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卧式光学镀膜设备制造技术
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文档序号:16415925
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本实用新型公开了卧式光学镀膜设备,包括圆筒型真空腔体和变电箱,所述圆筒型真空腔体与椭圆型封头大门之间通过铰链活动连接,且圆筒型真空腔体内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源和精密电子枪蒸发器,所述圆筒型真空腔体上端与圆管密封连接,所述器体...
该专利属于肇庆恒丰真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过肇庆恒丰真空科技有限公司授权不得商用。
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