄膜05。由于有机材料经过加热后从蒸发源03的喷嘴中蒸发出来，使得形成的有机材料蒸汽04是有一定的角度的；再加上掩膜板02的工艺所限，其镂空位置并不能够完全紧贴玻璃基板01，这就导致本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面式蒸发源，其特征在于，包括基座、加热模块以及均热平坦层，其中：所述加热模块固定设置在所述基座上；所述均热平坦层设置在所述加热模块上，且所述均热平坦层背离所述加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，所述均热平坦层用于在所述加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于所述有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽。

【技术特征摘要】
1.一种平面式蒸发源，其特征在于，包括基座、加热模块以及均热平坦层，其中：所述加热模块固定设置在所述基座上；所述均热平坦层设置在所述加热模块上，且所述均热平坦层背离所述加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，所述均热平坦层用于在所述加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于所述有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽。2.根据权利要求1所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热模块包括至少一个加热单元，所述加热单元采用基于正方形分形的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。3.根据权利要求2所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热模块与所述均热平坦层相接触的表面为正方形平面，每一个所述加热单元采用至少三阶的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。4.根据权利要求3所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热单元采用四阶或五阶或六阶的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。5.根据权利要求2所述的平面式蒸发源...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚固，王玉，曾苏伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11