蒸镀用的蒸发源装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀用的蒸发源装置，包括顶面开口的加热容器以及盖设于所述加热容器开口的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板上分别开设有贯穿孔；所述第一挡板和所述第二挡板可相对滑动，使二者上的贯穿孔在至少两个不同的配合位置配合形成连通所述加热容器的蒸镀通道。本发明专利技术通过在装有有机发光电致材料的加热容器的开口处盖设有第一挡板和第二挡板，可以通过第一挡板和第二挡板的移动而使二者配合形成不同的蒸镀通道，可在不打开真空腔体的情况下更换蒸镀通道，很好地解决了蒸镀过程中有机发光电致材料堵孔的问题，提高了产能和产品质量。

Evaporation source device for evaporation

The invention discloses a device for evaporation evaporation source, including heating container and cover the top opening of the heating container openings of the first and second baffle plates, wherein the first baffle and the second baffle is respectively provided with a through hole; the first baffle and the second baffle can relatively slide so, the through hole two on at least two different matching position is formed with the heating container communicated with the evaporation channel. The invention is characterized in that the heating container is provided with organic light emitting electroluminescent material opening cover is provided with a first and second baffle plates, by moving the first and second baffle plates and two with the formation of different evaporation channels can be replaced in the evaporation channel open the vacuum cavity and solves the the evaporation process of organic light emitting electroluminescent material blockage problem, improve the productivity and product quality.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀用的蒸发源装置
本专利技术涉及一种有机电致发光器件
，尤其涉及一种蒸镀用的蒸发源装置。
技术介绍
OLED(即有机电致发光器件)显示器是新一代的显示器，通过在OLED基板上制作有机薄膜，并且其中的有机薄膜被包夹设在阴极和阳极金属或导电层之间，给两电极施加电压后，有机薄膜则会发光。相对于液晶显示器而言，OLED显示器有自发光、响应快、视角广、色彩饱和等许多优点，近几年OLED产业化速度突飞猛进。目前制备OLED显示器件主流的方式是真空热蒸镀，即在真空腔体内使用坩埚加热OLED有机材料。现有的用于加热OLED材料的坩埚包括坩埚本体及盖在坩埚本体开口端的坩埚盖子，坩埚盖子上设置有蒸镀孔。坩埚本体用于容纳OLED有机材料，以对OLED材料加热，使之在一定温度下升华或蒸发，然后透过蒸镀孔沉积在上方的基板上，形成有机薄膜。在OLED材料蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机物为蓬松结构，很容易在坩埚盖子的蒸镀孔部位集结，直至蒸镀孔被完全堵住。但由于OLED器件制作工艺的特殊性，OLED器件的制作需要在持续的真空环境下进行，直至连续完成有机材料的蒸镀。蒸镀孔一旦被堵住就无法继续蒸镀，使蒸镀工艺无法继续进行，会严重影响生产进度。这种情况下，目前的做法只能先把OLED材料降温至室温，然后打开蒸镀腔体，待处理完塞孔的蒸镀源后再关闭腔体、重新抽真空，并加热到一定温度，才能继续进行蒸镀工艺，通常这个过程需要耗费数十小时，且打开腔体极易导致空气中灰尘进入腔体，严重影响产能及产品质量。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种蒸镀用的蒸发源装置，可以在不打开真空腔体的情况下解决蒸镀坩埚的蒸镀孔堵塞的问题。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种蒸镀用的蒸发源装置，包括顶面开口的加热容器以及盖设于所述加热容器开口的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板上分别开设有贯穿孔；所述第一挡板和所述第二挡板可相对滑动，使二者上的贯穿孔在至少两个不同的配合位置配合形成连通所述加热容器的蒸镀通道。作为其中一种实施方式，所述第一挡板和所述第二挡板在所述加热容器的高度方向上层叠设置，且延伸方向交叉设置；所述第一挡板和所述第二挡板的至少一个上的贯穿孔为沿相应的挡板的长度方向延伸的条形孔，所述第一挡板和所述第二挡板沿各自的长度方向可移动，以使得上下设置的贯穿孔在所述加热容器的高度方向上连通形成不同的蒸镀通道。作为其中一种实施方式，所述第一挡板上的贯穿孔为沿其长度方向延伸的条形孔，所述第二挡板上的贯穿孔为在其长度方向间隔设置的点状通孔。或者，所述第一挡板和所述第二挡板上的贯穿孔均为在相应的挡板的长度方向间隔设置的点状通孔。或者，所述第一挡板和所述第二挡板上的贯穿孔均为沿相应的挡板的长度方向延伸的条形孔。作为其中一种实施方式，所述第一挡板和所述第二挡板相互垂直。作为其中一种实施方式，所述加热容器为坩埚。或者，所述第一挡板和所述第二挡板在所述加热容器的径向上相邻设置；所述第一挡板上开设有复数个间隔设置的第一缺口，所述第二挡板上开设有复数个间隔设置的第二缺口，所述第二挡板可在其长度方向上相对于所述第一挡板移动，使不同的所述第一缺口与所述第二缺口配合形成不同的蒸镀通道。