卧式光学镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体和变电箱,所述圆筒型真空腔体与椭圆型封头大门之间通过铰链活动连接，且圆筒型真空腔体内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源和精密电子枪蒸发器，所述圆筒型真空腔体上端与圆管密封连接，所述器体顶端上的圆管的上端安装有高真空阀门，且圆管的另一端通过导管与粗抽泵的出口密封连接，粗抽泵的进口与罗茨泵密封连接，所述变电箱的顶端安装有润滑泵，所述变电箱通过导线分别与控制柜和电源电柜电性连接，且导线设置在排线管中。本实用新型专利技术在装置的内部设置有精密电子枪蒸发器和高效膜层沉积辅助离化源，使得精密电子枪蒸发器有足够蒸发距离，这样使膜层组织致密质量高。

Horizontal optical coating equipment

The utility model discloses a horizontal optical coating device, comprising a cylinder type vacuum cavity and the electrical box, between the cylindrical vacuum chamber and ellipse head gate are movably connected through a hinge, and mounting rack cylinder type vacuum cavity is provided with efficient film deposition assisted ionization source and electronic gun evaporator, the cylinder the upper end is connected with the vacuum chamber type pipe sealing tube, the upper top of the machine body on the installation of high vacuum valve, and the other end of the tube round sealing connection through the conduit and the roughing pump outlet, roughing pump inlet and roots pump sealing connection, top of the electrical box is installed lubrication pump, the electrical box is respectively connected with the control cabinet and power supply cabinet electrically connected by wires, wire and cable is arranged in the tube. The inner part of the device is provided with a precise electron gun evaporator and an efficient film deposition auxiliary ionization source, so that the evaporator of the precision electron gun has enough evaporation distance, so that the film layer is compact and the quality is high.

