自动化镀膜机制造技术

技术编号:16396354 阅读:22 留言:0更新日期:2017-10-17 17:58
本发明专利技术公开了一种自动化镀膜机,包括真空室、抽真空装置、加热器、卡伞、工转电机、坩埚、电子枪和控制柜,抽真空装置和加热器均与真空室连通,卡伞设于真空室的顶部,工转电机位于真空室外侧,与卡伞连接,坩埚和电子枪均设于真空室底部,电子枪与坩埚相对应,控制柜与抽真空装置、工转电机、加热器连接。通过设有卡伞,可以在卡伞上固定多个镜片,提高一次对光学镜片镀膜的效率;设有坩埚和电子枪,可以方便药材放置在坩埚内,通过电子枪,可以方便坩埚内药剂的雾化,便于雾化后的药剂均匀的镀在光学镜片的表面,有效避免了镜片局部温度过高,提高了镜片的镀膜质量。

Automatic coating machine

The invention discloses an automatic coating machine, vacuum chamber, vacuum pumping device, heater, card umbrella, workers turn motor, crucible, electron gun and control cabinet, vacuum pumping device and the heater are communicated with the vacuum chamber, a vacuum chamber of the umbrella top card, workers turn motor is located in the vacuum chamber is connected. With the card at the bottom of the crucible and umbrella, electron gun are arranged in the vacuum chamber, the electron gun and the crucible corresponding control cabinet and vacuum pumping device, rotary motor, heater connection. Through a card in the card on the umbrella umbrella, can fix a plurality of lenses, an optical lens to improve the coating efficiency; a crucible and electron gun can be conveniently placed in the crucible by medicine, electron gun can be atomized convenient crucible agent, surface plating on the optical lens for medicine atomized uniformly the local temperature of the lens to avoid too high, improves the coating quality of the lens.

【技术实现步骤摘要】
自动化镀膜机
本专利技术属于一种镀膜机,尤其是涉及一种自动化镀膜机。
技术介绍
现有的光学镜片在镀膜时,直接将镀膜材料放置于安装了镀膜镜片下方区域,然后采用高温加热直接将镀膜材料气化后对镜片进行镀膜,这无疑会导致整个镀膜空间内温度过高,从而对镜片造成较大伤害,且容易出现镀膜不均匀的现象。同时,很多真空镀膜机一次只能对一片或少数的几篇光学镜片进行镀膜,工作效率较低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种自动化镀膜机,能够解决上述问题中的至少一个。根据本专利技术的一个方面,提供了一种自动化镀膜机,包括真空室、抽真空装置、加热器、卡伞、工转电机、坩埚、电子枪和控制柜,抽真空装置和加热器均与真空室连通,卡伞设于真空室的顶部,工转电机位于真空室外侧,与卡伞连接,坩埚和电子枪均设于真空室底部,电子枪与坩埚相对应,控制柜与抽真空装置、工转电机、加热器连接。本专利技术的有益效果是:通过设有卡伞,可以在卡伞上固定多个镜片,提高一次对光学镜片镀膜的效率;设有坩埚和电子枪,可以方便药材放置在坩埚内,通过电子枪,可以方便坩埚内药剂的雾化,便于雾化后的药剂均匀的镀在光学镜片的表面,有效避免了镜片局部温度过高,提高了镜片的镀膜质量。在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括冷却装置,冷却装置包括水塔、水阀和冷却管道,冷却管道设于真空室的外侧,水阀和水塔均与冷却管道连通。由此,设有冷却装置,可以有效降低真空室体表面因为加热器产生的温度,防止表面过热。在一些实施方式中,抽真空装置包括依次连接的机械泵、罗茨泵和扩散泵,扩散泵与真空室连通。由此,可以有效保证真空室内在工作时处于真空状态。在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括温控探头,温控探头有多个,均与真空室相对应,温控探头与控制柜连接。由此,设有温控探头,可以检测镀膜空间的温度,有利于调节温度,使得真空室内保持恒温。在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括真空门,真空门与真空室相对应,可以开合。由此,方便真空室内各产品的取放。在一些实施方式中,真空门上设有观察窗。由此,便于在镀膜过程中通过观察窗,观察真空室内各部件的运转状况。在一些实施方式中,坩埚为多个,坩埚底部设有托盘,托盘能够转动,托盘与控制柜连接。由此,方便通过坩埚的转动,将装有相应药剂的坩埚转动到电子枪处。在一些实施方式中,电子枪的枪头设有正负两极。由此,便于电子枪产生高强电流溶解坩埚里面的药材。在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括卡伞架,卡伞通过卡伞架与工转电机连接。由此,便于卡伞的安装和转动,使得每片镜片表面均能均匀的被蒸镀相同厚度的膜层。在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括膜厚仪探头,膜厚度仪探头位于卡伞架的中心轴一侧。由此,可以实时反馈镜片上膜的厚度。附图说明图1是本专利技术的自动化镀膜机的左侧结构示意图。图2是本专利技术的自动化镀膜机的正面结构示意图;图3是本专利技术的自动化镀膜机的右侧结构示意图;图4是本专利技术的自动化镀膜机的俯视结构示意图;图5是本专利技术的自动化镀膜机的内部结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。参照图1~图5:本专利技术的自动化镀膜机,包括真空室1、抽真空装置2、加热器3、卡伞4、工转电机5、坩埚6、电子枪7和控制柜8,抽真空装置2和加热器3均与真空室4连通,卡伞4设于真空室1的顶部,工转电机5位于真空室1外侧,与卡伞4连接,坩埚6和电子枪7均设于真空室1底部,电子枪7与坩埚6相对应,控制柜8与抽真空装置2、工转电机5、加热器3连接。该自动化镀膜机在使用时,将待镀膜的镜片固定在卡伞4上,卡伞4上有多个固定为,可以一次固定多个镜片,提高镀膜效率。控制柜8可以控制工转电机5的转动速度;同时,可以控制加热器3的加热温度,从而实现对真空室1内的温度控制。自动化镀膜机还包括冷却装置9,冷却装置9包括水塔、水阀91和冷却管道,冷却管道设于真空室1的外侧,水阀91和水塔均与冷却管道连通。水塔内冷却水通过水阀91和冷却管道,可以使得真空室1外侧的温度得以降低,有效防止真空室1表面因加热器3加热而导致的温度过高。抽真空装置2包括依次连接的机械泵21、罗茨泵22和扩散泵23,扩散泵23与真空室1连通。在实际使用过程中,控制柜8控制机械泵21、罗茨泵22和扩散泵依次按照顺序打开,将真空室1内抽至真空状态,直至镀膜完成。为了方便得知真空室1的真空状态,在真空室1的外侧设有真空计,用于实时检测真空室1内的真空状态,利于监测。自动化镀膜机还包括温控探头10,温控探头10有三个,均与真空室1相对应,温控探头10与控制柜8连接。温控探头10用于检测镀膜空间的温度。温控探头10将检测到的温度实时发送至控制柜8,控制柜8根据温度情况,控制加热器3的加热情况,使得真空室1内保持恒温状态。自动化镀膜机还包括真空门20,真空门20与真空室1相对应,可以开合。设有真空门20,可以方便真空室1的开启和闭合,便于光学镜片的取放。真空门20上设有观察窗201,便于在镀膜过程中通过观察窗,观察真空室内各部件的运转状况。坩埚6为多个,坩埚6底部设有托盘,托盘能够转动,托盘与控制柜8连接。托盘处设有转轴,在实际使用过程中,坩埚6为多个,不同位置的坩埚6穴位防止不同的镀膜药材,依据设定的工艺选择不同的药材,使之运转到电子枪7的工作范围内。电子枪7的枪头设有正负两极,通过高压电柜供电产生高强电流溶解相应坩埚6内的药材,使其雾化挥发,向上均匀的附着在镜片表面。本专利技术的自动化镀膜机还包括卡伞架30,卡伞4通过卡伞架30与工转电机5连接。当卡伞4上镜片固定完成后,将卡伞4固定在卡伞架30上,设有卡伞架30可以方便卡伞的取放。卡伞架30与工转电机5的输出轴连接,工转电机5带动卡伞架30转动,卡伞架30带动卡伞4转动,使得卡伞4上各位置的镜片均能被蒸镀相同厚度的膜层。自动化镀膜机还包括膜厚仪探头40,膜厚度仪探头40位于卡伞架30的中心轴一侧。膜厚仪探头40可以探测到镜片上的膜层厚度,将数据实时反馈至控制柜8内,当膜层厚度达到所需要求后,停止镀膜,各部件停止运作,打开真空门20后可以取出镜片。以上所述的仅是本专利技术的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本专利技术创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...
自动化镀膜机

