【技术实现步骤摘要】
本技术属于电子束领域，尤其是一种电子束发生器。
技术介绍
电子束是载能束的一种，使用电子束进行材料表面改性处理具有如下优势，以加速电子为能量载体，转化效率高，受材料表面加工状态的影响小；电子对材料穿透能力强；电子束加工在真空环境下进行避免了氧化。现有电子束发生器的真空腔温度监测，安全性以及可靠性较差。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种电子束发生器，该发生器结构简单，设计科学合理，有效提高了电子束发生器的安全性以及可靠性。本技术解决其技术问题是通过以下技术方案实现的：一种电子束发生器，其发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联。而且，所述的真空腔壁上安装有密封安全门。而且，所述的磁场线圈分为上磁场线圈以及下磁场线圈。而且，所述的等离子体阳极上安装有绝缘密封圈。本技术的优点和有益效果为：本电子束发生器，其发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极...
【技术保护点】
一种电子束发生器，其特征在于：该发生器包括真空腔、工件支撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体阳极、电子枪阴极以及磁场线圈均与电子束电源电联。
【技术特征摘要】
1.一种电子束发生器，其特征在于：该发生器包括真空腔、工件支
撑平台、等离子体阳极、电子枪阴极、磁场线圈以及电子束电源，真空
腔上对应电子枪阴极，电子枪阴极上方对应安装等离子体阳极，电子枪
阴极以及等离子阳极外围均布有磁场线圈，在真空腔内安装有工件支撑
平台，在工件支撑平台上面的真空腔壁上安装有温度传感器，等离子体
阳极、电子...
【专利技术属性】
技术研发人员：张绍鹏，
申请(专利权)人：天津镕思铭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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