【技术实现步骤摘要】
卧式光学镀膜设备
本技术涉及镀膜设备
，具体为卧式光学镀膜设备。
技术介绍
随着改革开放以来我国经济和科技的快速发展，我国的机械水平有了显著的提高，特别是在镀膜设备方面，我国的镀膜设备相对改革开放以前有了明显的改善，为我国产品的加工提供了巨大的帮助，由于近些年来对产品生产加工的要求有了提高，因此，需要对传统的设备进行改进，如今的设备在镀膜的时会出现镀膜层不均匀，装置的稳定性也差，导致生产的产品容易出现各种质量问题，已经不能满足如今生产设备的要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供卧式光学镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，所具有的有益效果是：设备在装置的内部设置有精密电子枪蒸发器和高效膜层沉积辅助离化源，使得精密电子枪蒸发器有足够蒸发距离，这样使膜层组织致密质量高，工件膜层均匀性好，提高装置生产产品的性能。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体和变电箱,所述圆筒型真空腔体与椭圆型封头大门之间通过铰链活动连接，且圆筒型真空腔体内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源和精密电子枪蒸发器，所述圆筒型真空腔体上端与圆管密封连接，且圆管上的法兰与安装在器体顶端圆管上的法兰通过螺栓固定连接，所述器体顶端上的圆管的上端安装有高真空阀门，且圆管的另一端通过导管与粗抽泵的出口密封连接，粗抽泵的进口与罗茨泵密封连接，所述变电箱的顶端安装有润滑泵，且润滑泵的进口和出口分别与维持泵和罗茨泵，所述变电箱通过导线分别与控制柜和电源电柜电性连接，且导线设置在排线管中。优选的，所述圆筒型真空腔体的底端安装有底座。优选的，所述润滑泵与圆管密封连接的导管上安装有前置阀。优选的，所述圆筒型真空腔体的内部安装有钼舟电阻热熔，且钼舟电阻热熔设置在安装架的内侧。优选的，所述圆筒型真空腔体相对椭圆型封头大门的一端安装有坩埚旋转位器。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该设备在装置的内部设置有精密电子枪蒸发器和高效膜层沉积辅助离化源，使得精密电子枪蒸发器有足够蒸发距离，这样使膜层组织致密质量高，工件膜层均匀性好，提高装置生产产品的性能，在装置的内部设置有旋转工件治具，可实现装置内部的产品自行旋转，确保镀膜范围广，使得产品的表面被完全覆盖，本装置设计合理，工件膜层均匀性好，稳定性高，可镀多种色彩，具有提高产品档次和美化产品外观的作用。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的俯视图；图3为本技术A处的局部示意图；图4为本技术B处的局部示意图；图5为本技术C处的局部示意图。图中：1-器体；2-坩埚旋转位器；3-高效膜层沉积辅助离化源；4-精密电子枪蒸发器；5-椭圆型封头大门；6-圆筒型真空腔体；7-底座；8-圆管；9-法兰；10-高真空阀门；11-粗抽泵；12-排线管；13-罗茨泵；14-导管；15-润滑泵；16-变电箱；17-铰链；18-钼舟电阻热熔；19-控制柜；20-电源电柜；21-前置阀；22-维持泵。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供的一种实施例：卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体6和变电箱16,圆筒型真空腔体6与椭圆型封头大门5之间通过铰链17活动连接，且圆筒型真空腔体6内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源3和精密电子枪蒸发器4，圆筒型真空腔体6上端与圆管8密封连接，且圆管8上的法兰9与安装在器体1顶端圆管8上的法兰9通过螺栓固定连接，器体1顶端上的圆管8的上端安装有高真空阀门10，且圆管8的另一端通过导管14与粗抽泵11的出口密封连接，粗抽泵11的进口与罗茨泵13密封连接，变电箱16的顶端安装有润滑泵15，且润滑泵15的进口和出口分别与维持泵22和罗茨泵13，变电箱16通过导线分别与控制柜19和电源电柜20电性连接，且导线设置在排线管12中，圆筒型真空腔体6的底端安装有底座7，润滑泵15与圆管8密封连接的导管14上安装有前置阀21，圆筒型真空腔体6的内部安装有钼舟电阻热熔18，且钼舟电阻热熔18设置在安装架的内侧，圆筒型真空腔体6相对椭圆型封头大门5的一端安装有坩埚旋转位器2。工作原理：使用时将椭圆型封口大门5打开，将需要镀膜的产品放置在工作架上，然后关闭椭圆型封口5大门，通过控制柜19和电源电柜20控制粗抽泵11、罗茨泵13、润滑泵15和维持泵22工作，产品在精密电子枪蒸发器4和高效膜层沉积辅助离化源3的作用下完成镀膜，同时圆筒型真空腔体6内的钼舟电热熔18也辅助工作，在旋转工件治具和坩埚旋转转位器2的作用下将产品表面均匀的镀膜。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体（6）和变电箱（16）,其特征在于：所述圆筒型真空腔体（6）与椭圆型封头大门（5）之间通过铰链（17）活动连接，且圆筒型真空腔体（6）内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源（3）和精密电子枪蒸发器（4），所述圆筒型真空腔体（6）上端与圆管（8）密封连接，且圆管（8）上的法兰（9）与安装在器体（1）顶端圆管（8）上的法兰（9）通过螺栓固定连接，所述器体（1）顶端上的圆管（8）的上端安装有高真空阀门（10），且圆管（8）的另一端通过导管（14）与粗抽泵（11）的出口密封连接，粗抽泵（11）的进口与罗茨泵（13）密封连接，所述变电箱（16）的顶端安装有润滑泵（15），且润滑泵（15）的进口和出口分别与维持泵（22）和罗茨泵（13），所述变电箱（16）通过导线分别与控制柜（19）和电源电柜（20）电性连接，且导线设置在排线管（12）中。

【技术特征摘要】
1.卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体（6）和变电箱（16）,其特征在于：所述圆筒型真空腔体（6）与椭圆型封头大门（5）之间通过铰链（17）活动连接，且圆筒型真空腔体（6）内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源（3）和精密电子枪蒸发器（4），所述圆筒型真空腔体（6）上端与圆管（8）密封连接，且圆管（8）上的法兰（9）与安装在器体（1）顶端圆管（8）上的法兰（9）通过螺栓固定连接，所述器体（1）顶端上的圆管（8）的上端安装有高真空阀门（10），且圆管（8）的另一端通过导管（14）与粗抽泵（11）的出口密封连接，粗抽泵（11）的进口与罗茨泵（13）密封连接，所述变电箱（16）的顶端安装有润滑泵（15），且润滑泵（15）的进口和出口分别与维持泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂廷森，
申请(专利权)人：肇庆恒丰真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44