线性蒸发源堵口疏通装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种线性蒸发源堵口疏通装置。其包括若干设置于蒸镀腔室内且与线性蒸发源的喷嘴相对应设置的气流支管，每根所述气流支管上分别设置有分控制阀；所述线性蒸发源的喷嘴处分别设置有压强感应器；所述气流支管连接有供气总管，所述供气总管伸出至所述蒸镀腔室外部且连接高压气源，所述供气总管上设置有总控制阀。本实用新型专利技术能够及时察觉并解决生产过程中的喷嘴堵口问题，大大节约了处理问题的时间，提高了生产效率。

Dredging device with linear evaporation source for plugging

The utility model belongs to the field of OLED display device preparation technology, in particular relates to a linear evaporation source plugging mouth dredging device. It includes a nozzle arranged in several evaporation chamber and linear evaporation source corresponding to the air branch pipes are arranged, each of the air pipe are respectively provided with a control valve; the steam nozzle linear source are respectively provided with a pressure sensor; the air branch connects with the air duct, the air supply the evaporation duct is extended to the chamber and connected with a high pressure source, the air supply duct is arranged on the main control valve. The utility model can timely detect and solve the problem of nozzle plugging in the production process, greatly saves the time for solving the problem and improves the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
线性蒸发源堵口疏通装置
本技术属于OLED显示器件制备
，具体涉及一种OLED显示器件蒸镀工艺中所需的线性蒸发源堵口疏通装置。
技术介绍
有机发光二极管显示器(OrganicLightEmittingDiode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示
中第三代显示器件的主力军。OLED显示器件包括：基板，形成于基板上的OLED器件及与基板贴合设置的封装盖板，所述OLED器件包括形成于基板上的阳极、形成于阳极上的有机功能层以及形成于有机功能层上的阴极，阳极与阴极激发有机功能层以实现显示。其中，OLED器件的有机功能层一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(HoleTransportLayer，HTL)、发光功能层(EmissiveLayer，EML)、电子传输功能层(ElectronTransportLayer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层和电子传输功能层。目前，制备OLED显示器件主流的方式是真空加热镀膜，即在蒸镀机内通过加热使OLED材料蒸镀到基板上，目前线源蒸镀机相对于点源蒸镀机具有生产效率高，材料利用率高，成膜均匀性高等优点，但存在喷嘴的Clogging即堵口现象，不利于成膜均匀性的提高。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种能够及时察觉并解决生产过程中的喷嘴堵口问题、利于提高生产效率的线性蒸发源堵口疏通装置。为实现上述技术目的，本技术采用以下的技术方案：线性蒸发源堵口疏通装置，包括若干设置于蒸镀腔室内且与线性蒸发源的喷嘴相对应设置的气流支管，每根所述气流支管上分别设置有分控制阀；所述线性蒸发源的喷嘴处分别设置有压强感应器；所述气流支管连接有供气总管，所述供气总管伸出至所述蒸镀腔室外部且连接高压气源，所述供气总管上设置有总控制阀。