The invention relates to a preparation method of a high heat conductivity aluminum nitride ceramic, belonging to the technical field of the preparation of aluminum nitride ceramics. The aluminum nitride powder as the main raw material, using anhydrous ethanol as solvent, by introducing 2 ~ three yuan 6wt% sintering additives by wet milling, drying, granulation, dry pressing, cold isostatic pressing, degreasing and sintering prepared after high thermal conductivity aluminum nitride ceramics, the thermal conductivity of aluminum nitride ceramics at the rate of 180 ~ 230W. M
【技术实现步骤摘要】
一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法
本专利技术属于氮化铝陶瓷制备
,涉及一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法。
技术介绍
氮化铝陶瓷具有优异的导热性能,电绝缘性能与耐高温性能,同时也具有较低的介电常数,与硅匹配的线膨胀系数及无毒等特性,从而使其成为目前最理想的基本材料与电子器件封装材料。高热导率是氮化铝陶瓷工业应用的优势所在。要想实现高热导率陶瓷的制备,必须要满足两个条件:一是氮化铝陶瓷要具有较高的致密度;二是氮化铝陶瓷晶格中的固溶氧含量要尽可能的低。在实际生产中,一般是通过引入稀土化合物(氧化钇、氧化钐、氧化镝、氟化钇、氟化钐等)或碱土金属化合物(氧化钙、氧化硼、氟化钙等)等烧结助剂,在高温下通过与氧化铝反应生成第二相来降低晶格中固溶氧含量,同时促进烧结,进而实现高热导率氮化铝陶瓷的制备。中国专利(CN102030538B)公开了一种氮化铝陶瓷的制备方法及采用该方法制备的氮化铝陶瓷,以氧化钇、氧化钙、氟化钙、氧化镝中的一种或多种作为烧结助剂,制备得到了系列氮化铝陶瓷,其中以氧化钇与氧化钙作为复合烧结助剂时制备得到的氮化铝陶瓷的热导率最高(180W·m-1·K-1 ...
【技术保护点】
一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)配料:按比例称取氮化铝粉与烧结助剂,采用湿法混料工艺制备得到混合均匀的浆料,其中湿法混料用的液体介质为无水乙醇,球磨转速为150~180r/min;2)成型:将步骤1)中所得浆料置于50~70℃的低温烘箱内干燥,然后加入粘结剂造粒、过筛、干压、等静压成型为生坯;3)脱脂:将步骤2)中所得生坯置于马弗炉中,于450~600℃保温2~6h;4)烧结:将步骤3)中热处理后生坯置于高温烧结炉中,于氮气氛围下在1800~1900℃保温2~6h;烧结结束后温控降温至1600~1700℃,降温速率为1~5℃/min,再随炉冷 ...
【技术特征摘要】
1.一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)配料:按比例称取氮化铝粉与烧结助剂,采用湿法混料工艺制备得到混合均匀的浆料,其中湿法混料用的液体介质为无水乙醇,球磨转速为150~180r/min;2)成型:将步骤1)中所得浆料置于50~70℃的低温烘箱内干燥,然后加入粘结剂造粒、过筛、干压、等静压成型为生坯;3)脱脂:将步骤2)中所得生坯置于马弗炉中,于450~600℃保温2~6h;4)烧结:将步骤3)中热处理后生坯置于高温烧结炉中,于氮气氛围下在1800~1900℃保温2~6h;烧结结束后温控降温至1600~1700℃,降温速率为1~5℃/min,再随炉冷却至室温,得到氮化铝陶瓷。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤1)中所用的的烧结助剂为三元烧结助剂,包括氧化铈、其它稀土化合物及碱土金属化合物组成,其中稀土化合物包括但不限于氧化钇、氧化钐、氧化镝、氟化钇、氟化钐中的一种;碱土金属化合物包括...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺智勇,张启富,王峰,千粉玲,刘秋元,
申请(专利权)人:北京钢研新冶精特科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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