【技术保护点】
自动化镀膜机,其特征在于,包括真空室(1)、抽真空装置(2)、加热器(3)、卡伞(4)、工转电机(5)、坩埚(6)、电子枪(7)和控制柜(8),所述抽真空装置(2)和加热器(3)均与真空室(4)连通,所述卡伞(4)设于真空室(1)的顶部,所述工转电机(5)位于真空室(1)外侧,与卡伞(4)连接,所述坩埚(6)和电子枪(7)均设于真空室(1)底部,所述电子枪(7)与坩埚(6)相对应,所述控制柜(8)与抽真空装置(2)、工转电机(5)、加热器(3)连接。

【技术特征摘要】
1.自动化镀膜机,其特征在于,包括真空室(1)、抽真空装置(2)、加热器(3)、卡伞(4)、工转电机(5)、坩埚(6)、电子枪(7)和控制柜(8),所述抽真空装置(2)和加热器(3)均与真空室(4)连通,所述卡伞(4)设于真空室(1)的顶部,所述工转电机(5)位于真空室(1)外侧,与卡伞(4)连接,所述坩埚(6)和电子枪(7)均设于真空室(1)底部,所述电子枪(7)与坩埚(6)相对应,所述控制柜(8)与抽真空装置(2)、工转电机(5)、加热器(3)连接。2.根据权利要求1所述的自动化镀膜机,其特征在于,还包括冷却装置(9),所述冷却装置(9)包括水塔、水阀(91)和冷却管道,所述冷却管道设于真空室(1)的外侧,所述水阀(91)和水塔均与冷却管道连通。3.根据权利要求2所述的自动化镀膜机,其特征在于,所述抽真空装置(2)包括依次连接的机械泵(21)、罗茨泵(22)和扩散泵(23),所述扩散泵(23)与真空室(1)连通。4.根据权利要求1~3任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖顺东周波覃亚
申请(专利权)人:佛山市联仪光学有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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