The utility model discloses a horizontal single vacuum evaporation equipment, including a main frame and a sliding cage, the main frame is installed above the roots pump, and the main frame through the suction pipe groove and V vacuum chamber connected to the vacuum chamber V slot is fixed in the clamping rotary frame, chassis is installed below the V tank vacuum chamber, the frame is provided with a coating material container, and the bottom membrane membrane material container is provided with a heater, wherein the main machine frame are arranged at the left side of the vice frame, and side frame are respectively arranged below a winding chamber and a coating chamber, which is connected with a side frame through the exhaust pipe and the vacuum chamber and vacuum. Room is installed on the vacuum unit, the sliding cage is arranged below the shift car, the sliding cage middle is fixed with a sliding hollow sleeve and the sliding sleeve is provided with a hollow rotating platform. The vacuum chamber of the utility model is improved to be designed as an integral type of V trough under the unusual shape, so as to facilitate the arrangement of multiple groups of evaporation sources and the addition of the film material, so as to meet the requirement of the coating function.
【技术实现步骤摘要】
一种卧式单门真空蒸发镀膜设备
本技术涉及镀膜设备
,具体为一种卧式单门真空蒸发镀膜设备。
技术介绍
真空蒸发镀膜技术是PVD(物理气相沉积)技术中发展最早,应用领域很广的镀膜技术。其工作原理是将膜材置于真空镀膜设备的蒸发源(用来加热膜材使之气化蒸发的装置)中,在高真空条件下通过蒸发源加热膜材使之蒸发形成蒸气,蒸气到达被镀的基材表面后由于基材温度较低,蒸气便凝结在基材表面形成薄膜。目前广泛应用的是箱式蒸发镀膜机,这种箱式蒸发镀膜机主要采用电阻加热蒸发源和电子束加热蒸发源(由电子枪和坩埚组成)两种蒸发源。这种镀膜机主要包括真空室、抽气系统、蒸发源、膜厚测量系统、离子源、加热器等。传统的真空蒸发镀膜设备的真空室极其不方便多组蒸发源布置和膜料添加,不能满足镀膜功能需要,同时增加了室内抽空负载,影响了作业效率,因此市场急需一种新型的卧式单门真空蒸发镀膜设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种卧式单门真空蒸发镀膜设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种卧式单门真空蒸发镀膜设备,包括主机架和滑动笼架,所述主机架上方安装有罗茨泵,且主机架通过抽气管与V槽真空腔体相连接,所述V槽真空腔体内固定有夹转架,且夹转架通过转动支架与壳体固定相连,所述V槽真空腔体下方安装有底架,所述底架上设置有膜材容器,且膜材容器底部设有膜材加热器,所述主机架左侧设置有副机架,且副机架下方分别设置有卷绕室和镀膜室,所述副机架通过排气管道与真空室相连接,且真空室上安装有真空机组,所述滑动笼架下方设有平移小车,所述滑动笼架正中间固定有滑动空心轴套,且滑动 ...
【技术保护点】
一种卧式单门真空蒸发镀膜设备,包括主机架(2)和滑动笼架(21),其特征在于:所述主机架(2)上方安装有罗茨泵(3),且主机架(2)通过抽气管(5)与V槽真空腔体(6)相连接,所述V槽真空腔体(6)内固定有夹转架(7),且夹转架(7)通过转动支架(16)与壳体(14)固定相连,所述V槽真空腔体(6)下方安装有底架(17),所述底架(17)上设置有膜材容器(18),且膜材容器(18)底部设有膜材加热器(13),所述主机架(2)左侧设置有副机架(1),且副机架(1)下方分别设置有卷绕室(8)和镀膜室(9),所述副机架(1)通过排气管道(10)与真空室(11)相连接,且真空室(11)上安装有真空机组(12),所述滑动笼架(21)下方设有平移小车(20),所述滑动笼架(21)正中间固定有滑动空心轴套(19),且滑动空心轴套(19)上设有转动平台(22)。
【技术特征摘要】
1.一种卧式单门真空蒸发镀膜设备,包括主机架(2)和滑动笼架(21),其特征在于:所述主机架(2)上方安装有罗茨泵(3),且主机架(2)通过抽气管(5)与V槽真空腔体(6)相连接,所述V槽真空腔体(6)内固定有夹转架(7),且夹转架(7)通过转动支架(16)与壳体(14)固定相连,所述V槽真空腔体(6)下方安装有底架(17),所述底架(17)上设置有膜材容器(18),且膜材容器(18)底部设有膜材加热器(13),所述主机架(2)左侧设置有副机架(1),且副机架(1)下方分别设置有卷绕室(8)和镀膜室(9),所述副机架(1)通过排气管道(10)与真空室(11)相连接,且真空室(11)上安装有真空机组(12),所述滑动笼架(21)下方设有平移小车(20),所述滑动笼架(21)正中间固定有滑动空心...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯永才,
申请(专利权)人:肇庆恒丰真空科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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