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本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种线性蒸发源堵口疏通装置。其包括若干设置于蒸镀腔室内且与线性蒸发源的喷嘴相对应设置的气流支管，每根所述气流支管上分别设置有分控制阀；所述线性蒸发源的喷嘴处分别设置有压强感应器；所述气流支...
该专利属于南京高光半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高光半导体材料有限公司授权不得商用。

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