【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法。
技术介绍
电子信息产业是国民经济的支柱产业,石英晶体振荡器在电子信息行业中具有极其重要的地位。中国是石英晶体元器件的生产大国,但是产值、产品质量与发达国家相比仍有较大差距。行业近年来发展十分迅速,对石英晶体元器件生产过程中的加工设备和在线高精度测控设备的需求量也在不断增加。晶片研磨是石英晶振生产过程中必不可少的步骤,晶片电参数测试是这一步骤中的关键测控技术,国内很多研究机构都对其进行了研究探索。20世纪九十年代,天津大学就基于国际标准的传输法原理对石英晶体的电参数进行了测量。从2002年到2004年,北京机械工业学院对π网络法测量石英晶体电参数的原理及π网络中分布参数对测量精度的影响进行了研究。中南大学信息科学与工程学院在2004年提出了一种使用直接数字频率合成器(DDS)作为激励信号源的方法和以此为基础实现石英晶片电参数计算机测量系统。北京航空航天大学在2006年设计了一种频率高达200MHz的石英晶体电参数测量系统。2009年哈尔滨工业大学以π网络最大传输测量方法为基础设计石英晶体参数测量系统,设计中选择具有高速数据处理能力的数字信号处理器(DSP)作为系统的控制模块。在产品研发领域,国内外的石英晶体电参数测频技术差距很大。美国S&A公司的250A、250B系列网络分析仪和惠普公司的E5100系列网络分析仪的频率测量范围在20KHz-400KHz和0 ...
【技术保护点】
一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法,其特征在于,系统通电开机后,进行外设初始化配置,外设初始化结束后,提示系统开始通电工作;系统进入硬件自检,硬件自检结果进行显示;硬件自检未通过则等待用户进行检修后重新进行自检;通过硬件自检后则进入数据初始化流程;数据初始化结束后系统进入待机状态;系统在待机状态下实时监测控制及设置按钮的操作,并根据控制及设置按钮的操作,作出控制动作或者读取设置参数后,根据设置的参数作出控制动作;所述控制及设置按钮的操作包括进入单次测频流程的操作、读取控制策略参数的操作、读取在线测频参数的操作、进入修盘流程操作和进入在线测频流程的操作。
【技术特征摘要】
1.一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法,其特征在于,
系统通电开机后,进行外设初始化配置,外设初始化结束后,提示系统开始通电工作;
系统进入硬件自检,硬件自检结果进行显示;硬件自检未通过则等待用户进行检修后
重新进行自检;通过硬件自检后则进入数据初始化流程;数据初始化结束后系统进入待机
状态;
系统在待机状态下实时监测控制及设置按钮的操作,并根据控制及设置按钮的操作,
作出控制动作或者读取设置参数后,根据设置的参数作出控制动作;
所述控制及设置按钮的操作包括进入单次测频流程的操作、读取控制策略参数的操
作、读取在线测频参数的操作、进入修盘流程操作和进入在线测频流程的操作。
2.根据权利要求1所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法,其特征在
于,
单次测频流程的操作包括:
单次测频流程根据扫频参数的设置对石英晶片进行谐振频率测试,单次测频流程对系
统的AD采样数据的处理,通过波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值方法分析得出晶片
的静态谐振频率、标准差、实时峰高、谐振线宽、单位时间内的谐振次数,测频结果发送进行
显示。
3.根据权利要求2所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法,其特征在
于,所述控制及设置按钮的操作还包括参数设置操作,系统实时监控用户参数设置操作状
态,一旦进入参数设置操作状态,对系统运行过程中的扫频参数、波形匹配参数、谐振频率
显示参数和谐振频率约束参数进行设置;扫频参数包括单位时间内扫频次数、扫频幅值、扫
频速度、扫频步进;波形匹配参数包括搜索宽度、峰值约束;谐振频率显示参数包括频率校
准;谐振频率约束参数包括极差设置。
4.根据权利要求3所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法,其特征在
于,读取控制策略参数的操作包括:
系统实时监控读取控制策略参数的操作的状态,一旦进入控制策略参数的操作,对系
统运行过程中的在线测频控制策略参数、在线测频统计参数、圈数统计参数、修盘参数进行
设置;在线测频控制策略参数包括目标频率到达次数、测频异常跳出次数、异常跳出时间、
异常跳出极差设置、速率跳出上限、速率跳出下限;在线测频统计参数包括频率统计、速率
统计、极差统计;圈数统计参数包括误触发滤波时间、延时滤波时间、开始统计圈数;修盘参
数包括修盘时间、修盘异...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘凌锋,郭彬,陈浙泊,陈一信,
申请(专利权)人:浙江大学台州研究院,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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