基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置制造方法及图纸

本发明专利技术基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域；该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成；第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成，第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成，所述复合摆丝由第二石英丝和涂敷在第二石英丝外围的超磁致伸缩材料涂层构成；致动器由上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体构成，驱动线圈为复合摆丝提供驱动磁场，永磁体为复合摆丝提供偏置磁场；本发明专利技术不仅能够实现主动隔振的技术目的，而且具有系统简化、高度集成的技术优势，同时提高了对低频振动的振动效果。

Micro vibration isolator based on giant magnetostrictive and quartz cycloid composite mechanism

The invention of magnetostrictive and quartz micro vibration isolation mechanism of cycloid compound belongs to the field of micro vibration isolation device based on technology; the device from the first level, second level pendulum pendulum and actuator; the first swing by external support structure, the first quartz wire, the first test quality and connection structure, by the first second pendulum test quality, connectors, wire, second compound pendulum test quality and connecting components, the composite cyloid consists of second quartz fiber and coating composition in giant magnetostrictive material coating second quartz fiber periphery; actuator by magnet, permanent magnet, drive coil, skeleton and under the guide magnet. The drive coil provides driving magnetic field for compound pendulum wire, permanent magnet for compound pendulum wire provides the bias magnetic field; the invention not only can realize the purpose of active vibration isolation technology, but also has simple system, high set The utility model has the advantages of improving the vibration effect of low frequency vibration.

【技术实现步骤摘要】
基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置
本专利技术基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振
技术背景在超精密测量仪器领域，如扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、全息干涉仪和共焦显微镜等具有高测量灵敏度、重复性和测量不确定度的精密科学仪器，在各领域中的需求极大，但是在自然环境中即便是幅频微小的振动都会干扰此类精密仪器的测量灵敏度、重复性和不确定度，即随着仪器精度的日益提高，外部环境的振动噪声对仪器精度的影响越来越大，在抑制超低频的振动干扰信号方面，隔微振技术已经成为限制仪器精度进一步提升的瓶颈。在大科学工程中的若干系统，如引力波探测、暗物质探测、强磁场和脉冲星形成研究等均需要一个良好的低振动环境保障。其主要困难在于被测信号相对于环境振动噪声显得特别微弱，因此对环境振动的隔离提出了非常高的要求，特别是地面振动的影响。如果缺少超低频隔振系统，引力波探测仪所接受到的有用信号将会被湮没在噪声当中，必须对地脉动噪声进行有效的隔离。超低频(0.1Hz以下)隔微振技术成为以上领域的研究热点和难点。随着超精密仪器对环境振动噪声的抑制要求越来越高，单摆作为最本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置，其特征在于，由第一级摆、第二级摆和致动器(8)组成；所述第一级摆由外部支撑结构(1)、第一石英丝(2)、第一测试质量(3)和上连接件(4)构成，外部支撑结构(1)与上连接件(4)之间通过第一石英丝(2)连接，上连接件(4)对称分布在第一测试质量(3)的两边；所述第二级摆由第一测试质量(3)、上连接件(4)、复合摆丝(5)、第二测试质量(6)和下连接件(7)构成，上连接件(4)与下连接件(7)之间通过复合摆丝(5)连接，下连接件(7)对称分布在第二测试质量(6)的两边，所述复合摆丝(5)由第二石英丝(51)和涂敷在第二石英丝(51)外围的超磁致伸缩材...

【技术特征摘要】
1.基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置，其特征在于，由第一级摆、第二级摆和致动器(8)组成；所述第一级摆由外部支撑结构(1)、第一石英丝(2)、第一测试质量(3)和上连接件(4)构成，外部支撑结构(1)与上连接件(4)之间通过第一石英丝(2)连接，上连接件(4)对称分布在第一测试质量(3)的两边；所述第二级摆由第一测试质量(3)、上连接件(4)、复合摆丝(5)、第二测试质量(6)和下连接件(7)构成，上连接件(4)与下连接件(7)之间通过复合摆丝(5)连接，下连接件(7)对称分布在第二测试质量(6)的两边，所述复合摆丝(5)由第二石英丝(51)和涂敷在第二石英丝(51)外围的超磁致伸缩材料涂层(52)构成；第二测试质量(6)作为被隔振元件，复合摆丝(5)用于感知外界振动，将振动信号传递给控制器；所述致动器(8)由上导磁体(81)、永磁体(82)、驱动线圈(83)、骨架(84)和下导磁体(85)构成，所述骨架(84...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雷，王静，赵勃，李君忠，陈嘉敏，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23