作为其中一种实施方式，所述第一挡板和所述第二挡板上分别在所述第一缺口、所述第二缺口周围对应设有围成缩口状的锥形的半遮盖部，所述第一缺口周围的所述半遮盖部与所述第二缺口的所述半遮盖部尺寸相同。或者，所述第二挡板设于所述第一挡板上表面，所述第二挡板的贯穿孔旁围设有倾斜的缩口状的遮盖部，所述遮盖部的端面尺寸小于所述第二挡板的贯穿孔的尺寸。本专利技术通过在装有有机发光电致材料的加热容器的开口处盖设有第一挡板和第二挡板，可以通过第一挡板和第二挡板的移动而使二者配合形成不同的蒸镀通道，可在不打开真空腔体的情况下更换蒸镀通道，很好地解决了蒸镀过程中有机发光电致材料堵孔的问题，提高了产能和产品质量。附图说明图1为本专利技术实施例1的蒸发源装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例1的蒸发源装置的第一使用状态示意图；图3为本专利技术实施例1的蒸发源装置的第二使用状态示意图；图4为本专利技术实施例1的蒸发源装置的局部结构示意图；图5为本专利技术实施例2的蒸发源装置的一个使用状态示意图；图6为本专利技术实施例3的蒸发源装置的第一使用状态示意图；图7为本专利技术实施例3的蒸发源装置的第二使用状态示意图；图8为本专利技术实施例3的蒸发源装置的局部结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术的蒸发源装置主要用于加热蒸镀OLED有机材料形成有机薄膜，使用时被放置在真空腔体内，包括顶面开口的加热容器以及盖设于加热容器开口的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板上分别开设有贯穿孔；第一挡板和第二挡板可相对滑动，使第一挡板和第二挡板上的贯穿孔在至少两个不同的配合位置配合形成连通加热容器的蒸镀通道。这里，以加热容器的开口作为参照进行描述，第一挡板与第二挡板形成的蒸镀通道位于加热容器的开口正上方，第一挡板、第二挡板将加热容器的开口遮挡，仅留出该蒸镀通道作为有机材料的沉积通道。初始状态下，第一挡板的贯穿孔和第二挡板的贯穿孔在第一配合位置连通形成通孔结构的第一蒸镀通道，蒸镀过程中，有机材料会在形成的第一蒸镀通道部位集结，直至第一蒸镀通道被堵住；然后，第一挡板、第二挡板相对移动而错开一定距离，在不同于第一配合位置的第二配合位置连通形成通孔结构的第二蒸镀通道，如此即可在不打开真空腔体的前提下更换蒸镀通道，提高了蒸镀效率，也避免了灰尘等进入。以下，以几种不同的蒸镀通道的形成方式对本专利技术总的构思进行更具体的描述。实施例1参阅图1和图2，本实施例的蒸发源装置包括顶面开口的加热容器10以及盖设于加热容器10开口的第一挡板20和第二挡板30，该加热容器10最好是坩埚，第一挡板20和第二挡板30在加热容器10的高度方向上(如图1所示的竖直方向上)层叠设置且延伸方向交叉设置，第一挡板20和第二挡板30上的贯穿孔均为沿相应的挡板的长度方向延伸的条形孔，即第一挡板20上开设有第一条形孔201，第二挡板30上开设有第二条形孔301。当安装到加热容器10顶面的开口后，第一挡板20和第二挡板30沿各自的长度方向均可移动，以使得上下设置的第一条形孔201、第二条形孔301在竖直方向上依次连通形成不同的蒸镀通道H，其中，实施例的第一挡板20和第二挡板30相互垂直，以更方便地控制第一挡板20和第二挡板30的运动方向和位移。其中，可以理解的是，用于驱动第一挡板20和第二挡板30平移的驱动机构可以是现有技术中的各种可行的驱动机构，例如，利用齿轮齿条传动、皮带传动、液压杆推动，连杆机构传动等，通过将驱动机构安装在真空腔体内，可以实现连续蒸镀。本实施例的第一条形孔201、第二条形孔301均为规则的矩形孔，作为一种改进，在其他实施方式中，第一条形孔201、第二条形孔301也可以为不规则的条形孔，即条形孔的宽度在其长度方向上并不是始终一致的，可以具有不同的宽度，使得可以通过调节第一条形孔201、第二条形孔301的配合位置改变二者形成的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀用的蒸发源装置，其特征在于，包括顶面开口的加热容器(10)以及盖设于所述加热容器(10)开口的第一挡板(20)和第二挡板(30)，所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)上分别开设有贯穿孔；所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)可相对滑动，使二者上的贯穿孔在至少两个不同的配合位置配合形成连通所述加热容器(10)的蒸镀通道。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用的蒸发源装置，其特征在于，包括顶面开口的加热容器(10)以及盖设于所述加热容器(10)开口的第一挡板(20)和第二挡板(30)，所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)上分别开设有贯穿孔；所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)可相对滑动，使二者上的贯穿孔在至少两个不同的配合位置配合形成连通所述加热容器(10)的蒸镀通道。2.根据权利要求1所述的蒸镀用的蒸发源装置，其特征在于，所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)在所述加热容器(10)的高度方向上层叠设置，且延伸方向交叉设置；所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)的至少一个上的贯穿孔为沿相应的挡板的长度方向延伸的条形孔，所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)沿各自的长度方向可移动，以使得上下设置的贯穿孔在所述加热容器(10)的高度方向上连通形成不同的蒸镀通道。3.根据权利要求2所述的蒸镀用的蒸发源装置，其特征在于，所述第一挡板(20)上的贯穿孔为沿其长度方向延伸的条形孔，所述第二挡板(30)上的贯穿孔为在其长度方向间隔设置的点状通孔。4.根据权利要求2所述的蒸镀用的蒸发源装置，其特征在于，所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)上的贯穿孔均为在相应的挡板的长度方向间隔设置的点状通孔。5.根据权利要求2所述的蒸镀用的蒸发源装置，其特征在于，所述第一挡板(20)和所述第二挡板(30)上的贯穿孔均为...

【专利技术属性】
技术研发人员：余威，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42