作为优选，所述线性蒸发源包括设置于所述蒸镀腔室内的坩埚，所述坩埚的蒸发口处设置有蒸发过渡管，所述蒸发过渡管连接有与所述气流支管相平行设置的蒸发分配管，所述蒸发分配管上沿管体方向设置有一排用于喷出蒸镀材料的喷嘴。作为优选，所述喷嘴的上方设置有挡板，所述气流支管设置于所述挡板上。由于采用上述技术方案，本技术具有至少以下有益效果：当喷嘴发生堵口现象时，通过压强感应器感应到堵口的发生，进而进行挡板(CellShutter)闭合的动作，待各气流支管与喷嘴对应之后，开启总控制阀与对应发生堵口现象喷嘴的分控制阀，冲入高压缩氮气，利用高压缩氮气的冲击力使得发生堵口的喷嘴堵塞被冲破，进而可以继续生产而不用进行开腔，冲入氮气之后会造成压强变高，但是由于冲入的是微量惰性气体氮气，冲完之后在真空泵的稍微抽气之后蒸镀环境便可以复原，大大节约了处理问题的时间，提高了生产效率。附图说明以下附图仅旨在于对本技术做示意性说明和解释，并不限定本技术的范围。其中：图1是本技术实施例的结构示意图。图中：1-蒸镀腔室；2-线性蒸发源；21-喷嘴；22-坩埚；23-蒸发过渡管；24-蒸发分配管；3-气流支管；4-分控制阀；5-压强感应器；6-供气总管；7-高压气源；8-总控制阀；9-挡板；10-基板。具体实施方式下面结合附图和实施例，进一步阐述本技术。在下面的详细描述中，只通过说明的方式描述了本技术的某些示范性实施例。毋庸置疑，本领域的普通技术人员可以认识到，在不偏离本技术的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，附图和描述在本质上是说明性的，而不是用于限制权利要求的保护范围。如图1所示，线性蒸发源堵口疏通装置，包括若干设置于蒸镀腔室1内且与线性蒸发源2的喷嘴21相对应设置的气流支管3，每根所述气流支管3上分别设置有分控制阀4；所述线性蒸发源2的喷嘴21处分别设置有压强感应器5；所述喷嘴21的上方设置有挡板9，所述气流支管3设置于所述挡板9上，挡板9的上方布置需要蒸镀的基板10。所述气流支管3连接有供气总管6，所述供气总管6伸出至所述蒸镀腔室1外部且连接高压气源7，高压气源7最好采用惰性气体氮气，所述供气总管6上设置有总控制阀8。其中，所述线性蒸发源2包括设置于所述蒸镀腔室1内的坩埚22，所述坩埚22的蒸发口处设置有蒸发过渡管23，所述蒸发过渡管23连接有与所述气流支管3相平行设置的蒸发分配管24，所述蒸发分配管24上沿管体方向设置有一排用于喷出蒸镀材料的喷嘴21。参考图1，当生产过程中某个喷嘴21处发生堵口现象，则安装在此堵口处的压强感应器5会感受到堵口内外压强差，进而发出警告信号，生产技术人员收集到信号，可以先暂停生产，进行关闭挡板(CellShutter)9的动作，然后打开总控制阀8与与堵口对应的分控制阀4，高压缩氮气就会通过气流支管充入对应的堵口氮气出口处，进而对发生堵塞的喷嘴21进行疏通，待安装在此喷嘴21处的压强感应器5报警信号消失后，再短时间的让真空泵进行腔体的抽气，待恢复到可以进行蒸镀的工作环境后，打开CellShutter继续进行生产，大大节约了处理问题的时间，提高了生产效率。以上所述仅为本技术示意性的具体实施方式，并非用以限定本技术的范围。任何本领域内的技术人员，在不脱离本技术的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本技术保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于：包括若干设置于蒸镀腔室(1)内且与线性蒸发源(2)的喷嘴(21)相对应设置的气流支管(3)，每根所述气流支管(3)上分别设置有分控制阀(4)；所述线性蒸发源(2)的喷嘴(21)处分别设置有压强感应器(5)；所述气流支管(3)连接有供气总管(6)，所述供气总管(6)伸出至所述蒸镀腔室(1)外部且连接高压气源(7)，所述供气总管(6)上设置有总控制阀(8)。

【技术特征摘要】
1.线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于：包括若干设置于蒸镀腔室(1)内且与线性蒸发源(2)的喷嘴(21)相对应设置的气流支管(3)，每根所述气流支管(3)上分别设置有分控制阀(4)；所述线性蒸发源(2)的喷嘴(21)处分别设置有压强感应器(5)；所述气流支管(3)连接有供气总管(6)，所述供气总管(6)伸出至所述蒸镀腔室(1)外部且连接高压气源(7)，所述供气总管(6)上设置有总控制阀(8)。2.如权利要求1所述的线性蒸发源堵口疏通...

【专利技术属性】
技术研发人员：李本龙，
申请(专利权)人：南京高光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32