双排式高效线性蒸发源制造技术

本实用新型专利技术属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种双排式高效线性蒸发源。其包括坩埚，所述坩埚的蒸发口处设置有蒸发过渡管，所述蒸发过渡管的进口与所述坩埚连接导通，所述蒸发过渡管设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管，两个所述蒸发分配管上分别沿管体方向设置有一排喷嘴。本实用新型专利技术在蒸镀过程中，经过两排喷嘴可实现一个坩埚同时进行两批次基板的蒸镀作业，大大提高了设备的生产能力及材料的利用率。

Double row high efficiency linear evaporation source

The utility model belongs to the field of OLED display device preparation technology, in particular relates to a double row type high-efficiency linear evaporation source. It includes the crucible crucible, the evaporation outlet is arranged at the evaporation transition tube, the inlet pipe and the evaporation transition of the crucible is conducted, the evaporation transition pipe is provided with two outlets and two outlets which are respectively connected with the evaporation side extending outward two distribution pipe, the distribution of evaporation tube along the tube direction is provided with a row of nozzles. In the process of evaporation, the two batch of nozzles can realize a pot to carry out the evaporation operation of two batches of substrates simultaneously, which greatly improves the production capacity of the equipment and the utilization ratio of the material.

【技术实现步骤摘要】
双排式高效线性蒸发源
本技术属于OLED显示器件制备
，具体涉及一种OLED显示器件蒸镀工艺中所需的双排式高效线性蒸发源。
技术介绍
有机发光二极管显示器(OrganicLightEmittingDiode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示
中第三代显示器件的主力军。OLED显示器件包括：基板，形成于基板上的OLED器件及与基板贴合设置的封装盖板，所述OLED器件包括形成于基板上的阳极、形成于阳极上的有机功能层以及形成于有机功能层上的阴极，阳极与阴极激发有机功能层以实现显示。其中，OLED器件的有机功能层一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(HoleTransportLayer，HTL)、发光功能层(EmissiveLayer，EML)、电子传输功能层(ElectronTransportLayer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层和电子传输功能层。目前，制备OLED显示器件主流的方式是真空加热镀膜，即在蒸镀机内通过加热使OLED材料蒸镀到基板上，目前线源蒸镀机所用的蒸镀坩埚一次性只能通过一批次的基板，在大型生厂线生产的过程中，不利于产能的提升及材料的利用。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种能够实现多批次同时蒸镀、利于提升产能和材料利用率的双排式高效线性蒸发源。为实现上述技术目的，本技术采用以下的技术方案：双排式高效线性蒸发源，包括坩埚，所述坩埚的蒸发口处设置有蒸发过渡管，所述蒸发过渡管的进口与所述坩埚连接导通，所述蒸发过渡管设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管，两个所述蒸发分配管上分别沿管体方向设置有一排喷嘴。作为优选，两个所述蒸发分配管对称设置于所述坩埚的两侧。作为优选，同一排所述喷嘴中相邻两个喷嘴之间的距离相等。由于采用上述技术方案，本技术具有至少以下有益效果：蒸镀材料通过过渡后再分配，这样在蒸镀的过程中，由坩埚受热材料变成的气体分子，由过渡管导入到两边的分配管，经过两排喷嘴可实现一个坩埚同时进行两批次基板的蒸镀作业，大大提高了设备的生产能力及材料的利用率。附图说明以下附图仅旨在于对本技术做示意性说明和解释，并不限定本技术的范围。其中：图1是本技术实施例的主视结构示意图；图2是蒸发分配管及喷嘴的主视结构示意图；图3是蒸发分配管及喷嘴的侧视结构示意图。图中：1-坩埚；2-蒸发过渡管；3-蒸发分配管；4-喷嘴；5-气体分子；6-蒸镀基板。具体实施方式下面结合附图和实施例，进一步阐述本技术。在下面的详细描述中，只通过说明的方式描述了本技术的某些示范性实施例。毋庸置疑，本领域的普通技术人员可以认识到，在不偏离本技术的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，附图和描述在本质上是说明性的，而不是用于限制权利要求的保护范围。如图1至图3所示，双排式高效线性蒸发源，包括坩埚1，所述坩埚1的蒸发口处设置有蒸发过渡管2，蒸发过渡管2采用三通结构，所述蒸发过渡管2的进口与所述坩埚1连接导通，所述蒸发过渡管2设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管3，两个所述蒸发分配管3上分别沿管体方向设置有一排喷嘴4。为保证蒸镀过程中两侧基板受镀均匀，两个所述蒸发分配管3最好对称设置于所述坩埚1的两侧，且同一排所述喷嘴4中相邻两个喷嘴之间的距离相等。参考图1，蒸镀过程如下：蒸镀材料放置在坩埚1内，加热之后，坩埚1受热，蒸镀材料受热变成气体分子5，由蒸发过渡管2(D-Tube)传输到蒸发分配管3(T-Tube)，再由蒸发分配管3继续输送至喷嘴4(Nozzle)处，经过喷嘴4喷到通过的蒸镀基板6上沉积成薄膜，这种坩埚两排的喷嘴设计，可以使原本一次可以通过一批次基板变成一次通过两批次的基板，大大提高了产能及材料的利用率。以上所述仅为本技术示意性的具体实施方式，并非用以限定本技术的范围。任何本领域内的技术人员，在不脱离本技术的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本技术保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
双排式高效线性蒸发源，包括坩埚(1)，其特征在于：所述坩埚(1)的蒸发口处设置有蒸发过渡管(2)；所述蒸发过渡管(2)的进口与所述坩埚(1)连接导通，所述蒸发过渡管(2)设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管(3)；两个所述蒸发分配管(3)上分别沿管体方向设置有一排喷嘴(4)。

【技术特征摘要】
1.双排式高效线性蒸发源，包括坩埚(1)，其特征在于：所述坩埚(1)的蒸发口处设置有蒸发过渡管(2)；所述蒸发过渡管(2)的进口与所述坩埚(1)连接导通，所述蒸发过渡管(2)设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管(3)；两个所述蒸发分配管(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李本龙，
申请(专利权)人：南京高光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32